一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机的制作方法

本技术涉及真空镀膜机领域，具体而言，涉及一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机。

背景技术：

1、多弧离子真空镀膜机是当今世界上用于表面涂装pvd膜层的先进专用设备，运用plc及触摸屏实现自动化逻辑程序控制操作，设备结构合理、外观优雅、性能稳定、操作达到人机对话，简便，镀出的膜层牢固且细密，是工业化生产的理想设备，为此提出一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机。

2、经检索中国专利申请号202021874404.0的专利，公开了一种耐高温多弧离子真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域。该耐高温多弧离子真空镀膜机，包括底座，底座底部固定连接有减震支撑腿，减震支撑腿内部套接有限位套筒，限位套筒内壁的底部固定连接有减震弹簧，减震弹簧顶部固定连接有固定托盘，底座上表面套接有减震杆且减震杆底部与固定托盘固定连接，底座内部设置有减震块，减震块内部设置有第一减震磁铁，第一减震磁铁底部固定连接有第二减震磁铁，底座上表面固定连接有真空镀膜室。该耐高温多弧离子真空镀膜机，通过减震弹簧、第一减震磁铁和第二减震磁铁的配合使用，解决了现有真空镀膜机大部分减震效果都不是很好，或多或少影响了质量和效率的问题，但在上述技术中，仅通过减震弹簧、第一减震磁铁和第二减震磁铁的配合使用来达到减震效果，耐高温多弧离子真空镀膜机在工作过程中会产生一定的热量，产生的热量会导致两个减震磁铁失去部分的磁性，进而降低了减震效果，因此提出一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于：针对目前存在具有耐高温多弧离子真空镀膜机的问题。

2、为了实现上述发明目的，本实用新型提供了以下技术方案：

3、一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机，包括真空镀膜箱体，所述真空镀膜箱体的下表面设有减震机构；

4、所述减震机构包括固定安装于真空镀膜箱体下表面的支撑板，所述支撑板的下方设有底板，所述支撑板下表面的四周均固定安装有第一连接件，所述第一连接件转动连接有第一支撑杆，所述第一支撑杆的一端转动连接有第二连接件，所述底板上表面的四周均开设有滑槽，所述第二连接件滑动连接于滑槽的内部，所述第二连接件的一侧固定安装有第一减震弹簧，所述第一减震弹簧的另一端固定安装于滑槽的内侧壁，所述支撑板与底板的中部共同固定安装有同一第二减震弹簧，所述第二减震弹簧的中部固定安装有连接盘，所述第一支撑杆表面的一侧固定安装有第三连接件，所述第三连接件转动连接有第二支撑杆，所述第二支撑杆的一端转动连接有第四连接件，所述第四连接件固定安装于连接盘的一侧表面。

5、作为本申请优选的技术方案，所述底板上表面的四角处均固定安装有套筒，所述套筒的内底壁固定安装有阻尼减震弹簧，所述阻尼减震弹簧的上表面固定安装有固定柱，所述固定柱的上表面固定安装于支撑板的下表面。

6、作为本申请优选的技术方案，所述真空镀膜箱体通过铰链转动连接有安装门，所述安装门表面固定安装有把手。

7、作为本申请优选的技术方案，所述安装门的表面开设有通孔，所述通孔的内部固定安装有观察口。

8、作为本申请优选的技术方案，所述真空镀膜箱体的上表面通过支架固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定安装有驱动柱。

9、作为本申请优选的技术方案，所述驱动柱的一端固定安装有工架，所述工架转动连接于真空镀膜箱体的内底壁。

10、作为本申请优选的技术方案，所述工架的表面固定安装有支撑盘，所述支撑盘的一侧表面开设有若干个螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹柱，所述螺纹柱的一侧固定安装有安装块。

11、作为本申请优选的技术方案，所述工架表面的顶部与底部均固定安装有扇叶，所述扇叶的数量为若干个。

12、作为本申请优选的技术方案，所述真空镀膜箱体的内侧壁固定安装有加热器，所述加热器的数量为若干个。

13、作为本申请优选的技术方案，所述真空镀膜箱体通过导线电连接有控制箱体，所述控制箱体的表面设有控制面板、显示屏与控制按钮。

14、与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

15、在本申请的方案中：

16、1.通过设置的减震机构，当真空镀膜箱体在工作的过程中产生震动，可以极大地减轻了真空镀膜箱体在工作的过程中产生震动感，从而提高了装置在工作中的稳定性，具有良好的减震效果，进而提高了工件镀膜的品质，解决了现有耐高温多弧离子真空镀膜机减震效果不佳的稳定的问题；

17、2.通过设置的伺服电机、工架、扇叶与加热器，通过加热器对工架上放置的工件进行镀膜，伺服电机带动工架表面的扇叶进行转动，使得加热器发出的热量通过扇叶进行煽动，从而使得真空镀膜箱体内部的稳定更加均匀，从而使得镀膜的效率更块，工件产品质量更加，解决了现有技术中具有耐高温多弧离子内部温度不均匀大的问题。

技术特征：

1.一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机，包括真空镀膜箱体(1)，其特征在于，所述真空镀膜箱体(1)的下表面设有减震机构(2)；

2.根据权利要求1所述的一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机，其特征在于，所述底板(202)上表面的四角处均固定安装有套筒，所述套筒的内底壁固定安装有阻尼减震弹簧(212)，所述阻尼减震弹簧(212)的上表面固定安装有固定柱，所述固定柱的上表面固定安装于支撑板(201)的下表面。

3.根据权利要求1所述的一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜箱体(1)通过铰链转动连接有安装门(3)，所述安装门(3)表面固定安装有把手。

4.根据权利要求3所述的一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机，其特征在于，所述安装门(3)的表面开设有通孔，所述通孔的内部固定安装有观察口(4)。

5.根据权利要求1所述的一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜箱体(1)的上表面通过支架固定安装有伺服电机(5)，所述伺服电机(5)的输出端固定安装有驱动柱。

6.根据权利要求5所述的一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机，其特征在于，所述驱动柱的一端固定安装有工架(6)，所述工架(6)转动连接于真空镀膜箱体(1)的内底壁。

7.根据权利要求6所述的一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机，其特征在于，所述工架(6)的表面固定安装有支撑盘(7)，所述支撑盘(7)的一侧表面开设有若干个螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺纹柱(8)，所述螺纹柱(8)的一侧固定安装有安装块(9)。

8.根据权利要求7所述的一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机，其特征在于，所述工架(6)表面的顶部与底部均固定安装有扇叶(10)，所述扇叶(10)的数量为若干个。

9.根据权利要求1所述的一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜箱体(1)的内侧壁固定安装有加热器(11)，所述加热器(11)的数量为若干个。

10.根据权利要求1所述的一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机，其特征在于，所述真空镀膜箱体(1)通过导线电连接有控制箱体(12)，所述控制箱体(12)的表面设有控制面板(13)、显示屏(14)与控制按钮(15)。

技术总结
本申请涉及真空镀膜机技术领域，且提供了一种具有耐高温多弧离子真空镀膜机，包括真空镀膜箱体，真空镀膜箱体的下表面设有减震机构，减震机构包括固定安装于真空镀膜箱体下表面的支撑板，支撑板的下方设有底板，支撑板下表面的四周均固定安装有第一连接件，第一连接件转动连接有第一支撑杆，第一支撑杆的一端转动连接有第二连接件，通过设置的减震机构，当真空镀膜箱体在工作的过程中产生震动，可以极大地减轻了真空镀膜箱体在工作的过程中产生震动感，从而提高了装置在工作中的稳定性，具有良好的减震效果，进而提高了工件镀膜的品质，解决了现有耐高温多弧离子真空镀膜机减震效果不佳的稳定的问题。

技术研发人员：张春峰
受保护的技术使用者：深圳市杰能达实业有限公司
技术研发日：20230105
技术公布日：2024/1/11