一种碲锌镉晶片制备的表面抛光装置的制作方法

1.本实用新型涉及抛光装置技术领域，尤其涉及一种碲锌镉晶片制备的表面抛光装置。


背景技术：

2.碲锌镉晶片的生产过程中，通常要进行抛光研磨处理，以达到技术要求。
3.目前，对于晶片的抛光研磨通常采用机械研磨或化学研磨，在现有的机械研磨技术中，抛光研磨过程中，晶片表面会产生被研磨下的颗粒物，这些颗粒物若不尽快与晶片分离，则会在研磨过程中在晶片表面留下划痕，大大降低晶片的良品率，且现有的晶片抛光装置的中间线速度较慢，越靠近外缘线速度越大，引起了晶片内外掉量不均衡的现象始终存在，从而使得产品的表面粗糙度始终无法进一步改善。


技术实现要素：

4.为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种碲锌镉晶片制备的表面抛光装置，以解决现有的机械研磨技术中，抛光研磨过程中，晶片表面会产生被研磨下的颗粒物，这些颗粒物若不尽快与晶片分离，则会在研磨过程中在晶片表面留下划痕，大大降低晶片的良品率，且现有的晶片抛光装置的中间线速度较慢，越靠近外缘线速度越大，引起了晶片内外掉量不均衡的现象始终存在，从而使得产品的表面粗糙度始终无法进一步改善的问题。一种碲锌镉晶片制备的表面抛光装置，包括上盖，右立板，左立板，上抛光轴，下抛光轴，电机，连接带，吸尘口，连接管和吸尘模块，所述的上盖上端设置有吸尘口，且吸尘口的一侧设置有吸尘模块；所述的吸尘口与吸尘模块通过连接管连接；所述的吸尘模块固定安装在上盖上端；所述的右立板与左立板之间上端设置有上抛光轴；所述的上抛光轴一端与左立板活动连接，且上抛光轴的另一端穿过右立板与带轮连接；所述的右立板与左立板之间远离上抛光轴的一侧设置有下抛光轴；所述的下抛光轴一端与左立板活动连接，且下抛光轴的另一端穿过右立板与带轮连接；所述的右立板一侧固定安装有电机；所述的电机的输出轴端固定安装有带轮，且带轮通过连接带连接。
5.优选的，还包括底座，所述的底座一侧固定安装有右立板，且底座远离右立板的一侧固定安装有左立板；所述的右立板和左立板的上端固定安装有上盖。
6.优选的，所述的右立板和左立板一侧均开设有滑槽；所述的滑槽内滑动安装有固定架；所述的固定架内侧设置有两对电动伸缩杆，且两对电动伸缩杆远离固定架的一端固定安装有夹板；所述的夹板之间设置有晶片。
7.优选的，所述的固定架底端一侧固定安装有滑块；所述的滑块下端配合安装有传动轴；所述的传动轴一端与底座活动连接，且传动轴的另一端穿过电机支架与传动电机连接；所述的传动电机通过电机支架固定安装在底座一侧。
8.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
9.1.本实用新型中，电机通过连接带与带轮的配合带动上抛光轴和下抛光轴对晶片
进行抛光，上抛光轴和下抛光轴滚轴式设置，避免轮式的抛光出现晶片表面外侧与内侧抛光不均匀的现象，该设置抛光更加均匀。
10.2.本实用新型中，通过吸尘模块的设置，使在抛光过程中抛光下的颗粒物尽快与晶片分离，避免在抛光下的颗粒物对晶片表面造成划痕，提高表面抛光的实用性。
11.3.本实用新型中，通过带动滑块运动，使固定架在滑块内滑动，晶片安装在夹板之间，节省了人工，且抛光更加均匀，使用更加便捷，结构更加简单。
附图说明
12.图1是本实用新型的结构示意图。
13.图2是本实用新型的全剖结构示意图。
14.图3是本实用新型中图2的a-a剖视图。
15.图4是本实用新型中图3的b相视图。
16.图中：
17.1-底座，2-上盖，3-右立板，4-左立板，5-滑槽，6-固定架，7-电动伸缩杆，8-夹板，9-滑块，10-电机支架，11-传动电机，12-上抛光轴，13-下抛光轴，14-电机，15-连接带，16-吸尘口，17-连接管，18-吸尘模块，19-晶片， 20-传动轴。
具体实施方式
18.以下结合附图对本实用新型做进一步描述：
19.实施例：
20.如附图1至附图4所示
21.本实用新型提供一种碲锌镉晶片制备的表面抛光装置，包括上盖2，右立板 3，左立板4，上抛光轴12，下抛光轴13，电机14，连接带15，吸尘口16，连接管17和吸尘模块18，所述的上盖2上端设置有吸尘口16，且吸尘口16的一侧设置有吸尘模块18；所述的吸尘口16与吸尘模块18通过连接管17连接；所述的吸尘模块18固定安装在上盖2上端；所述的右立板3与左立板4之间上端设置有上抛光轴12；所述的上抛光轴12一端与左立板4活动连接，且上抛光轴 12的另一端穿过右立板3与带轮连接；所述的右立板3与左立板4之间远离上抛光轴12的一侧设置有下抛光轴13；所述的下抛光轴13一端与左立板4活动连接，且下抛光轴13的另一端穿过右立板3与带轮连接；所述的右立板3一侧固定安装有电机14；所述的电机14的输出轴端固定安装有带轮，且带轮通过连接带15连接。
22.本实施例中，还包括底座1，所述的底座1一侧固定安装有右立板3，且底座1远离右立板3的一侧固定安装有左立板4；所述的右立板3和左立板4的上端固定安装有上盖2。
23.本实施例中，所述的右立板3和左立板4一侧均开设有滑槽5；所述的滑槽 5内滑动安装有固定架6；所述的固定架6内侧设置有两对电动伸缩杆7，且两对电动伸缩杆7远离固定架6的一端固定安装有夹板8；所述的夹板8之间设置有晶片19。
24.本实施例中，所述的固定架6底端一侧固定安装有滑块9；所述的滑块9下端配合安装有传动轴20；所述的传动轴20一端与底座1活动连接，且传动轴 20的另一端穿过电机支架10与传动电机11连接；所述的传动电机11通过电机支架10固定安装在底座1一侧。
25.工作原理
26.本实用新型中，在使用时，通过带动滑块9运动，使固定架6在滑块9内滑动，晶片安装在夹板8之间，节省了人工，且抛光更加均匀，使用更加便捷，结构更加简单；电机14通过连接带15与带轮的配合带动上抛光轴12和下抛光轴13对晶片进行抛光，上抛光轴12和下抛光轴13滚轴式设置，避免轮式的抛光出现晶片表面外侧与内侧抛光不均匀的现象，该设置抛光更加均匀；通过吸尘模块18的设置，使在抛光过程中抛光下的颗粒物尽快与晶片分离，避免在抛光下的颗粒物对晶片表面造成划痕，提高表面抛光的实用性。
27.利用本实用新型所述技术方案，或本领域的技术人员在本实用新型技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种碲锌镉晶片制备的表面抛光装置，其特征在于：包括上盖(2)，右立板(3)，左立板(4)，上抛光轴(12)，下抛光轴(13)，电机(14)，连接带(15)，吸尘口(16)，连接管(17)和吸尘模块(18)，所述的上盖(2)上端设置有吸尘口(16)，且吸尘口(16)的一侧设置有吸尘模块(18)；所述的吸尘口(16)与吸尘模块(18)通过连接管(17)连接；所述的吸尘模块(18)固定安装在上盖(2)上端；所述的右立板(3)与左立板(4)之间上端设置有上抛光轴(12)；所述的上抛光轴(12)一端与左立板(4)活动连接，且上抛光轴(12)的另一端穿过右立板(3)与带轮连接；所述的右立板(3)与左立板(4)之间远离上抛光轴(12)的一侧设置有下抛光轴(13)；所述的下抛光轴(13)一端与左立板(4)活动连接，且下抛光轴(13)的另一端穿过右立板(3)与带轮连接；所述的右立板(3)一侧固定安装有电机(14)；所述的电机(14)的输出轴端固定安装有带轮，且带轮通过连接带(15)连接。2.如权利要求1所述的一种碲锌镉晶片制备的表面抛光装置，其特征在于：还包括底座(1)，所述的底座(1)一侧固定安装有右立板(3)，且底座(1)远离右立板(3)的一侧固定安装有左立板(4)；所述的右立板(3)和左立板(4)的上端固定安装有上盖(2)。3.如权利要求2所述的一种碲锌镉晶片制备的表面抛光装置，其特征在于：所述的右立板(3)和左立板(4)一侧均开设有滑槽(5)；所述的滑槽(5)内滑动安装有固定架(6)；所述的固定架(6)内侧设置有两对电动伸缩杆(7)，且两对电动伸缩杆(7)远离固定架(6)的一端固定安装有夹板(8)；所述的夹板(8)之间设置有晶片(19)。4.如权利要求3所述的一种碲锌镉晶片制备的表面抛光装置，其特征在于：所述的固定架(6)底端一侧固定安装有滑块(9)；所述的滑块(9)下端配合安装有传动轴(20)；所述的传动轴(20)一端与底座(1)活动连接，且传动轴(20)的另一端穿过电机支架(10)与传动电机(11)连接；所述的传动电机(11)通过电机支架(10)固定安装在底座(1)一侧。

技术总结
本实用新型提供一种碲锌镉晶片制备的表面抛光装置，包括上盖，右立板，左立板，上抛光轴，下抛光轴，电机，连接带，吸尘口，连接管和吸尘模块，本实用新型中，通过多个鞋架的设置，通过带动滑块运动，使固定架在滑块内滑动，晶片安装在夹板之间，节省了人工，且抛光更加均匀，使用更加便捷，结构更加简单；电机通过连接带与带轮的配合带动上抛光轴和下抛光轴对晶片进行抛光，上抛光轴和下抛光轴滚轴式设置，避免轮式的抛光出现晶片表面外侧与内侧抛光不均匀的现象，该设置抛光更加均匀；通过吸尘模块的设置，使在抛光过程中抛光下的颗粒物尽快与晶片分离，避免在抛光下的颗粒物对晶片表面造成划痕，提高表面抛光的实用性。提高表面抛光的实用性。提高表面抛光的实用性。


技术研发人员：邓波浪 李玉萍
受保护的技术使用者：安徽承禹半导体材料科技有限公司
技术研发日：2022.07.05
技术公布日：2023/1/30