加工设备的物料转移装置及加工设备的制作方法

本发明涉及加工设备，具体涉及一种加工设备的物料转移装置及加工设备。

背景技术：

1、航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。

2、半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有的倒角机对晶圆进行倒角加工的过程中，需要通过物料转移装置将晶圆在各个装置之间进行转移，然而，现有的物料转移装置的工作效率低，影响用户的使用体验。

3、相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有的物料转移装置的工作效率低的技术问题。

2、在第一方面，本申请提供了一种加工设备的物料转移装置，所述物料转移装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的第一平移驱动机构、第二平移驱动机构、第一水平滑座、第二水平滑座、固定安装在所述第一水平滑座上的第一机械手以及固定安装在所述第二水平滑座上的第二机械手，

3、所述第一平移驱动机构与所述第一水平滑座连接且能够驱动所述第一水平滑座沿第一水平方向移动，所述第二平移驱动机构与所述第二水平滑座连接且能够驱动所述第二水平滑座沿所述第一水平方向移动，所述第一水平滑座和所述第二水平滑座沿所述第一水平方向分布，

4、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述物料转移装置还包括导向机构，所述导向机构安装在所述固定构件与所述第一水平滑座和所述第二水平滑座之间，用于在所述第一水平滑座和所述第二水平滑座相对于所述固定构件移动时对所述第一水平滑座和所述第二水平滑座进行导向。

5、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述导向机构包括设于所述第一水平滑座的第一导向构件、设于所述第二水平滑座的第二导向构件以及设于所述固定构件的第三导向构件，所述第一导向构件与所述第三导向构件相配合用于对所述第一水平滑座进行导向，所述第二导向构件与所述第三导向构件相配合用于对所述第二水平滑座进行导向。

6、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第三导向构件的数量为两个且沿所述第二水平方向间隔分布，所述第一平移驱动机构和所述第二平移驱动机构位于两个所述第三导向构件之间，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述第一导向构件的数量至少为两个且分别与对应的所述第三导向构件相配合，所述第二导向构件的数量至少为两个且分别与对应的所述第三导向构件相配合。

7、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第一导向构件为第一导向块，所述第二导向构件为第二导向块，所述第三导向构件为沿所述第一水平方向延伸的水平导轨，所述第一导向块和所述第二导向块均与所述水平导轨相适配。

8、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第一机械手包括与所述第一水平滑座固定连接的第一升降驱动机构、旋转驱动机构、水平设置的第一连接臂以及用于取料的第一吸盘，

9、所述第一升降驱动机构与所述旋转驱动机构连接且能够驱动所述旋转驱动机构竖直移动，所述旋转驱动机构与所述第一连接臂的一端连接且能够驱动所述第一连接臂绕竖直轴线旋转，所述第一吸盘安装在所述第一连接臂的另一端。

10、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第一机械手还包括与所述旋转驱动机构连接的第一限位止挡构件和第二限位止挡构件，所述第一限位止挡构件能够对所述第一连接臂进行阻挡以使所述第一连接臂上的所述第一吸盘停止在放料位，所述第二限位止挡构件能够对所述第一连接臂进行阻挡以使所述第一连接臂上的所述第一吸盘停止在取料位。

11、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第二机械手包括与所述第二水平滑座固定连接的第二升降驱动机构、水平设置的第二连接臂、第二吸盘和第三吸盘，

12、所述第二升降驱动机构与所述第二连接臂的一端连接且能够驱动所述第二连接臂竖直移动，所述第二吸盘和所述第三吸盘均安装在所述第二连接臂的另一端。

13、在上述物料转移装置的优选技术方案中，第二吸盘位于所述第三吸盘的下方，所述第二吸盘的吸附面朝下设置且所述第三吸盘的吸附面朝上设置。

14、在上述物料转移装置的优选技术方案中，所述第一平移驱动机构包括第一平移电机、第一水平丝杠以及安装在所述第一水平丝杠上的第一滑块，所述第一滑块与所述第一水平滑座固定连接或一体设置，所述第一平移电机用于驱动所述第一水平丝杠转动，所述第一滑块随着所述第一水平丝杠的转动沿着所述第一水平丝杠的长度方向水平移动；并且/或者

15、所述第二平移驱动机构包括第二平移电机、第二水平丝杠以及安装在所述第二水平丝杠上的第二滑块，所述第二滑块与所述第二水平滑座固定连接或一体设置，所述第二平移电机用于驱动所述第二水平丝杠转动，所述第二滑块随着所述第二水平丝杠的转动沿着所述第二水平丝杠的长度方向水平移动。

16、在第二方面，本申请还提供了一种加工设备，所述加工设备包括上述技术方案所述的物料转移装置。

17、在采用上述技术方案的情况下，本发明的物料转移装置通过设置两个能够独立移动的机械手来进行晶圆的转移工作，能够极大的提高工作料率，通过将第一机械手和第二机械手分别安装在第一水平滑座和第二水平滑座上，稳定性更好，并通过导向机构对第一水平滑座和第二水平滑座进行导向，可靠性更好，此外，使第一水平滑座和第二水平滑座沿其移动方向分布，布局更加合理。

18、进一步地，本发明的物料转移装置通过导向机构对第一水平滑座和第二水平滑座进行导向，可靠性更好。

19、更进一步地，本发明的物料转移装置通过使第一水平滑座和第二水平滑座共用第三导向构件，使得结构更加简化，有利于优化整体布局。

20、又进一步地，本发明的物料转移装置通过设置两个第三导向构件共同对第一水平滑座和第二水平滑座进行导向，导向准确性更好，此外，通过将第一平移驱动机构和第二平移驱动机构设于两个第三导向构件之间，使得布局更加合理，占用空间更小。

21、又进一步地，本发明的第一机械手在第一平移驱动机构和第一升降驱动机构的基础上增设了旋转驱动机构，通过旋转驱动机构能够带着第一吸盘绕竖直轴线旋转，使得第一机械手更加灵活，便于布置。

22、又进一步地，本发明的第一机械手通过设置第一限位止挡构件和第二限位止挡构件对第一连接臂进行限位止挡，能够使第一连接臂上的第一吸盘准确地停止在放料位和取料位，使得物料的取放操作能够顺利地完成，有利于提高工作效率。

技术特征：

1.一种加工设备的物料转移装置，其特征在于，所述加工设备包括底座，所述物料转移装置固定安装在所述底座上，所述物料转移装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的第一平移驱动机构、第二平移驱动机构、第一水平滑座、第二水平滑座、固定安装在所述第一水平滑座上的第一机械手以及固定安装在所述第二水平滑座上的第二机械手，

2.根据权利要求1所述的物料转移装置，其特征在于，所述物料转移装置还包括导向机构，

3.根据权利要求2所述的物料转移装置，其特征在于，所述导向机构包括设于所述第一水平滑座的第一导向构件、设于所述第二水平滑座的第二导向构件以及设于所述固定构件的第三导向构件，所述第一导向构件与所述第三导向构件相配合用于对所述第一水平滑座进行导向，所述第二导向构件与所述第三导向构件相配合用于对所述第二水平滑座进行导向。

4.根据权利要求3所述的物料转移装置，其特征在于，所述第三导向构件的数量为两个且沿所述第二水平方向间隔分布，所述第一平移驱动机构和所述第二平移驱动机构位于两个所述第三导向构件之间，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述第一导向构件的数量至少为两个且分别与对应的所述第三导向构件相配合，所述第二导向构件的数量至少为两个且分别与对应的所述第三导向构件相配合。

5.根据权利要求4所述的物料转移装置，其特征在于，所述第一导向构件为第一导向块，所述第二导向构件为第二导向块，所述第三导向构件为沿所述第一水平方向延伸的水平导轨，所述第一导向块和所述第二导向块均与所述水平导轨相适配。

6.根据权利要求1所述的物料转移装置，其特征在于，所述第一机械手包括与所述第一水平滑座固定连接的第一升降驱动机构、旋转驱动机构、水平设置的第一连接臂以及用于取料的第一吸盘，

7.根据权利要求6所述的物料转移装置，其特征在于，所述第一机械手还包括与所述旋转驱动机构连接的第一限位止挡构件和第二限位止挡构件，所述第一限位止挡构件能够对所述第一连接臂进行阻挡以使所述第一连接臂上的所述第一吸盘停止在放料位，所述第二限位止挡构件能够对所述第一连接臂进行阻挡以使所述第一连接臂上的所述第一吸盘停止在取料位。

8.根据权利要求1所述的物料转移装置，其特征在于，所述第二机械手包括与所述第二水平滑座固定连接的第二升降驱动机构、水平设置的第二连接臂、第二吸盘和第三吸盘，

9.根据权利要求8所述的物料转移装置，其特征在于，第二吸盘位于所述第三吸盘的下方，所述第二吸盘的吸附面朝下设置且所述第三吸盘的吸附面朝上设置。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的物料转移装置，其特征在于，所述第一平移驱动机构包括第一平移电机、第一水平丝杠以及安装在所述第一水平丝杠上的第一滑块，所述第一滑块与所述第一水平滑座固定连接或一体设置，所述第一平移电机用于驱动所述第一水平丝杠转动，所述第一滑块随着所述第一水平丝杠的转动沿着所述第一水平丝杠的长度方向水平移动；并且/或者

11.一种加工设备，其特征在于，所述加工设备包括权利要求1至10中任一项所述的物料转移装置。

技术总结
本发明涉及加工设备技术领域，具体涉及一种加工设备的物料转移装置及加工设备。本申请旨在解决现有的物料转移装置的工作效率低的问题。为此，本申请的物料转移装置包括第一平移驱动机构、第二平移驱动机构、第一水平滑座、第二水平滑座、固定安装在第一水平滑座上的第一机械手及固定安装在第二水平滑座上的第二机械手，第一平移驱动机构能够驱动第一水平滑座移动，第二平移驱动机构能够驱动第二水平滑座移动。通过两个机械手能够极大的提高工作料率，通过安装在第一水平滑座和第二水平滑座上，稳定性更好，通过使第一水平滑座和第二水平滑座沿其移动方向分布，布局更加合理。

技术研发人员：徐公志,郭世锋,杨勇
受保护的技术使用者：青岛高测科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15