一种抛磨机构及抛磨修整装置的制作方法

本发明涉及抛光设备，具体涉及一种抛磨机构及抛磨修整装置。

背景技术：

1、在半导体器件制造业中，抛光垫的抛光表面需要经常进行修整。在传统技术中，通过驱动件驱动修整盘下压，使得修整盘的下表面与抛光垫的下表面接触摩擦，从而实现对抛光垫表面的修整，但是由于传统技术中，修整盘下压后与抛光垫实现面接触，抛光垫在不同区域的修整时间以及于修整盘各个接触点的线速度都处于不可控的状态，从而容易导致抛光垫的抛磨不均匀，影响成品质量。

技术实现思路

1、因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的抛光垫的修整不均匀的缺陷，从而提供一种抛磨机构及抛磨修整装置。

2、为解决上述技术问题，本发明的技术方案如下：

3、一种抛磨机构，包括：固定座、安装架和执行件，所述固定座上设有第一驱动机构；所述安装架与所述第一驱动机构的输出端连接，所述安装架上设有第二驱动机构；所述执行件呈圆锥台状或圆锥状，所述执行件倾斜设置于所述安装架上，所述执行件的侧壁适于与抛光垫水平抵接，所述第二驱动机构的输出端与所述执行件传动连接；所述第一驱动机构驱动所述安装架沿垂直于所述抛光垫的方向做往复运动，所述第二驱动机构驱动所述执行件转动以对所述抛光垫进行抛磨。

4、根据本发明的一些实施例，所述安装架包括相连接的延伸部和主体部，所述主体部的底部沿自下而上的方向开设有容置槽，所述执行件倾斜设置于所述容置槽内。

5、根据本发明的一些实施例，所述固定座和所述安装架之间设有转接座，所述转接座上设有连接孔，所述延伸部穿设于所述连接孔上，所述延伸部的顶端与所述第一驱动机构传动连接。

6、根据本发明的一些实施例，所述转接座包括连接轴和连接底板，所述连接轴的一端与所述固定座连接，所述连接轴的另一端与所述连接底板连接，所述连接孔设于所述连接底板的中部，所述连接孔内设有第一直线轴承，所述延伸部穿设于所述第一直线轴承上。

7、根据本发明的一些实施例，所述第一驱动机构为下压气缸，所述延伸部上套设有弹性件，所述弹性件的一端与所述延伸部的端头下表面抵接，所述弹性件的另一端与所述连接底板的上表面抵接。

8、根据本发明的一些实施例，所述连接底板上设有若干个安装孔，所述安装孔内设有第二直线轴承，所述主体部上连接有防转导向轴，所述防转导向轴穿设于所述第二直线轴承上。

9、根据本发明的一些实施例，所述容置槽的两个相对侧壁上分别开设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔的轴心位于同一条轴线上，且所述轴线相对于水平线倾斜设置。

10、根据本发明的一些实施例，所述主体部上设有传动轴，所述传动轴的两端分别穿设于所述第一通孔和所述第二通孔，所述执行件固定套设于所述传动轴上，所述第二驱动机构的输出端与所述传动轴传动连接。

11、根据本发明的一些实施例，所述主体部的外侧壁上设有转接板，所述第二驱动机构通过所述转接板与所述主体部固定连接，所述第二驱动机构为驱动电机。

12、本发明还提出了一种抛磨修整装置，包括基座、悬臂结构和上述的抛磨机构，所述基座上设有第三驱动机构；所述悬臂结构的一端与所述第三驱动机构的输出端传动连接；所述抛磨机构的固定座与所述悬臂结构的另一端固定连接，所述第三驱动机构驱动所述悬臂结构在初始位置以及工艺位置之间往复摆动，以便于所述抛磨机构对抛光垫进行抛磨修整。

13、本发明技术方案，具有如下优点：

14、1.本发明提供的抛磨机构，固定座上的第一驱动机构驱动安装架在抛光垫的上方竖直往复运动，当需要对抛光垫进行抛磨时，通过第一驱动机构驱动安装架下压，以使得安装架上的执行件与抛光垫抵接；由于执行件呈圆锥台状或圆锥状，当执行件倾斜放置时，执行件的侧壁与抛光垫水平抵接后，实现线接触，通过第二驱动机构驱动执行件转动，使得执行件与抛光垫相对摩擦，执行件和抛光垫的每个接触点的线速度相等，进而实现对抛光垫的均匀抛磨，提高抛光垫修整后的均匀性。

15、2.本发明提供的抛磨机构，通过将执行件设置呈圆锥台状，实现执行件与抛光片的线接触，对转动中的执行件的每个点的线速度进行精确线性控制，使得执行件与抛光垫接触后每个接触点的线速度相同，进而达到对抛光垫均匀抛磨的目的。

16、3.本发明提供的抛磨机构，通过下压气缸驱动安装架在竖直方向上的直线移动，通过使用弹性件将完成抛磨后的安装架回弹至初始高度位置，下压气缸保证了压力的稳定性，从而保证抛磨的均匀性。

17、4.本发明提供的抛磨机构，通过传动轴带动执行件转动，通过驱动电机驱动传动轴转动，从而实现执行件的转动，通过控制转速控制执行件与抛光垫每个接触点的线速度，实现精确线性调节，提高抛光垫抛磨的均匀性，传动轴的设置可提高整体可靠性。

18、5.本发明提供的抛磨修整装置，通过基座上设置的第三驱动机构，将抛磨机构从初始位置摆动至工艺位置，该工艺位置即抛光垫的所在位置，当抛磨机构摆动至工艺位置后，第一驱动机构和第二驱动机构启动，从而对抛光垫进行抛磨，当对抛光垫进行抛磨结束后，第三驱动机构驱动抛磨机构重新回摆至初始位置，完成抛光修磨工艺。该抛磨修整装置结构简单，操作方便，可提高抛光垫的修磨效率，降低成本。

技术特征：

1.一种抛磨机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的抛磨机构，其特征在于，所述安装架(2)包括相连接的延伸部(21)和主体部(22)，所述主体部(22)的底部沿自下而上的方向开设有容置槽(223)，所述执行件(4)倾斜设置于所述容置槽(223)内。

3.根据权利要求2所述的抛磨机构，其特征在于，所述固定座(1)和所述安装架(2)之间设有转接座(3)，所述转接座(3)上设有连接孔，所述延伸部(21)穿设于所述连接孔上，所述延伸部(21)的顶端与所述第一驱动机构(6)传动连接。

4.根据权利要求3所述的抛磨机构，其特征在于，所述转接座(3)包括连接轴(31)和连接底板(32)，所述连接轴(31)的一端与所述固定座(1)连接，所述连接轴(31)的另一端与所述连接底板(32)连接，所述连接孔设于所述连接底板(32)的中部，所述连接孔内设有第一直线轴承(33)，所述延伸部(21)穿设于所述第一直线轴承(33)上。

5.根据权利要求4所述的抛磨机构，其特征在于，所述第一驱动机构(6)为下压气缸，所述延伸部(21)上套设有弹性件(34)，所述弹性件(34)的一端与所述延伸部(21)的端头下表面抵接，所述弹性件(34)的另一端与所述连接底板(32)的上表面抵接。

6.根据权利要求5所述的抛磨机构，其特征在于，所述连接底板(32)上设有若干个安装孔，所述安装孔内设有第二直线轴承(35)，所述主体部(22)上连接有防转导向轴(24)，所述防转导向轴(24)穿设于所述第二直线轴承(35)上。

7.根据权利要求2所述的抛磨机构，其特征在于，所述容置槽(223)的两个相对侧壁上分别开设有第一通孔(221)和第二通孔(222)，所述第一通孔(221)和所述第二通孔(222)的轴心位于同一条轴线上，且所述轴线相对于水平线倾斜设置。

8.根据权利要求7所述的抛磨机构，其特征在于，所述主体部(22)上设有传动轴(23)，所述传动轴(23)的两端分别穿设于所述第一通孔(221)和所述第二通孔(222)，所述执行件(4)固定套设于所述传动轴(23)上，所述第二驱动机构(7)的输出端与所述传动轴(23)传动连接。

9.根据权利要求2所述的抛磨机构，其特征在于，所述主体部(22)的外侧壁上设有转接板，所述第二驱动机构(7)通过所述转接板与所述主体部(22)固定连接，所述第二驱动机构(7)为驱动电机。

10.一种抛磨修整装置，其特征在于，包括：

技术总结
本发明公开了一种抛磨机构及抛磨修整装置，抛磨机构包括：固定座、安装架和执行件，固定座上的第一驱动机构驱动安装架在抛光垫的上方竖直往复运动，当需要对抛光垫进行抛磨时，通过第一驱动机构驱动安装架下压，以使得安装架上的执行件与抛光垫抵接；由于执行件呈圆锥台状或圆锥状，当执行件倾斜放置时，执行件的侧壁与抛光垫水平抵接后，实现线接触，通过第二驱动机构驱动执行件转动，使得执行件与抛光垫相对摩擦，执行件和抛光垫的每个接触点的线速度相等，进而实现对抛光垫的均匀抛磨，提高抛光垫修整后的均匀性。

技术研发人员：郑宗浩,李伟,尹影
受保护的技术使用者：北京晶亦精微科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13