一种真空镀膜机的制作方法

文档序号:34126169发布日期:2023-05-11 10:23阅读:97来源:国知局
一种真空镀膜机的制作方法

本技术涉及镀膜机,尤其涉及一种真空镀膜机。


背景技术:

1、经检索公开(公告)号:cn209493625u公开了一种真空镀膜机,包括镀膜室、第一磁控溅射机、第二磁控溅射机、第三磁控溅射机、第一驱动单元、第二驱动单元、第一u型固定件、第二u型固定件和基材安装组件,各磁控溅射机均设于镀膜室顶部中间位置,三者延长线交汇于同一点;第一驱动单元和第二驱动单元相对设置,二者的输出轴分别贯穿镀膜室上位于同一方向上的两个侧壁后与基材安装组件的端部相连;基材安装组件包括上板和下板,上板和下板的四个角处均通过弹性件相连;上板和下板上分别设有若干个对称设置通孔。

2、该发明在夹持工件时,是通过上板和下板相互配合,在弹簧的弹力作用下,来实现工件的夹持,而弹簧的弹力是随着,其拉长的长度越长,夹紧力越大,当在夹持的工件厚度和弹簧原始长度相近时,就无法保证工件被夹持时的稳定性,在旋转的过程中也会出现脱落的风险。

3、为此,我们提出一种真空镀膜机。


技术实现思路

1、本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题,提供一种真空镀膜机。

2、为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案,一种真空镀膜机,包括镀膜箱体、镀膜箱门和真空机,镀膜箱门设置在镀膜箱体的前侧壁面,真空机设置在镀膜箱体的左侧壁面,镀膜箱体的上侧壁面固定安装有第一电机,第一电机的输出端活动贯穿镀膜箱体的上侧壁面,第一电机的输出端固定安装有安装板,安装板呈水平状态设置,安装板的下侧壁面固定安装有磁控溅射机,磁控溅射机设置有多个,多个磁控溅射机上均设置有靶材,多个靶材的均由不同材质制成,镀膜箱体的内部活动安装有两组安装块,两组安装块均呈凹形,两组安装块上设置有转动机构,两组安装块呈左右水平状态设置,两组安装块的内部设置有两组定位板,两组定位板的壁面上均开设有通孔,两组定位板之间设置有导向机构,上侧所述定位板上设置有升降机构。

3、作为优选,所述升降机构包括导向块,导向块固定安装在上侧定位板的右侧壁面,导向块对应右侧安装块凹槽的壁面开设有导向槽,导向槽和导向块相适配,导向块的外壁活动卡入导向槽的内部,导向槽的底部壁面转动安装有螺纹杆,螺纹杆呈竖直状态设置,螺纹杆的外壁开设有螺纹槽,螺纹杆和导向块螺纹连接在一起,螺纹杆的外壁活动贯穿导向槽的上侧壁面,螺纹杆的上侧端面固定安装有旋钮。

4、作为优选,上侧所述定位板的左侧壁面固定安装有限位块,限位块的对应左侧定位板凹槽的壁面开设有限位槽,限位块和限位槽相适配。

5、作为优选,所述限位块的外壁活动卡入限位槽的内部,限位槽的内部固定安装有限位杆,限位杆呈竖直状态设置,限位杆的外壁活动贯穿限位块的上下端面。

6、作为优选,所述导向机构包括两组导向柱,两组导向柱均转动安在下侧定位板的上侧壁面,两组导向柱分别位于对应安装块的凹槽内。

7、作为优选,两组所述导向柱的外壁均活动贯穿上侧定位板的上下壁面,两组导向柱的上侧端面分别转动安装在对应安装块凹槽的上侧壁面。

8、作为优选,所述转动机构包括第二电机固定安装在镀膜箱体的右侧壁面,第二电机的输出端固定安装在右侧安装块的右侧壁面,左侧安装块转动安装在镀膜箱体腔内的左侧壁面上。

9、有益效果

10、本实用新型提供了一种真空镀膜机。具备以下有益效果:

11、(1)、该一种真空镀膜机,本发明在使用过程中,先打开镀膜箱门,将待镀膜工件放置在两组定位板之间的位置,通过导向机构便于工件摆放整齐,接着通过升降机构,使上侧定位板朝下运动,这样两组定位板就可以将工件夹紧,将镀膜箱体和镀膜箱门闭合在一起,开启真空机可以将镀膜箱体内抽成真空,通过开启第一电机,在第一电机输出端的作用下,可以转动安装板,来挑选适合磁控溅射机,最后通过转动机构使两组安装块转动,这样就可以对产品的正反面进行镀膜操作,在升降机构的作用下,可以调节两组定位板之间的距离,实现对不同厚度产品的夹持,同时增加工件在加工过程中的稳定性。

12、(2)、该一种真空镀膜机,本发明通过转动旋钮,根据旋钮转动方向的不同,可以使螺纹杆转动方向不同,从而使导向块上下运动,这样实现了上侧定位板的上下运动,同时在上侧定位板上下运动过程中,限位块会在限位槽的内部,沿着限位杆的外壁上下运动,这样可以增加定位板运动时的稳定性。



技术特征:

1.一种真空镀膜机,包括镀膜箱体(1)、镀膜箱门(2)和真空机(3),镀膜箱门(2)设置在镀膜箱体(1)的前侧壁面,真空机(3)设置在镀膜箱体(1)的左侧壁面,镀膜箱体(1)的上侧壁面固定安装有第一电机(4),第一电机(4)的输出端活动贯穿镀膜箱体(1)的上侧壁面,第一电机(4)的输出端固定安装有安装板(5),安装板(5)呈水平状态设置,安装板(5)的下侧壁面固定安装有磁控溅射机(6),磁控溅射机(6)设置有多个,多个磁控溅射机(6)上均设置有靶材,多个靶材的均由不同材质制成,镀膜箱体(1)的内部活动安装有两组安装块(7),两组安装块(7)均呈凹形,两组安装块(7)上设置有转动机构,两组安装块(7)呈左右水平状态设置,两组安装块(7)的内部设置有两组定位板(8),两组定位板(8)的壁面上均开设有通孔,两组定位板(8)之间设置有导向机构,其特征在于:上侧所述定位板(8)上设置有升降机构。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述升降机构包括导向块(12),导向块(12)固定安装在上侧定位板(8)的右侧壁面,导向块(12)对应右侧安装块(7)凹槽的壁面开设有导向槽(14),导向槽(14)和导向块(12)相适配,导向块(12)的外壁活动卡入导向槽(14)的内部,导向槽(14)的底部壁面转动安装有螺纹杆(13),螺纹杆(13)呈竖直状态设置,螺纹杆(13)的外壁开设有螺纹槽,螺纹杆(13)和导向块(12)螺纹连接在一起,螺纹杆(13)的外壁活动贯穿导向槽(14)的上侧壁面,螺纹杆(13)的上侧端面固定安装有旋钮(11)。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:上侧所述定位板(8)的左侧壁面固定安装有限位块(15),限位块(15)的对应左侧定位板(8)凹槽的壁面开设有限位槽(16),限位块(15)和限位槽(16)相适配。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜机,其特征在于:所述限位块(15)的外壁活动卡入限位槽(16)的内部,限位槽(16)的内部固定安装有限位杆(17),限位杆(17)呈竖直状态设置,限位杆(17)的外壁活动贯穿限位块(15)的上下端面。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述导向机构包括两组导向柱(9),两组导向柱(9)均转动安在下侧定位板(8)的上侧壁面,两组导向柱(9)分别位于对应安装块(7)的凹槽内。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜机,其特征在于:两组所述导向柱(9)的外壁均活动贯穿上侧定位板(8)的上下壁面,两组导向柱(9)的上侧端面分别转动安装在对应安装块(7)凹槽的上侧壁面。

7.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述转动机构包括第二电机(10)固定安装在镀膜箱体(1)的右侧壁面,第二电机(10)的输出端固定安装在右侧安装块(7)的右侧壁面,左侧安装块(7)转动安装在镀膜箱体(1)腔内的左侧壁面上。


技术总结
本技术涉及镀膜机技术领域,且公开了一种真空镀膜机,包括镀膜箱体、镀膜箱门和真空机,镀膜箱门设置在镀膜箱体的前侧壁面,真空机设置在镀膜箱体的左侧壁面,镀膜箱体的上侧壁面固定安装有第一电机,第一电机的输出端活动贯穿镀膜箱体的上侧壁面,第一电机的输出端固定安装有安装板。本发明在使用过程中,先打开镀膜箱门,将待镀膜工件放置在两组定位板之间的位置,通过导向机构便于工件摆放整齐,接着通过升降机构,使上侧定位板朝下运动,这样两组定位板就可以将工件夹紧,将镀膜箱体和镀膜箱门闭合在一起,开启真空机可以将镀膜箱体内抽成真空,通过开启第一电机,在第一电机输出端的作用下,可以转动安装板。

技术研发人员:沈强
受保护的技术使用者:世桦正茂(镇江)机械有限公司
技术研发日:20230208
技术公布日:2024/1/12
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