一种SIC生产加工的研磨结构的制作方法

本技术涉及碳化硅加工领域，更具体地说，涉及一种sic生产加工的研磨结构。

背景技术：

1、碳化硅，是刚玉宝石中除红色的红宝石之外，其它颜色刚玉宝石的通称，主要成分是氧化铝(al2o3)，碳化硅具有高声速、高硬度、高强度、耐高温、抗腐蚀性、光学穿透带宽、绝缘性好等优良性能，因而被大量用在光学元件、红外装置及光罩材料上；

2、其中碳化硅晶棒在成型之后首先要使用对研磨装置对晶棒表面进行抛光研磨，经专利检索发现，公开号为cn207578155u的中国专利公开了一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，该装置通过弹簧可以逐渐增加研磨模具对晶棒的研磨厚度，通过控制研磨模具的内径可以精确的控制晶棒的研磨精度，晶棒的研磨精度和研磨效率大大提高；

3、但其在研磨过程中，晶棒会产生处大量的粉料，其中大半部粉料会直接下落，剩余的粉料会粘附在研磨模具研磨层的内壁上，对研磨层的缝隙进行填充，降低研磨层的摩擦力，导致装置的研磨效果下降，为此我们提出一种sic生产加工的研磨结构。

技术实现思路

1、1.要解决的技术问题

2、针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种sic生产加工的研磨结构，它可以实现，利用振动力对粘附在研磨层上的粉料进行清理，减少研磨棒材时粘附在研磨层上的粉料，保证装置的研磨效果。

3、2.技术方案

4、为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

5、一种sic生产加工的研磨结构，包括两个研磨模具，两个所述研磨模具相对的一侧均装配有研磨内壳，两个所述研磨内壳拼合出一研磨腔；

6、所述研磨模具的两侧均固定连接有侧板，所述侧板上设置有震动部和为震动部提供动能的驱动部。

7、进一步的，所述震动部包括有多个转动连接在侧板上的转动杆，所述转动杆沿研磨内壳的长边方向设置，所述转动杆的周侧固定连接有多个自适应调节杆。

8、进一步的，所述自适应调节杆包括有固定连接在转动杆外侧的定向杆，所述定向杆的外侧设置有沿其长边滑动的套筒，所述定向杆远离转动杆的一端固定连接有第一磁石，所述套筒内部远离转动杆的一端固定连接有与第一磁石磁力相斥的第二磁石。

9、进一步的，所述套筒远离研磨模具的一端转动连接有敲击圆轮，所述敲击圆轮的外侧固定连接有多个呈环形阵列的震动凸块。

10、进一步的，所述驱动部包括有转动连接在侧板上的动力轮，所述研磨内壳上开设有间隙槽，所述动力轮的边缘位置通过间隙槽延伸至研磨腔的内部，多个所述转动杆和动力轮之间通过齿轮组和转轮组连接。

11、进一步的，所述齿轮组包括有相互啮合的大齿轮和小齿轮，所述大齿轮固定连接在动力轮上，所述小齿轮转动连接在侧板上，所述小齿轮和转动杆之间通过转轮组连接。

12、3.有益效果

13、相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

14、(1)本方案通过sic棒材在转动研磨时产生的动能带动转动杆转动，对研磨内壳进行敲击，使研磨内壳产生震动，利用振动力对粘附在研磨层上的粉料进行清理，避免研磨棒材时产生的粉料粘附在研磨层上，降低研磨层的摩擦力，影响研磨层的研磨效果。

技术特征：

1.一种sic生产加工的研磨结构，包括两个研磨模具(1)，其特征在于：两个所述研磨模具(1)相对的一侧均装配有研磨内壳(2)，两个所述研磨内壳(2)拼合出一研磨腔；

2.根据权利要求1所述的一种sic生产加工的研磨结构，其特征在于：所述震动部包括有多个转动连接在侧板(3)上的转动杆(10)，所述转动杆(10)沿研磨内壳(2)的长边方向设置，所述转动杆(10)的周侧固定连接有多个自适应调节杆。

3.根据权利要求2所述的一种sic生产加工的研磨结构，其特征在于：所述自适应调节杆包括有固定连接在转动杆(10)外侧的定向杆(11)，所述定向杆(11)的外侧设置有沿其长边滑动的套筒(12)，所述定向杆(11)远离转动杆(10)的一端固定连接有第一磁石(15)，所述套筒(12)内部远离转动杆(10)的一端固定连接有与第一磁石(15)磁力相斥的第二磁石(16)。

4.根据权利要求3所述的一种sic生产加工的研磨结构，其特征在于：所述套筒(12)远离研磨模具(1)的一端转动连接有敲击圆轮(13)，所述敲击圆轮(13)的外侧固定连接有多个呈环形阵列的震动凸块(14)。

5.根据权利要求2所述的一种sic生产加工的研磨结构，其特征在于：所述驱动部包括有转动连接在侧板(3)上的动力轮(4)，所述研磨内壳(2)上开设有间隙槽(5)，所述动力轮(4)的边缘位置通过间隙槽(5)延伸至研磨腔的内部，多个所述转动杆(10)和动力轮(4)之间通过齿轮组和转轮组连接。

6.根据权利要求5所述的一种sic生产加工的研磨结构，其特征在于：所述齿轮组包括有相互啮合的大齿轮(6)和小齿轮(7)，所述大齿轮(6)固定连接在动力轮(4)上，所述小齿轮(7)转动连接在侧板(3)上，所述小齿轮(7)和转动杆(10)之间通过转轮组连接。

技术总结
本技术公开了一种SIC生产加工的研磨结构，属于碳化硅加工领域，一种SIC生产加工的研磨结构，包括两个研磨模具，两个研磨模具相对的一侧均装配有研磨内壳，两个研磨内壳拼合出一研磨腔，研磨模具的两侧均固定连接有侧板，侧板上设置有震动部和为震动部提供动能的驱动部，震动部包括有多个转动连接在侧板上的转动杆，转动杆沿研磨内壳的长边方向设置，转动杆的周侧固定连接有多个自适应调节杆，自适应调节杆包括有固定连接在转动杆外侧的定向杆，定向杆的外侧设置有沿其长边滑动的套筒，它可以实现，利用振动力对粘附在研磨层上的粉料进行清理，减少研磨棒材时粘附在研磨层上的粉料，保证装置的研磨效果。

技术研发人员：卢乙强,姜宏,周向明
受保护的技术使用者：无锡弘元半导体材料科技有限公司
技术研发日：20230213
技术公布日：2024/1/12