一种气瓶用定体积加水装置的制作方法

本发明属于气瓶内壁研磨抛光，尤其涉及一种气瓶用定体积加水装置。

背景技术：

1、精密气体输送是半导体制造的核心，许多不同的气体——腐蚀性气体、反应性气体和惰性气体——以不同的流速被输送到处理室，以在用于制造逻辑和存储芯片的硅晶片上产生关键特征。这些气体统称为电子特种气体(esg)。在生产过程中，不仅需要以精确的数量和出色的可重复性输送这些气体，而且还需要严格的纯度水平。所以需要储存该类气体的气瓶内壁足够清洁，即需要其内壁足够光滑，没有细小缝隙导致清洁度不够要求。

2、现有技术中，一般使用流体抛光法来实现气瓶内壁超光滑的要求，在流体抛光法中，需要在瓶内装入研磨料、研磨膏和去离子水，然后用研磨堵盖通过螺纹旋紧于不锈钢气瓶瓶口上；再将装有研磨料、研磨膏和去离子水的不锈钢气瓶安装于研磨旋转机中，在研磨旋转机的旋转带动下进行不锈钢气瓶内表面的研磨过程。需要注意的是，由于磨料本身大小不一致，确定磨料重量并加入气瓶内之后，其高度并非固定，所以需要根据磨料加入气瓶内的高度来确定加入去离子水的体积。一般情况下，去离子水加入气瓶后的形成的液面高度超过磨料30mm左右即达到标准。

3、然而，瓶内加入磨料后，由于气瓶本身并非透明，常规加水方法难以观察到加水高度，导致研磨料、研磨膏和去离子水的配比达不到标准，影响最终研磨效果。所以目前需要一种能够定体积向气瓶内加水的装置。

技术实现思路

1、本发明目的是提供一种气瓶用定体积加水装置，本发明通过调整感应件单元来既定目标水位高度，并且感应浮标能够实时监控气瓶内水位高度，一旦感应浮标与感应件单元平齐，则水位达到既定值，感应件单元向外部加水设备发出停止信号，以实现定体积加水的技术目的。

2、本发明解决上述问题采用的技术方案是：一种气瓶用定体积加水装置，包括用于安装在气瓶瓶口上的注水柱单元，设置在所述注水柱单元上且延伸至气瓶瓶底的滑动柱，套接在所述滑动柱上的感应浮标，以及设置在所述滑动柱内空腔中，上下调整高度且用于接收来自所述感应浮标信号的感应件单元。

3、进一步优选的技术方案在于：所述注水柱单元包括注水柱，设置在所述注水柱侧面上的进水管，以及设置在所述注水柱底端上的注水孔。

4、进一步优选的技术方案在于：所述感应件单元包括用于接收所述感应浮标信号的接收器，用于安装所述接收器的配重块，以及底端连接所述配重块的牵引绳；还包括设置在所述注水柱上并用于收纳所述牵引绳的收纳辊单元。

5、进一步优选的技术方案在于：所述收纳辊单元包括收纳筒，设置在所述收纳筒上的收纳辊，设置在所述收纳辊上的旋转扶手，以及设置在所述收纳筒与收纳辊上的指示凸起。

6、进一步优选的技术方案在于：还包括设置在所述滑动柱下端并用于锁定所述感应件单元的磁性底座单元。

7、进一步优选的技术方案在于：所述磁性底座单元包括底座，设置在所述底座上并用于吸引所述配重块的永磁体，以及设置在所述底座上且 用于移动所述永磁体的触发柱部。

8、进一步优选的技术方案在于：所述触发柱部包括触发柱，设置在所述触发柱下端的连接柱，连接所述永磁体外端与连接柱下端的传动绳，以及用于安装所述传动绳的换向滑轮。

9、进一步优选的技术方案在于：所述触发柱部还包括用于向外顶起所述连接柱的第一复位弹簧，以及用于向内顶起所述永磁体的第二复位弹簧。

10、进一步优选的技术方案在于：所述触发柱部还包括用于阻挡所述配重块向上移动的限位杠杆，设置在所述触发柱上端并用于抬起所述限位杠杆的解锁杆，以及设置在所述解锁杆底端上的解锁永磁体。

11、一种气瓶流体研磨方法，使用上述气瓶用定体积加水装置。

12、本发明的有益之处在于：

13、第一、通过调整感应件单元高度来实现对目标水位的调整，无需观察气瓶内水位；

14、第二、感应浮标与感应件单元高度一致时停止注水过程，实现自动控水效果；

15、第三、滑动柱底部设有磁性底座，使得感应件单元初始高度与气瓶底对齐，无需调零；

16、第四、磁性底座接触到气瓶瓶底后自动解除对感应件单元的限制。

技术特征：

1.一种气瓶用定体积加水装置，其特征在于，包括用于安装在气瓶瓶口上的注水柱单元（1），设置在所述注水柱单元（1）上且延伸至气瓶瓶底的滑动柱（2），套接在所述滑动柱（2）上的感应浮标（3），以及设置在所述滑动柱（2）内空腔中，上下调整高度且用于接收来自所述感应浮标（3）信号的感应件单元（4）。

2.根据权利要求1所述的一种气瓶用定体积加水装置，其特征在于，所述注水柱单元（1）包括注水柱（101），设置在所述注水柱（101）侧面上的进水管（102），以及设置在所述注水柱（101）底端上的注水孔（103）。

3.根据权利要求2所述的一种气瓶用定体积加水装置，其特征在于，所述感应件单元（4）包括用于接收所述感应浮标（3）信号的接收器（401），用于安装所述接收器（401）的配重块（402），以及底端连接所述配重块（402）的牵引绳（403）；还包括设置在所述注水柱（101）上并用于收纳所述牵引绳（403）的收纳辊单元（5）。

4.根据权利要求3所述的一种气瓶用定体积加水装置，其特征在于，所述收纳辊单元（5）包括收纳筒（501），设置在所述收纳筒（501）上的收纳辊（502），设置在所述收纳辊（502）上的旋转扶手（503），以及设置在所述收纳筒（501）与收纳辊（502）上的指示凸起（504）。

5.根据权利要求3所述的一种气瓶用定体积加水装置，其特征在于，还包括设置在所述滑动柱（2）下端并用于锁定所述感应件单元（4）的磁性底座单元（6）。

6.根据权利要求5所述的一种气瓶用定体积加水装置，其特征在于，所述磁性底座单元（6）包括底座（601），设置在所述底座（601）上并用于吸引所述配重块（402）的永磁体（602），以及设置在所述底座（601）上且用于移动所述永磁体（602）的触发柱部（603）。

7.根据权利要求6所述的一种气瓶用定体积加水装置，其特征在于，所述触发柱部（603）包括触发柱（603a），设置在所述触发柱（603a）下端的连接柱（603b），连接所述永磁体（602）外端与连接柱（603b）下端的传动绳（603c），以及用于安装所述传动绳（603c）的换向滑轮（603d）。

8.根据权利要求7所述的一种气瓶用定体积加水装置，其特征在于，所述触发柱部（603）还包括用于向外顶起所述连接柱（603b）的第一复位弹簧（603e），以及用于向内顶起所述永磁体（602）的第二复位弹簧（603f）。

9.根据权利要求7所述的一种气瓶用定体积加水装置，其特征在于，所述触发柱部（603）还包括用于阻挡所述配重块（402）向上移动的限位杠杆（603h），设置在所述触发柱（603a）上端并用于抬起所述限位杠杆（603h）的解锁杆（603g），以及设置在所述解锁杆（603g）底端上的解锁永磁体（603i）。

10.一种气瓶流体研磨方法，其特征在于，使用如权利要求1-9任一项所述的气瓶用定体积加水装置。

技术总结
本发明属于气瓶内壁研磨抛光技术领域，尤其涉及一种气瓶用定体积加水装置。本发明包括注水柱单元，滑动柱，感应浮标以及感应件单元，通过调整感应件单元来既定目标水位高度，并且感应浮标能够实时监控气瓶内水位高度，一旦感应浮标与感应件单元平齐，则水位达到既定值，感应件单元向外部加水设备发出停止信号，以实现定体积加水的技术目的。本发明的有益之处在于：通过调整感应件单元高度来实现对目标水位的调整，无需观察气瓶内水位；感应浮标与感应件单元高度一致时停止注水过程，实现自动控水效果；滑动柱底部设有磁性底座，使得感应件单元初始高度与气瓶底对齐，无需调零；磁性底座接触到气瓶瓶底后自动解除对感应件单元的限制。

技术研发人员：谈益强,杨孝欢,叶玉峰,魏英杰,施天翔,薛剑
受保护的技术使用者：浙江陶特容器科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11