本发明涉及耐高温涂层,特别是涉及一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层。
背景技术:
1、影视灯具上一般都有2~4片遮扉,它具有挡光作用,通俗称它为遮光板,它的主要作用是控制有效光区。主要作用:1.突出主题,强实弱虚;2.同一平面,层次分明;3.不同材质,控制光区;4.控制光区,互不干扰。
2、通常,遮光板的材质有:亚克力板,铝合金等,表面做遮光涂层。但是遮光板的耐温性要求高,导致其使用寿命低。舞台聚光灯光线完全靠后面较大的反射镜射出,用同样大功率的灯泡,如钨丝聚光灯,亮度较聚光要亮,在舞台上要表现强烈光源和亮度时使用,同时在调光时中心常出现黑心,容易引起燃烧。为避免黑心,在灯前端加上遮光板,使其射出的光斑大而不易收拢。此工作环境下对耐温性要求高,同时还保证稳定遮光效果。遮光板的一般应用耐高温涂层只有500-600℃左右,无法满足使用需求。
技术实现思路
1、针对上述现有技术的不足,本专利申请所要解决的技术问题是如何提供一种能够提高耐温性能,延长使用寿命,生产效率高的应用于舞台遮光板的耐高温涂层。
2、为了解决上述技术问题,本发明采用了如下的技术方案:
3、一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层,包括基体,基体的顶部沉积ti打底层,ti打底层的顶部沉积crn过渡层,crn过渡层的顶部沉积alcrn耐高温层。
4、一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层的制备方法包括以下步骤:
5、s1:基体表面预处理;
6、s2:在采用反应磁控溅射技术在氩气的气氛中进行溅射,在基体的顶部进行ti的沉积,沉积参数为阴极功率12kw,ti靶电流为30a,电压426v,在沉积过程中基体对ti靶进行正转;
7、s3:沉积前将炉内温度升至大于420℃,开启cr靶,电流为100a,偏压为600v,离子轰击基材表面进行清洗时间为5min,然后用120a电流40v偏压通入600氮气进行crn沉积;
8、s4:在沉积alcrn时进行50-200v的90分钟iet清洗,关闭cr靶,沉积alcrn靶电流为150a,基体负偏压大于40v,通入3.5pa的氮气进行涂层。
9、其中,步骤s1中,基体表面预处理采用以下方式:
10、对基体做涂层分析,将基体用120金刚砂喷砂后擦拭外观,硅片经酒精擦拭自然烘干,将温度升至180°本体抽至2x10-3pa,通入80scmm氩气,用200v偏压对基体表面进行45min清洗,然后关闭靶材挡板用进行5min靶清洗除去氧化层。
11、其中,ti靶的纯度大于99.99%。
12、其中,cr靶的纯大于99.99%。
13、综上,本应用于舞台遮光板的耐高温涂层具有以下有益效果:
14、1.经过多批次验证,纯ti涂层对遮光板的膜基结合力最优,且对后面的功能涂层alcrn结合力也优异,而遮光板直接与功能涂层alcrn结合效果较差,同时钛涂层可以满足耐温性需求。
15、2.alcrn优异特性:
16、1)更加耐高温氧化(1100℃时仍然保持25gpa的硬度);
17、2)可以调整膜层的组织结构,达到想要的效果;
18、3)沉积效率稳定高效。
1.一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层,其特征在于,包括基体,基体的顶部沉积ti打底层,ti打底层的顶部沉积crn过渡层,crn过渡层的顶部沉积alcrn耐高温层。
2.根据权利要求1所述的一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层,其特征在于,其制备方法包括以下步骤:
3.根据权利要求2所述的一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层,其特征在于,步骤s1中,基体表面预处理采用以下方式:
4.根据权利要求1所述的一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层,其特征在于,ti靶的纯度大于99.99%。
5.根据权利要求1所述的一种应用于舞台遮光板的耐高温涂层,其特征在于,cr靶的纯度大于99.99%。