纳米薄膜制备用气相沉积设备的制作方法

本技术涉及气相沉积设备，具体为纳米薄膜制备用气相沉积设备。

背景技术：

1、化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是iii-v、ii-iv、iv-vi族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制，目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

2、目前，传统化学气相沉积通过加热器升温后，在不影响内部情况下，通常需要等待内部自身进行降温，需要等待很长的时间，会影响工作效率的问题，并且现有技术大多不能根据需要进行调节高度，使用起来不方便。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供纳米薄膜制备用气相沉积设备，具有可以进行根据需要来调节高度，可通过外部降温减少降温时间，提高工作效率的优点，解决了现有技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括上腔体，所述上腔体顶部连接有连接软管，所述连接软管远离上腔体的一端连接有输气管，所述输气管下端连接有反应气源瓶，所述输气管上连接有手动阀，所述反应气源瓶由卡爪进行固定，所述卡爪安装连接在上腔体右侧外围表面，所述上腔体左侧表面设有连接管道a，所述连接管道a与上腔体的空腔b联通，所述上腔体底部左右两端均开设有螺纹孔a，所述螺纹孔a内安装有固定螺栓，所述上腔体，内部固定安装有发热线圈，所述上腔体下方设有密封圈，所述密封圈左右两端均开设有螺纹孔b，所述密封圈下方设有下腔体，所述下腔体顶部左右两端开设有螺纹孔c，所述下腔体左侧设置有电控箱，所述下腔体右侧连接有连接管道b，所述下腔体内部设置有空腔a，所述空腔a与连接管道b之间进行联通，所述下腔体内部底端安装有电动推杆。

3、优选的，所述电控箱表面安装有触摸控制面板，所述电控箱内部设有隔板，所述隔板上方安装有plc控制器，所述隔板下方安装有蓄电池。

4、优选的，所述连接管道a由上方安装的电控阀b进行控制气体流通进入下腔体，所述连接管道b由上方安装有电控阀a进行控制气体流出空腔a。

5、优选的，所述电动推杆内部底端设置有步进电机，所述步进电机轴向转动连接有传动杆，所述传动杆螺纹连接有滑动块，所述滑动块固定安装在安装板的右侧，所述安装板的左侧设有限位板，所述限位板与安装板之间为滑动连接，所述安装板上安装有伸缩内杆，所述伸缩内杆顶部安装有托盘。

6、优选的，所述触摸控制面板和plc控制器与设备主体之间为电性连接。

7、优选的，所述螺纹孔a、螺纹孔b和螺纹孔c之间上下相互对应，所述通过固定螺栓进行贯穿连接，所述固定螺栓底端连接有螺帽对上腔体、密封圈和下腔体之间进行固定连接。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

9、1.本纳米薄膜制备用气相沉积设备通过连接管道a上方的电控阀b，有利于控制连接管道a的接通和闭合，方便将连接外部干冰箱内的干冰送入空腔b和空腔a内对上腔体和下腔体内，进行快速的降温，提高工作效率，通过密封圈，有利于将上腔体和下腔体进行连接时保湿量高的密封性。

10、2.本纳米薄膜制备用气相沉积设备通过电动推杆，有利于根据需要进行调节高度，方便进行使用。

技术特征：

1.纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括上腔体(1)，其特征在于：所述上腔体(1)顶部连接有连接软管(14)，所述连接软管(14)远离上腔体(1)的一端连接有输气管(13)，所述输气管(13)下端连接有反应气源瓶(11)，所述输气管(13)上连接有手动阀(12)，所述反应气源瓶(11)由卡爪(10)进行固定，所述卡爪(10)安装连接在上腔体(1)右侧外围表面，所述上腔体(1)左侧表面设有连接管道a(16)，所述连接管道a(16)与上腔体(1)的空腔b(33)联通，所述上腔体(1)底部左右两端均开设有螺纹孔a(2)，所述螺纹孔a(2)内安装有固定螺栓(9)，所述上腔体(1)，内部固定安装有发热线圈(17)，所述上腔体(1)下方设有密封圈(3)，所述密封圈(3)左右两端均开设有螺纹孔b(18)，所述密封圈(3)下方设有下腔体(7)，所述下腔体(7)顶部左右两端开设有螺纹孔c(19)，所述下腔体(7)左侧设置有电控箱(4)，所述下腔体(7)右侧连接有连接管道b(6)，所述下腔体(7)内部设置有空腔a(23)，所述空腔a(23)与连接管道b(6)之间进行联通，所述下腔体(7)内部底端安装有电动推杆(24)。

2.根据权利要求1所述的纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述电控箱(4)表面安装有触摸控制面板(5)，所述电控箱(4)内部设有隔板，所述隔板上方安装有plc控制器(22)，所述隔板下方安装有蓄电池(21)。

3.根据权利要求1所述的纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述连接管道a(16)由上方安装的电控阀b(15)进行控制气体流通进入下腔体(7)，所述连接管道b(6)由上方安装有电控阀a(8)进行控制气体流出空腔a(23)。

4.根据权利要求1所述的纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述电动推杆(24)内部底端设置有步进电机(26)，所述步进电机(26)轴向转动连接有传动杆(27)，所述传动杆(27)螺纹连接有滑动块(28)，所述滑动块(28)固定安装在安装板(31)的右侧，所述安装板(31)的左侧设有限位板(30)，所述限位板(30)与安装板(31)之间为滑动连接，所述安装板(31)上安装有伸缩内杆(29)，所述伸缩内杆(29)顶部安装有托盘(25)。

5.根据权利要求2所述的纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述触摸控制面板(5)和plc控制器(22)与设备主体之间为电性连接。

6.根据权利要求3所述的纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述螺纹孔a(2)、螺纹孔b(18)和螺纹孔c(19)之间上下相互对应，所述通过固定螺栓(9)进行贯穿连接，所述固定螺栓(9)底端连接有螺帽(20)对上腔体(1)、密封圈(3)和下腔体(7)之间进行固定连接。

技术总结
本技术公开了纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括上腔体，上腔体顶部连接有连接软管，连接软管远离上腔体的一端连接有输气管，输气管下端连接有反应气源瓶，输气管上连接有手动阀，反应气源瓶由卡爪进行固定，卡爪安装连接在上腔体右侧外围表面，上腔体左侧表面设有连接管道A，连接管道A与上腔体的空腔B联通，上腔体底部左右两端均开设有螺纹孔A，螺纹孔A内安装有固定螺栓，上腔体，内部固定安装有发热线圈，上腔体下方设有密封圈，密封圈左右两端均开设有螺纹孔B，密封圈下方设有下腔体；本纳米薄膜制备用气相沉积设备具有可以进行根据需要来调节高度，可通过外部降温减少降温时间，提高工作效率的优点。

技术研发人员：王海侠,刘宏
受保护的技术使用者：欧钛鑫光电科技（苏州）有限公司
技术研发日：20221227
技术公布日：2024/1/13