抛光机及调平方法与流程

本发明涉及抛光，特别是涉及抛光机及调平方法。

背景技术：

1、抛光机的用于供给抛光液的结构为开放结构，其由上部的上机架，固定于上机架的多个流液管和下部的接液环组成，这些流液管的出液口位于同一圆周上。流液管中的抛光液流到接液环上，接液环旋转以利用离心力使抛光液分布在整个接液环上，从而使抛光液从接液环上的多个孔道流入上盘。

2、由于抛光液的浸润，接液环内壁上会形成一些顽固的结晶。在抛光的过程中，如果这些结晶脱落后随着抛光液流入上盘，会导致抛光中的产品划伤。目前，通常依靠纯水的冲洗对接液环表面进行清洁，但纯水的冲洗无法清除这些结晶。而且，接液环由于机械振动等原因会出现倾斜，导致各个流液管的出液口和接液环之间的高度差不一致，不同流液管中的抛光液经过不同的距离滴落到接液环上，导致抛光液流入上盘的液量和流速不均，不利于抛光液均匀供给，影响产品的抛光品质。因此，在抛光机工作之前，有必要进行调节以使各个流液管的出液口和接液环之间的高度差一致。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述问题，提供一种抛光机。该抛光机能够利用刷头刷掉接液环内壁上的结晶，并且能够利用刷头对上机架进行调平以使各个流液管的出液口和接液环之间的高度差一致。

2、为了解决上述问题，本发明提供技术方案如下：

3、一种抛光机，包括上盘中心轴，所述上盘中心轴用于带动上盘转动和升降，还包括：上机架，相对所述上盘中心轴可活动地设置；接液结构，包括连接盘和接液环，所述连接盘固定连接于所述上盘中心轴，所述接液环固定连接于所述连接盘；刷头，至少部分位于所述接液环内，以与所述接液环内壁接触；第一驱动件，连接于所述上机架，用于驱动所述刷头转动；检测单元，用于检测所述第一驱动件的负载；及调平单元，可活动地设置于所述上机架，用于将所述上机架调平。

4、如此设置，在使用该抛光机进行抛光之前，可以通过第一驱动件驱动刷头转动，转动的刷头便能刷掉接液环内壁上的结晶。让接液环转动至少一圈而刷头的位置不变，刷头便能清除接液环整圈内壁上的结晶，这样便能避免接液环内壁上形成的结晶脱落而进入上盘导致抛光中的产品划伤。

5、而且，通过检测第一驱动件的负载，可以判断刷头是否在上机架调平的状态下工作，从而判断上机架是否调平。若上机架没有调平，则可以根据第一驱动件的负载，通过调平单元将上机架调平。

6、将上机架调平能够使各个流液管的出液口和接液环之间的高度差一致，以使抛光液流入上盘的液量和流速均匀，利于抛光液均匀供给，从而提高产品的抛光品质。此外，如果在上机架相对于接液环倾斜的状态下利用刷头长时间地清洁接液环，刷头可能对接液环造成损伤。将上机架调平则可以防止刷头对接液环造成损伤。

7、在其中一个实施例中，所述抛光机还包括固设于所述上机架的第二驱动件，所述第二驱动件包括可升降的第二输出轴，所述刷头连接于所述第二输出轴；及/或，所述抛光机还包括固设于所述上机架的第三驱动件，所述第三驱动件包括可升降的第三输出轴，所述调平单元设置于所述第三输出轴。

8、在其中一个实施例中，所述调平单元包括连接件和滚动件，所述连接件可升降地设置于所述上机架，所述滚动件转动连接于所述连接件且在调平过程中滚动连接于所述连接盘以抵接所述连接盘。

9、在其中一个实施例中，所述刷头、所述第一驱动件、所述检测单元、所述调平单元均设有多个，且分别一一对应设置，所述刷头环设于所述上盘中心轴；及/或，所述刷头、所述第一驱动件、所述检测单元、所述调平单元均设有多个，且分别一一对应设置，所述调平单元环设于所述上盘中心轴；及/或，所述刷头、所述第一驱动件、所述检测单元、所述调平单元均设有多个，且分别一一对应设置，对应的所述第一驱动件与所述调平单元并排设置。

10、在其中一个实施例中，所述抛光机还包括密封罩，所述密封罩套设于所述上盘中心轴外，所述上机架和所述接液结构均位于所述密封罩内。

11、如此设置，可以利用密封罩起到防护作用。具体地，密封罩将上机架、接液结构均与外界隔开，以防止外界的杂质进入抛光机，有利于提高抛光机的洁净度。

12、本发明还提供一种调平方法，用于调平上述的抛光机中的上机架，包括如下步骤：

13、a.设定第一驱动件在上机架处于调平状态下的负载为标准负载m0；

14、b.获取每个第一驱动件的实时负载m1；

15、c.判断每个第一驱动件的实时负载m1是否等于标准负载m0；

16、d.若任一第一驱动件的实时负载m1小于m0，则利用调平单元使上机架靠近该第一驱动件的部分上升，并执行步骤c；

17、e.若任一第一驱动件的实时负载m1大于m0，则利用调平单元使上机架靠近该第一驱动件的部分下降，并执行步骤c；

18、f.若各个第一驱动件的实时负载m1均等于m0，则判定上机架处于调平状态，完成调平。

19、如此设置，通过检测第一驱动件的负载m1并将m1与标准负载m0比较，便可以判断刷头是否在上机架调平的状态下工作，从而间接地判断上机架是否处于调平状态。换言之，标准负载m0为调平上机架提供了直观的指标，第一驱动件的负载m1充当着被调节的参数。若各个第一驱动件的负载m1均等于m0，则意味着上机架处于调平状态，调平完成。否则，通过调平单元调节上机架相对于接液环的姿态，以使各个第一驱动件的负载m1均趋向于m0，直至各个第一驱动件的负载m1均等于m0。因此，该调平方法只需检测第一驱动件的负载，而无需检测上机架和接液环之间的相对位姿即可实现调平。相比于检测相对位姿，检测负载更易于实现，检测成本也更低。因此，该调平方法易于实现且检测成本低。

20、应用该调平方法将上机架调平后，各个流液管的出液口和接液环之间的高度差一致，这能使抛光液流入上盘的液量和流速均匀，利于抛光液均匀供给，从而提高产品的抛光品质。

21、此外，如果在上机架相对于接液环倾斜的状态下利用刷头长时间地清洁接液环，刷头可能对接液环造成损伤。应用该调平方法将上机架调平则可以防止刷头对接液环造成损伤。

22、在其中一个实施例中，在步骤d中：若任一第一驱动件的实时负载m1小于m0，则使该第一驱动件所对应的调平单元上升，以使上机架靠近该第一驱动件的部分上升；及/或，在步骤e中：若任一第一驱动件的实时负载m1大于m0，则使该第一驱动件所对应的调平单元下降，以使上机架靠近该第一驱动件的部分下降。

23、在其中一个实施例中，在步骤d和步骤e中，同时调节各个调平单元以使各个调平单元始终与连接盘保持接触。

24、在其中一个实施例中，在步骤b之前，还包括步骤：g.使各个调平单元与连接盘接触。

25、在其中一个实施例中，若调平单元抵接于连接盘上端，则先执行步骤d再执行步骤e；若调平单元抵接于连接盘下端，则先执行步骤e再执行步骤d。

技术特征：

1.一种抛光机，包括上盘中心轴，所述上盘中心轴用于带动上盘转动和升降，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，所述抛光机还包括固设于所述上机架（1）的第二驱动件（6），所述第二驱动件（6）包括可升降的第二输出轴，所述刷头（3）连接于所述第二输出轴；及/或，

3.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，所述调平单元（5）包括连接件（51）和滚动件（52），所述连接件（51）可升降地设置于所述上机架（1），所述滚动件（52）转动连接于所述连接件（51）且在调平过程中滚动连接于所述连接盘（21）以抵接所述连接盘（21）。

4.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，所述刷头（3）、所述第一驱动件（4）、所述检测单元、所述调平单元（5）均设有多个，且分别一一对应设置，所述刷头（3）环设于所述上盘中心轴；及/或，

5.根据权利要求1所述的抛光机，其特征在于，所述抛光机还包括密封罩，所述密封罩套设于所述上盘中心轴外，所述上机架（1）和所述接液结构（2）均位于所述密封罩内。

6.一种调平方法，用于调平权利要求1至权利要求5中任一项所述的抛光机中的上机架（1），其特征在于，包括如下步骤：

7.根据权利要求6所述的调平方法，其特征在于，在步骤d中：若任一第一驱动件（4）的实时负载m1小于m0，则使该第一驱动件（4）所对应的调平单元（5）上升，以使上机架（1）靠近该第一驱动件（4）的部分上升；及/或，

8.根据权利要求6所述的调平方法，其特征在于，在步骤d和步骤e中，同时调节各个调平单元（5）以使各个调平单元（5）始终与连接盘（21）保持接触。

9.根据权利要求6所述的调平方法，其特征在于，在步骤b之前，还包括步骤：

10.根据权利要求6所述的调平方法，其特征在于，若调平单元（5）抵接于连接盘（21）上端，则先执行步骤d再执行步骤e；若调平单元（5）抵接于连接盘（21）下端，则先执行步骤e再执行步骤d。

技术总结
本发明涉及一种抛光机及调平方法，该抛光机包括：上机架，相对上盘中心轴可活动地设置；接液结构，包括连接盘和接液环，连接盘固定连接于上盘中心轴，接液环固定连接于连接盘；刷头，至少部分位于接液环内，以与接液环内壁接触；第一驱动件，连接于上机架，用于驱动刷头转动；检测单元，用于检测第一驱动件的负载；及调平单元，可活动地设置于上机架。通过第一驱动件驱动刷头转动便能刷掉接液环内壁上的结晶，从而避免接液环内壁上形成的结晶脱落后划伤抛光中的产品。通过检测第一驱动件的负载，可以判断刷头是否在上机架调平的状态下工作，从而判断上机架是否调平并根据第一驱动件的负载通过调平单元将上机架调平。

技术研发人员：朱亮,李阳健,陈建国,张国阳,王旭东
受保护的技术使用者：浙江求是半导体设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15