一种微钻上生长氮化铝氮化钛纳米复合涂层装置结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种微钻上生长氮化铝氮化钛纳米复合涂层装置结构。


背景技术：

2.公知的，随着科学技术的飞速发展，真空镀膜的技术已经得到普遍应用，在微钻上生长氮化铝氮化钛纳米复合涂层时，减少氮化铝氮化钛膜层的大颗粒是一个重要的问题，氮化铝氮化钛膜层的大颗粒(液滴)太多，会严重影响微钻的使用特性，氮化铝氮化钛纳米复合涂层的大颗粒是指在电弧放电过程中，会产生液滴，它与电弧放电的功率有关。
3.现有的真空镀膜方式，在作业过程中存在如下缺陷：
4.采用增加电弧源水冷效果和降低放电功率来改善液滴现象，但改善效果一般，不便于达到良好的镀膜效果。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种微钻上生长氮化铝氮化钛纳米复合涂层装置结构，以克服背景技术缺陷。
6.为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。
7.一种微钻上生长氮化铝氮化钛纳米复合涂层装置结构，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室的外侧设置有旋转电机，所述旋转电机的输出轴延伸至真空镀膜室的内部，所述旋转电机的输出轴通过联轴器固定连接有旋转基片台，所述真空镀膜室的外侧设置有两个弯管，所述弯管的内部安装有氮化铝氮化钛电弧源，所述弯管上分别设置有稳弧线圈、聚焦线圈、引出线圈与水冷管道。
8.作为上述技术方案的进一步描述：
9.所述真空镀膜室的内部安装有一组加热器。
10.相比于现有技术，本实用新型的优点在于：
11.本方案通过调节弯管磁过滤线圈磁场大小，引出镀膜所需要的氮化铝氮化钛纳米材料，过滤电弧产生的大颗粒，从而在微钻上沉积一层超硬且润滑的氮化铝氮化钛纳米多层复合膜，减少涂层滴液现象。
附图说明
12.图1为本实用新型的结构示意图。
13.图中标号说明：
14.1、氮化铝氮化钛电弧源；2、稳弧线圈；3、聚焦线圈；4、引出线圈；5、旋转基片台；6、加热器；7、旋转电机；8、真空镀膜室；9、水冷管道。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；
16.请参阅图1，本实用新型中，一种微钻上生长氮化铝氮化钛纳米复合涂层装置结构，包括真空镀膜室8，真空镀膜室8的外侧设置有旋转电机7，旋转电机7的输出轴延伸至真空镀膜室8的内部，旋转电机7的输出轴通过联轴器固定连接有旋转基片台5，真空镀膜室8的外侧设置有两个弯管，弯管的内部安装有氮化铝氮化钛电弧源1，弯管上分别设置有稳弧线圈2、聚焦线圈3、引出线圈4与水冷管道9。
17.本实用新型中，在使用时，根据需要将被镀工件装入旋转基片台5上，进行固定，将真空镀膜室8抽真空，采用旋转电机7运作，可带动工件转动，在转动过程中，打开氮化铝氮化钛电弧源1，通过调节弯管上的稳弧线圈2、聚焦线圈3、引出线圈4，即可获取离化率高、大颗粒极少的超高硬度、摩擦系数极低的氮化铝氮化钛纳米复合涂层，采用水冷管道9的设置，增加电弧源水冷效果。
18.其中：真空镀膜室8的内部安装有一组加热器6。
19.本实用新型中，用户可根据使用需求来启动加热器6，对真空镀膜室8内温度进行调控。
20.需要说明的是，本申请中各设备的电路连接关系均属于简单的串联、并联连接电路，在电路连接这一块并不存在创新点，本领域技术人员可以较为容易的实现，属于现有技术，不再赘述。
21.工作原理：在使用时，根据需要将被镀工件装入旋转基片台5上，进行固定，将真空镀膜室8抽真空，此时用户可根据使用需求来启动加热器6，对真空镀膜室8内温度进行调控，采用旋转电机7运作，可带动工件转动，在转动过程中，打开氮化铝氮化钛电弧源1，通过调节弯管上的稳弧线圈2、聚焦线圈3、引出线圈4，即可获取离化率高、大颗粒极少的超高硬度、摩擦系数极低的氮化铝氮化钛纳米复合涂层，采用水冷管道9的设置，增加电弧源水冷效果，整个装置，通过调节弯管磁过滤线圈磁场大小，引出镀膜所需要的氮化铝氮化钛纳米材料，过滤电弧产生的大颗粒，从而在微钻上沉积一层超硬且润滑的氮化铝氮化钛纳米多层复合膜，减少涂层滴液现象。
22.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。


技术特征：
1.一种微钻上生长氮化铝氮化钛纳米复合涂层装置结构，包括真空镀膜室(8)，其特征在于：所述真空镀膜室(8)的外侧设置有旋转电机(7)，所述旋转电机(7)的输出轴延伸至真空镀膜室(8)的内部，所述旋转电机(7)的输出轴通过联轴器固定连接有旋转基片台(5)；所述真空镀膜室(8)的外侧设置有两个弯管，所述弯管的内部安装有氮化铝氮化钛电弧源(1)，所述弯管上分别设置有稳弧线圈(2)、聚焦线圈(3)、引出线圈(4)与水冷管道(9)。2.根据权利要求1所述的一种微钻上生长氮化铝氮化钛纳米复合涂层装置结构，其特征在于：所述真空镀膜室(8)的内部安装有一组加热器(6)。

技术总结
本实用新型公开了一种微钻上生长氮化铝氮化钛纳米复合涂层装置结构，属于真空镀膜技术领域，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室的外侧设置有旋转电机，所述旋转电机的输出轴延伸至真空镀膜室的内部，所述旋转电机的输出轴通过联轴器固定连接有旋转基片台，所述真空镀膜室的外侧设置有两个弯管，所述弯管的内部安装有氮化铝氮化钛电弧源。该实用新型，通过调节弯管磁过滤线圈磁场大小，引出镀膜所需要的氮化铝氮化钛纳米材料，过滤电弧产生的大颗粒，从而在微钻上沉积一层超硬且润滑的氮化铝氮化钛纳米多层复合膜，减少涂层滴液现象。减少涂层滴液现象。减少涂层滴液现象。


技术研发人员：邹杨 孙蕾 邹松东
受保护的技术使用者：洛阳奥尔材料科技有限公司
技术研发日：2022.11.10
技术公布日：2023/3/23