陶瓷基板表面平整设备的制作方法

本发明涉及陶瓷基板生产，具体为陶瓷基板表面平整设备。

背景技术：

1、陶瓷基板是一种用于集成电路封装的基础材料，也称为陶瓷电路板或者陶瓷板，其主要由陶瓷材料制成，具有良好的绝缘性能和优异的导热性能，常用于高功率电子设备和高频应用中。

2、在陶瓷基板的生产加工中，需要在流动的陶瓷材质硬化后，对其硬化表面进行进一步的加工处理，使得其表面较为平坦，通常采用机械研磨技术等其余的打磨技术实现对表面的初步平坦化处理。在平坦化处理之前，需要对陶瓷基板的表面进行检验，判断其不平的位置，随后对该位置进行精细打磨。

3、例如在申请号为：202010424529.1的专利文件中，公开了一种陶瓷基板平整度检测仪，并具体公开了通过距离传感器位于检测平台上的陶瓷基板进行举例检测，实现对陶瓷基板平整度或者翘曲度的自动检测，同时还利用机械手实现陶瓷基板的自动上料，将检测得到的不平整位置进行定位，并且在检测后，通过调整打磨的位置，使得移动到不平整位置上进行打磨，此过程中，打磨位置的调整依据是记录下来的不平整位置，在此过程中，需要对打磨位置进行精准定位，当陶瓷基板的位置偏移时，会导致其打磨位置出现偏差，影响对陶瓷基板打磨的精度；且二次定位本身就会由于移动的距离偏差，导致其存在有精度误差。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供了陶瓷基板表面平整设备。

2、本发明所解决的技术问题为：解决现有技术中，检测和磨平分离，需要进行二次定位时，由于二次定位极容易产生定位不精准，导致误差产生的，影响陶瓷基板平整度的问题。

3、本发明可以通过以下技术方案实现：陶瓷基板表面平整设备，包括平整度检测组件和平整组件，平整组件安装在平整电机的输出端，平整度检测组件位于平整组件的内部，且平整度检测组件在平整组件内部可纵向移动。

4、本发明的进一步技术改进在于：平整组件包括固定基座，固定基座安装在平整电机的输出端，且固定基座远离平整电机的一侧固定有磨平弧板，磨平弧板上开设有用于安装平整度检测组件的内部槽，磨平弧板远离固定基座的一侧设置有磨平面。

5、本发明的进一步技术改进在于：内部槽内部固定有收纳伸缩杆，收纳伸缩杆的输出端通过连接组件安装有用于对陶瓷基板平整度进行检测的检测平板。

6、本发明的进一步技术改进在于：连接组件包括收纳固定板，收纳固定板安装在收纳伸缩杆的输出端，收纳固定板上滑动设置有限位杆，检测平板安装在限位杆的端部，且限位杆远离检测平板的一端固定有限位板。

7、本发明的进一步技术改进在于：限位板和收纳固定板之间固定有距离弹簧，且距离弹簧分别固定安装在限位板、收纳固定板之间。

8、本发明的进一步技术改进在于：限位板上固定有第一距离传感器，收纳固定板上安装有固定支撑杆，固定支撑杆上固定有第二距离传感器，且第一距离传感器和第二距离传感器配合感应。

9、本发明的进一步技术改进在于：检测平板的端部设置有用于接触陶瓷基板的检测凸起，检测凸起在陶瓷基板上滑动。

10、本发明的进一步技术改进在于：平整电机安装在顶部支撑板上，顶部支撑板上固定有限位横板和调整气缸，限位横板上滑动设置有限位滑动座，且限位滑动座安装在调整气缸的输出端，限位滑动座上通过纵向油缸安装在丝杆组件的输出端。

11、与现有技术相比，本发明具备以下有益效果：

12、1、本申请在使用时，通过将平整度检测组件和平整组件集合在一起，即通过将平整度检测组件安装在平整组件的内部，即可以通过利用平整度检测组件实时对陶瓷基板的表面平整度进行检测，并将该检测结果反馈到平整组件位置上，利用平整度检测组件移动到平整组件的内部进行收纳后，利用平整组件的启动，即利用平整电机的启动带动平整组件的转动，从而对陶瓷基板进行磨平，此过程中，既能实现对陶瓷基板的磨平操作，又能够在检测的同时进行磨平，不需要进行二次定位，减小移动的误差，从而保证陶瓷基板的加工。

13、2、本申请通过采用磨平弧板对陶瓷基板进行磨平，即在使用时，利用平整电机带动磨平弧板进行磨平操作，本申请中磨平弧板呈弧形，在转动时，能够形成规则的圆面，保证对需要进行打磨的陶瓷基板的打磨面积进行控制。

14、3、本申请中采用内部槽的存在，利用内部槽实现对检测平板进行放置，本申请在使用时利用收纳伸缩杆的启动，控制检测平板接触在陶瓷基板上，随后利用收纳伸缩杆的继续启动，控制限位板持续向上移动，直至第一距离传感器和第二距离传感器到达了感应位置，此时距离弹簧受到拉伸力，即检测平板以一定的压力按压在陶瓷基板上，保证陶瓷基板在检测时的稳定性，减少震动的产生，保证检测的精度。

15、4、本申请利用调整气缸的启动，控制限位滑动座在限位横板上进行滑动，从而控制顶部安装座相对于z型基座的位置，从而能够调整平整组件，使得平整组件能够对打磨遗漏区进行充分的打磨，避免出现遗漏区的问题。

技术特征：

1.陶瓷基板表面平整设备，包括平整度检测组件(6)和平整组件(1)，所述平整组件(1)安装在平整电机(5)的输出端，其特征在于：所述平整度检测组件(6)位于平整组件(1)的内部，且所述平整度检测组件(6)在平整组件(1)内部可纵向移动。

2.根据权利要求1所述的陶瓷基板表面平整设备，其特征在于，所述平整组件(1)包括固定基座(11)，所述固定基座(11)安装在平整电机(5)的输出端，且所述固定基座(11)远离平整电机(5)的一侧固定有磨平弧板(12)，所述磨平弧板(12)上开设有用于安装平整度检测组件(6)的内部槽(13)，所述磨平弧板(12)远离固定基座(11)的一侧设置有磨平面。

3.根据权利要求2所述的陶瓷基板表面平整设备，其特征在于，所述内部槽(13)内部固定有收纳伸缩杆(61)，所述收纳伸缩杆(61)的输出端通过连接组件安装有用于对陶瓷基板平整度进行检测的检测平板(64)。

4.根据权利要求3所述的陶瓷基板表面平整设备，其特征在于，所述连接组件包括收纳固定板(63)，所述收纳固定板(63)安装在收纳伸缩杆(61)的输出端，所述收纳固定板(63)上滑动设置有限位杆(65)，所述检测平板(64)安装在限位杆(65)的端部，且所述限位杆(65)远离检测平板(64)的一端固定有限位板(62)。

5.根据权利要求4所述的陶瓷基板表面平整设备，其特征在于，所述限位板(62)和收纳固定板(63)之间固定有距离弹簧(66)，且所述距离弹簧(66)分别固定安装在限位板(62)、收纳固定板(63)之间。

6.根据权利要求4所述的陶瓷基板表面平整设备，其特征在于，所述限位板(62)上固定有第一距离传感器(67)，所述收纳固定板(63)上安装有固定支撑杆(68)，所述固定支撑杆(68)上固定有第二距离传感器(69)，且所述第一距离传感器(67)和第二距离传感器(69)配合感应。

7.根据权利要求3所述的陶瓷基板表面平整设备，其特征在于，所述检测平板(64)的端部设置有用于接触陶瓷基板的检测凸起(610)，所述检测凸起(610)在陶瓷基板上滑动。

8.根据权利要求1所述的陶瓷基板表面平整设备，其特征在于，所述平整电机(5)安装在顶部支撑板(4)上，所述顶部支撑板(4)上固定有限位横板(31)和调整气缸(35)，所述限位横板(31)上滑动设置有限位滑动座(33)，且所述限位滑动座(33)安装在调整气缸(35)的输出端，所述限位滑动座(33)上通过纵向油缸安装在丝杆组件的输出端。

技术总结
本发明涉及陶瓷基板表面平整设备，涉及陶瓷基板生产技术领域，包括平整度检测组件和平整组件，平整组件安装在平整电机的输出端，平整度检测组件位于平整组件的内部，且平整度检测组件在平整组件内部可纵向移动。本申请在使用时，通过将平整度检测组件和平整组件集合在一起，即可以通过利用平整度检测组件实时对陶瓷基板的表面平整度进行检测，并将该检测结果反馈到平整组件位置上，利用平整度检测组件移动到平整组件的内部进行收纳后，利用平整组件的启动，对陶瓷基板进行磨平，此过程中，既能实现对陶瓷基板的磨平操作，又能够在检测的同时进行磨平，不需要进行二次定位，减小移动的误差，从而保证陶瓷基板的加工精度。

技术研发人员：曹树龙,黄炳峰,张霞
受保护的技术使用者：合肥陶陶新材料科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15