布气装置以及化学气相沉积设备的制作方法

本技术涉及化学气相沉积设备，特别涉及一种布气装置以及化学气相沉积设备。

背景技术：

1、随着光伏产业的不断发展，太阳能电池对薄膜均匀性要求和膜厚误差要求不断提高。由于化学气相沉积设备(hwcvd)是靠热丝裂解气体进行镀膜，所以气体的布气均匀性会显著影响薄膜生长均匀性。

2、相关技术中，化学气相沉积设备大都是采用布气盒进行布气，其中，布气盒上设置多个布气孔，通过往布气盒内注入气体，可以使得气体通过多个布气孔进入至化学气相沉积设备的工艺腔内完成布气，但是，在气体注入布气盒时，气体在布气盒内的均匀性较低，致使从布气盒的布气孔进入至工艺腔的气体的均匀性仍然较低。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种布气装置，能够提高布气均匀性。

2、本实用新型还提出一种具有上述布气装置的化学气相沉积设备。

3、根据本实用新型第一方面实施例的布气装置，包括：布气组件，所述布气组件设有均气腔，且所述布气组件的其中一侧设有多个布气孔，所述布气组件的另一侧设有多个间隔设置的进气孔，多个所述布气孔以及多个所述进气孔均与所述均气腔连通，其中，多个所述布气孔和多个所述进气孔分别位于所述布气组件相背的两侧；及进气管组件，所述进气管组件与所述布气组件连接，所述进气管组件具有多个出气口，多个所述出气口一一对应地与多个所述进气孔连通。

4、根据本实用新型实施例的布气装置，至少具有如下有益效果：

5、本实用新型的布气装置中，进气管组件内的气体分别从多个出气口排出后，可以通过多个进气孔分别进入至均气腔内，如此，可以初步把气体较均匀地分散在均气腔内，而不至于使得气体集中在均气腔的某一位置，之后，均气腔内的气体可以通过多个布气孔更均匀地扩散进入化学气相沉积设备的工艺腔，以达到提高布气均匀性的效果。

6、根据本实用新型的一些实施例，在多个所述进气孔中，包括中部进气孔、以及环绕于所述中部进气孔设置的多个侧部进气孔；

7、所述均气腔包括中部区域、以及分布于所述中部区域的四周的多个侧部区域，所述中部进气孔对着所述中部区域设置，多个所述侧部进气孔一一对应地对着多个所述侧部区域设置。

8、根据本实用新型的一些实施例，所述侧部进气孔的数量为四个，四个所述侧部进气孔呈阵列排布。

9、根据本实用新型的一些实施例，所述进气管组件包括进气主路、以及与所述进气主路均连通的多个进气支路；

10、在多个所述出气口中，包括形成于所述进气主路的中部出气口、以及分别形成于多个所述进气支路的多个侧部出气口，所述中部出气口与所述中部进气孔连通，多个所述侧部出气口分别与多个所述侧部进气孔连通。

11、根据本实用新型的一些实施例，所述进气支路的数量为四个，所述进气主路包括第一连接节点以及第二连接节点，其中有两个所述进气支路连接在所述第一连接节点，另外两个所述进气支路连接在所述第二连接节点，所述中部出气口形成于所述第一连接节点和所述第二连接节点之间。

12、根据本实用新型的一些实施例，多个所述布气孔均匀设置。

13、根据本实用新型的一些实施例，所述布气组件包括安装件及布气板，所述安装件形成有具有敞开口的内腔，所述布气板盖设于所述敞开口，所述进气孔开设于所述安装件，所述布气孔开设于所述布气板，所述进气管组件安装于所述安装件上。

14、根据本实用新型的一些实施例，所述安装件包括安装板、以及在所述安装板的边缘折弯设置的折弯部，所述安装板与所述折弯部配合形成所述内腔。

15、根据本实用新型第二方面实施例的化学气相沉积设备，包括如上所述的布气装置。

16、根据本实用新型实施例的化学气相沉积设备，至少具有如下有益效果：

17、本实用新型的化学气相沉积设备具有上述的布气装置，在布气装置中，进气管组件内的气体分别从多个出气口排出后，可以通过多个进气孔分别进入至均气腔内，如此，可以初步把气体较均匀地分散在均气腔内，而不至于使得气体集中在均气腔的某一位置，之后，均气腔内的气体可以通过多个布气孔更均匀地扩散进入化学气相沉积设备的工艺腔，以达到提高布气均匀性的效果。

18、根据本实用新型的一些实施例，所述的化学气相沉积设备还包括热丝以及载板，所述布气装置、所述热丝以及所述载板依次并排设置，所述布气孔朝向所述热丝和所述载板设置。

19、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种布气装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的布气装置，其特征在于，在多个所述进气孔中，包括中部进气孔、以及环绕于所述中部进气孔设置的多个侧部进气孔；

3.根据权利要求2所述的布气装置，其特征在于，所述侧部进气孔的数量为四个，四个所述侧部进气孔呈阵列排布。

4.根据权利要求2所述的布气装置，其特征在于，所述进气管组件包括进气主路、以及与所述进气主路均连通的多个进气支路；

5.根据权利要求4所述的布气装置，其特征在于，所述进气支路的数量为四个，所述进气主路包括第一连接节点以及第二连接节点，其中有两个所述进气支路连接在所述第一连接节点，另外两个所述进气支路连接在所述第二连接节点，所述中部出气口形成于所述第一连接节点和所述第二连接节点之间。

6.根据权利要求1所述的布气装置，其特征在于，多个所述布气孔均匀设置。

7.根据权利要求1所述的布气装置，其特征在于，所述布气组件包括安装件及布气板，所述安装件形成有具有敞开口的内腔，所述布气板盖设于所述敞开口，所述进气孔开设于所述安装件，所述布气孔开设于所述布气板，所述进气管组件安装于所述安装件上。

8.根据权利要求7所述的布气装置，其特征在于，所述安装件包括安装板、以及在所述安装板的边缘折弯设置的折弯部，所述安装板与所述折弯部配合形成所述内腔。

9.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括如上权利要求1至8任一项所述的布气装置。

10.根据权利要求9所述的化学气相沉积设备，其特征在于，还包括热丝以及载板，所述布气装置、所述热丝以及所述载板依次并排设置，所述布气孔朝向所述热丝和所述载板设置。

技术总结
本技术公开了一种布气装置以及化学气相沉积设备，布气装置，包括：布气组件，布气组件设有均气腔，且布气组件的其中一侧设有多个布气孔，布气组件的另一侧设有多个进气孔，多个布气孔以及多个进气孔均与均气腔连通，其中，多个布气孔和多个进气孔分别位于布气组件相背的两侧；及进气管组件，进气管组件与布气组件连接，进气管组件具有多个出气口，多个出气口一一对应地与多个进气孔连通。布气装置可以初步把气体较均匀地分散在均气腔内，而不至于使得气体集中在均气腔的某一位置，之后，均气腔内的气体可以通过多个布气孔更均匀地扩散进入化学气相沉积设备的工艺腔，以达到提高布气均匀性的效果。

技术研发人员：余仲,赵步举,谭晓华,张海涛,刘顺,杨福满,程培勇
受保护的技术使用者：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
技术研发日：20221222
技术公布日：2024/2/19