一种真空镀膜机的制作方法

本发明涉及真空镀膜，尤其是涉及一种真空镀膜机。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

2、现有的镀膜操作，大多数是将工件放置在固定盘上，没有限位机构，使得在镀膜的过程中，固定盘会发生转动，工件无法稳定地放置固定盘上，容易从固定盘上掉落；

3、现有专利(公告号：cn211445891u)一种真空镀膜机，包括箱体、真空抽气泵、电机、转轴、轴承、固定盘、脚架，轴承的侧壁上固定连接有若干连接块，连接块与固定盘相互平行，连接块朝向固定盘的一侧固定连接有伸缩杆，伸缩杆远离连接块的一端固定连接有固定座，固定座朝向固定盘的一侧固定连接限位装置，限位装置上开设有用于容纳工件的空间，该装置在使用时，通过伸缩杆以及限位装置的配合工作，可将工件限制在固定盘上，从而避免固定盘在转动的过程中，工件从固定盘上掉落。

4、针对上述问题，现有专利给出了解决方案，但其在对工件进行镀膜过程中，可能会出现工件在旋转过程中，发生旋转而移动的情况，导致工件不能均匀地被镀膜，使得镀膜效果不佳，另外不能同时进行多个工件的镀膜操作，使得镀膜效率变低。

技术实现思路

1、本发明的目的在于，提供一种真空镀膜机，能够解决在对工件进行镀膜过程中，可能会出现工件在旋转过程中，发生旋转而移动的情况，导致工件不能均匀地被镀膜，使得镀膜效果不佳，同时不能同时进行多个工件进行镀膜操作，使得镀膜效率变低的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种真空镀膜机，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体的顶部中间处设置有真空抽气泵，所述镀膜机本体内壁一侧的中间处固定连接有支撑筒，所述镀膜机本体的内部两侧分别设置有第一圆盘和第二圆盘，所述第一圆盘和第二圆盘外表面的一侧呈圆周排列设置有多个限位组件，所述限位组件的内部设置有锁紧机构；

3、所述锁紧机构包括设置于限位组件内部的副齿轮，所述第二圆盘外表面的另一侧固定连接有多个限位套，所述限位套的内部转动连接有圆柱块，所述圆柱块的一端面固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆贯穿第二圆盘的内部并固定连接有主齿轮，所述主齿轮的表面啮合连接有副齿轮，所述副齿轮的内部设置有多个锁紧板。

4、优选的，所述螺纹杆外圆面的一端螺纹连接有锁紧套，所述副齿轮外表面的一侧通过固定栓固定连接有弧形板，所述副齿轮通过弧形板固定连接有锁紧板。

5、优选的，所述镀膜机本体内壁两侧均固定连接有限位环，所述第一圆盘和第二圆盘的结构和功能均相同但其位置处于相对处，所述第一圆盘和第二圆盘外表面的另一侧均固定连接有卡环，所述卡环卡于限位环的内部。

6、优选的，所述第二圆盘外表面的另一侧中间处固定连接有支撑杆，所述支撑杆转动连接于支撑筒中，所述镀膜机本体外表面的一侧固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有驱动杆，所述驱动杆贯穿镀膜机本体的内部并固定连接有第一圆盘。

7、优选的，所述限位组件包括固定连接于第二圆盘外表面一侧的第一限位板，所述第一限位板通过多个第一u型架固定连接有第二限位板，所述第一限位板和第二限位板的相对面均开设有限位槽，所述限位槽的内部转动连接有滚珠，所述滚珠转动连接于副齿轮的滑槽中。

8、优选的，所述第二圆盘外表面一侧的边缘处设置有传动机构，所述传动机构包括固定连接于第二圆盘外表面一侧的放置架，所述放置架通过多个第二u型架固定连接有挡板。

9、优选的，所述放置架和挡板的中间处设置有槽口，所述放置架的内部转动连接有齿盘，所述齿盘的底端卡于放置架的内部，所述齿盘内壁的上端固定连接有多个卡齿。

10、优选的，所述齿盘内壁的中间处固定连接有隔板，所述隔板活动连接于槽口中，所述齿盘的内壁与主齿轮啮合。

11、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

12、1.本申请通过设置有第一圆盘、第二圆盘、限位组件、锁紧机构，在对工件镀膜时，首先将多个工件插入第一圆盘和第二圆盘内侧的限位组件中，使得可同时对多个工件进行镀膜操作，提高镀膜效率，同时将工件均放置在不同位置处的副齿轮中，此时可转动螺纹杆，使得主齿轮带动啮合连接的副齿轮转动，从而利用弧形板，使得锁紧板对副齿轮内部的工件进行锁紧操作，保证其在镀膜过程中，不会出现位置偏移的情况，从而提高镀膜效果。

13、2.本申请通过设置有传动机构，在对多个工件进行锁紧的过程中，需要多次转动不同位置处的螺纹杆，才能进行锁紧操作，此操作过程繁琐且效率低下，此时可通过转动齿盘，使得内壁处的卡齿带动主齿轮转动，从而使得啮合连接的副齿轮同步转动，再利用锁紧套对主齿轮的位置进行固定，从而保证了工件在旋转过程中的稳定性，并使得对工件锁紧操作变得简单，使得工作效率变高。

技术特征：

1.一种真空镀膜机，包括镀膜机本体(1)，其特征在于：所述镀膜机本体(1)的顶部中间处设置有真空抽气泵(2)，所述镀膜机本体(1)内壁一侧的中间处固定连接有支撑筒(11)，所述镀膜机本体(1)的内部两侧分别设置有第一圆盘(5)和第二圆盘(7)，所述第一圆盘(5)和第二圆盘(7)外表面的一侧呈圆周排列设置有多个限位组件(8)，所述限位组件(8)的内部设置有锁紧机构(9)；

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述螺纹杆(96)外圆面的一端螺纹连接有锁紧套(98)，所述副齿轮(91)外表面的一侧通过固定栓固定连接有弧形板(93)，所述副齿轮(91)通过弧形板(93)固定连接有锁紧板(94)。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜机本体(1)内壁两侧均固定连接有限位环(6)，所述第一圆盘(5)和第二圆盘(7)的结构和功能均相同但其位置处于相对处，所述第一圆盘(5)和第二圆盘(7)外表面的另一侧均固定连接有卡环(71)，所述卡环(71)卡于限位环(6)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述第二圆盘(7)外表面的另一侧中间处固定连接有支撑杆，所述支撑杆转动连接于支撑筒(11)中，所述镀膜机本体(1)外表面的一侧固定安装有伺服电机(3)，所述伺服电机(3)的输出端固定连接有驱动杆(4)，所述驱动杆(4)贯穿镀膜机本体(1)的内部并固定连接有第一圆盘(5)。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述限位组件(8)包括固定连接于第二圆盘(7)外表面一侧的第一限位板(81)，所述第一限位板(81)通过多个第一u型架(83)固定连接有第二限位板(84)，所述第一限位板(81)和第二限位板(84)的相对面均开设有限位槽，所述限位槽的内部转动连接有滚珠(82)，所述滚珠(82)转动连接于副齿轮(91)的滑槽(92)中。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述第二圆盘(7)外表面一侧的边缘处设置有传动机构(10)，所述传动机构(10)包括固定连接于第二圆盘(7)外表面一侧的放置架(101)，所述放置架(101)通过多个第二u型架(103)固定连接有挡板(102)。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述放置架(101)和挡板(102)的中间处设置有槽口(104)，所述放置架(101)的内部转动连接有齿盘(105)，所述齿盘(105)的底端卡于放置架(101)的内部，所述齿盘(105)内壁的上端固定连接有多个卡齿。

8.根据权利要求7所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述齿盘(105)内壁的中间处固定连接有隔板(106)，所述隔板(106)活动连接于槽口(104)中，所述齿盘(105)的内壁与主齿轮(97)啮合。

技术总结
本发明公开了一种真空镀膜机，属于真空镀膜技术领域，包括镀膜机本体、真空抽气泵，镀膜机本体的内部两侧分别设置有第一圆盘和第二圆盘，第一圆盘和第二圆盘外表面的一侧呈圆周排列设置有多个限位组件，限位组件的内部设置有锁紧机构，锁紧机构包括设置于限位组件内部的副齿轮。本发明在对工件镀膜时，首先将多个工件插入第一圆盘和第二圆盘内侧的限位组件中，使得工件放置在不同位置处的副齿轮中，此时可通过转动螺纹杆，使得主齿轮带动啮合连接的副齿轮转动，从而利用弧形板，使得锁紧板对副齿轮内部的工件进行锁紧操作，保证其在镀膜过程中，不会出现位置偏移的情况，从而提高镀膜效果。

技术研发人员：魏浩
受保护的技术使用者：理玛镀膜科技（无锡）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/29