一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构的制作方法

本技术涉及一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构。

背景技术：

1、公转自转靶台是脉冲激光沉积系统的一种重要组成部分。它上面载有多种靶材用于薄膜制备，不同靶之间通过公转切换靶，以及用自转来完成激光在靶面上一个圆环形面的轰击，提高靶的利用率。为了便捷的取靶，有一种固定靶托的方式是插拔式的靶托。但传统插拔式靶托，在插入时如果用力过猛，靶托会存在力学冲击自转轴承，容易造成(自转)轴承钢球变型，轴承阻力变大，久而久之，轴承甚至卡死。即造成靶台的(自转)轴承经常坏死，进而造成靶台寿命短，极大降低设备利用率，使用体验差，使用困难。特别是真空中，轴承不加润滑油脂，轴承寿命会更短。而自转轴承整个靶台中运动最频繁的部件，更容易出现故障。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，解决背景技术中的问题，提出一种防撞结构，可以做到用力插拔靶托，不会对(自转)轴承造成冲击，极大延长轴承寿命。

2、为了实现以上目的，本实用新型采用的技术方案为：一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，包括依次布置的靶托、自转固定环、自转轴承基座和自转齿轮，靶托底部的插杆插置于自转固定环的自紧孔中，自转固定环底部的自转轴穿过自转轴承基座与自转齿轮相接，所述的自转轴承基座的前后两端设置轴承，两端轴承之间设置防护弹簧，自转轴的自由端插置于自转齿轮中与自转齿轮固接；自转固定环的自转轴前端与自转轴承基座之间具有间距，自转固定环的自转轴后端与自转齿轮间具有间距。

3、进一步的，自转固定环位于自紧孔的侧面开孔，该开孔沿自紧孔径向布置，该开孔中设置自紧弹簧，自紧弹簧的前端设置圆头柱塞。

4、再进一步的，自转固定环外位于所述的开孔处套置有固定圆环。

5、再进一步的，自转轴承基座的外侧设置固定座。

6、进一步的，自转齿轮的前端插置于自转轴承基座后端、且顶在后方轴承上。

7、进一步的，靶托底部的插杆上设置供圆头柱塞抵靠的凹陷槽。

8、进一步的，所述的间距均为1-2mm。

9、本实用新型的技术效果在于：本实用新型是一种防撞结构，可以做到用力插拔靶托，不会对(自转)轴承造成冲击，极大延长轴承寿命。

技术特征：

1.一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，包括依次布置的靶托(1)、自转固定环(2)、自转轴承基座(3)和自转齿轮(4)，靶托(1)底部的插杆插置于自转固定环(2)的自紧孔(21)中，自转固定环(2)底部的自转轴(25)穿过自转轴承基座(3)与自转齿轮(4)相接，所述的自转轴承基座(3)的前后两端设置轴承(31)，其特征在于：两端轴承(31)之间设置防护弹簧(32)，自转轴(25)的自由端插置于自转齿轮(4)中与自转齿轮(4)固接；自转固定环(2)的自转轴(25)前端与自转轴承基座(3)之间具有间距，自转固定环(2)的自转轴(25)后端与自转齿轮(4)间具有间距。

2.根据权利要求1所述的一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，其特征在于：自转固定环(2)位于自紧孔(21)的侧面开孔，该开孔沿自紧孔(21)径向布置，该开孔中设置自紧弹簧(22)，自紧弹簧(22)的前端设置圆头柱塞(23)。

3.根据权利要求2所述的一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，其特征在于：自转固定环(2)外位于所述的开孔处套置有固定圆环(24)。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，其特征在于：自转轴承基座(3)的外侧设置固定座(5)。

5.根据权利要求1所述的一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，其特征在于：自转齿轮(4)的前端插置于自转轴承基座(3)后端、且顶在后方轴承(31)上。

6.根据权利要求2所述的一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，其特征在于：靶托(1)底部的插杆上设置供圆头柱塞(23)抵靠的凹陷槽(11)。

7.根据权利要求1所述的一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，其特征在于：所述的间距均为1-2mm。

技术总结
本技术涉及一种用于脉冲激光沉积系统中的防撞靶台结构，包括依次布置的靶托、自转固定环、自转轴承基座和自转齿轮，靶托底部的插杆插置于自转固定环的自紧孔中，自转固定环底部的自转轴穿过自转轴承基座与自转齿轮相接，所述的自转轴承基座的前后两端设置轴承，两端轴承之间设置防护弹簧，自转轴的自由端插置于自转齿轮中与自转齿轮固接；自转固定环的自转轴前端与自转轴承基座之间具有间距，自转固定环的自转轴后端与自转齿轮间具有间距。

技术研发人员：李琳,韦尚潮,廖昭胜
受保护的技术使用者：安徽外延科技有限公司
技术研发日：20221219
技术公布日：2024/1/12