一种新型蚀刻机回流装置的制作方法

本申请涉及蚀刻机，具体而言，涉及一种新型蚀刻机回流装置。

背景技术：

1、蚀刻液是通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体，在酸性氯化铜蚀刻液中，溶液中的氯离子浓度与蚀刻速率有着密切的关系，当溶液中的盐酸浓度升高时，蚀刻时间减少，然而，盐酸浓度高，易挥发，在液槽内形成雾气。

2、高浓度的盐酸雾气具有强烈的刺鼻气味，且具有较高的腐蚀性，常见的蚀刻机设置有抽风排气装置进行排风抽气，防止高浓度的盐酸雾气逸散至环境大气，然而，在抽风排气时，抽离的大量高浓度盐酸雾气，一方面增加废气塔处理的负载，另一方面这些高浓度盐酸雾气仍具备蚀刻功能，直接抽气排放再添加新液无疑会增加企业的生产成本及浪费，且将高浓度的盐酸雾气抽离过多会降低蚀刻速率，影响生产。

技术实现思路

1、本申请实施例的目的在于提供一种新型蚀刻机回流装置，其能够解决背景技术提出的技术问题。

2、本申请实施例提供一种新型蚀刻机回流装置，包括箱体，所述箱体顶部设有抽风机，所述抽风机连接有抽气管，所述抽气管延伸至所述箱体内，所述箱体的内壁相对两侧设有一组凹槽，所述凹槽内设有过滤隔离布，所述过滤隔离布的下方设有传送滚轮模组，所述传送滚轮模组的上下两侧均匀设置有多个喷雾器，所述传送滚轮模组的中间沿所述传送滚轮模组传输方向设有贯穿所述箱体的通道，所述传送滚轮模组的下方设有挡板，所述挡板与所述箱体的底部形成容纳腔，所述箱体的一侧设有将喷雾器喷出的蚀刻液输送回所述容纳腔的循环组件。

3、进一步的，所述过滤隔离布的上部设置有冷凝盘管，所述冷凝盘管的进水口与出水口均延伸至所述箱体外。

4、进一步的，所述喷雾器连接有输液管，所述输液管远离所述喷雾器的一端连接有输液泵，所述输液泵安装在所述箱体的外侧，所述输液泵与所述容纳腔连通。

5、进一步的，所述循环组件包括循环过滤泵和循环管，所述循环过滤泵安装在所述箱体的外侧壁，所述循环过滤泵与所述容纳腔连通，所述循环管与所述循环过滤泵连接，所述循环管远离所述循环过滤泵的一端延伸至所述箱体内，且位于所述挡板的上部。

6、进一步的，所述箱体一侧设有进液口，所述进液口与所述容纳腔连通，所述进液口处安装有电磁阀。

7、进一步的，所述过滤隔离布由炭纤维制成。

8、进一步的，所述抽气管的下端安装有吸气罩，所述吸气罩位于所述过滤隔离布的上方，所述吸气罩内安装有布风板，所述布风板上均匀设置有通孔。

9、本实用新型的有益效果：

10、本实用新型在箱体顶部设有抽风机，抽风机连接有抽气管，抽气管延伸至箱体内，抽风机启动，可对箱体内进行排风抽气，箱体的内壁相对两侧设有一组凹槽，凹槽内设有过滤隔离布，通过凹槽为过滤隔离布提供固定位置，过滤隔离布的下方设有传送滚轮模组，传送滚轮模组的上下两侧均匀设置有多个喷雾器，传送滚轮模组的中间沿传送滚轮模组传输方向设有贯穿箱体的通道，传送滚轮模组用于运输被蚀刻物件，当喷雾器喷出蚀刻液时，蚀刻液中的浓盐酸挥发出来的盐酸雾气，在抽风机的抽吸作用下向上移动，盐酸雾气在接触到过滤隔离布后，大部分盐酸雾气在过滤隔离布上聚集液化，少部分透过过滤隔离布被抽风机抽离，传送滚轮模组的下方设有挡板，挡板与箱体的底部形成容纳腔，箱体的一侧设有将喷雾器喷出的蚀刻液输送回容纳腔的循环组件，喷雾器喷出的蚀刻液在蚀刻后落到挡板上，液化的盐酸雾气形成液滴滴也落到挡板上一同被循环组件输送回容纳腔中，实现回流，降低废气塔处理的负载，同时回收挥发的高浓度盐酸雾气，保证蚀刻液中氯离子的浓度，保证蚀刻速率，降低频繁换液而增加的成本及避免浪费，保证蚀刻速率。

技术特征：

1.一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于：包括箱体，所述箱体顶部设有抽风机，所述抽风机连接有抽气管，所述抽气管延伸至所述箱体内，所述箱体的内壁相对两侧设有一组凹槽，所述凹槽内设有过滤隔离布，所述过滤隔离布的下方设有传送滚轮模组，所述传送滚轮模组的上下两侧均匀设置有多个喷雾器，所述传送滚轮模组的中间沿所述传送滚轮模组传输方向设有贯穿所述箱体的通道，所述传送滚轮模组的下方设有挡板，所述挡板与所述箱体的底部形成容纳腔，所述箱体的一侧设有将喷雾器喷出的蚀刻液输送回所述容纳腔的循环组件。

2.根据权利要求1所述的一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于；所述过滤隔离布的上部设置有冷凝盘管，所述冷凝盘管的进水口与出水口均延伸至所述箱体外。

3.根据权利要求1所述的一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于：所述喷雾器连接有输液管，所述输液管远离所述喷雾器的一端连接有输液泵，所述输液泵安装在所述箱体的外侧，所述输液泵与所述容纳腔连通。

4.根据权利要求3所述的一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于：所述循环组件包括循环过滤泵和循环管，所述循环过滤泵安装在所述箱体的外侧壁，所述循环过滤泵与所述容纳腔连通，所述循环管与所述循环过滤泵连接，所述循环管远离所述循环过滤泵的一端延伸至所述箱体内，且位于所述挡板的上部。

5.根据权利要求4所述的一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于：所述箱体一侧设有进液口，所述进液口与所述容纳腔连通，所述进液口处安装有电磁阀。

6.根据权利要求1所述的一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于：所述过滤隔离布由炭纤维制成。

7.根据权利要求1所述的一种新型蚀刻机回流装置，其特征在于：所述抽气管的下端安装有吸气罩，所述吸气罩位于所述过滤隔离布的上方，所述吸气罩内安装有布风板，所述布风板上均匀设置有通孔。

技术总结
本申请提供一种新型蚀刻机回流装置，涉及蚀刻机技术领域，包括箱体，所述箱体顶部设有抽风机，所述抽风机连接有抽气管，所述抽气管延伸至所述箱体内，所述箱体的内壁相对两侧设有一组凹槽，所述凹槽内设有过滤隔离布，所述过滤隔离布的下方设有传送滚轮模组，所述传送滚轮模组的上下两侧均匀设置有多个喷雾器，所述传送滚轮模组的中间沿所述传送滚轮模组传输方向设有贯穿所述箱体的通道，所述传送滚轮模组的下方设有挡板，本技术通过抽风机、抽气管、挡板、喷雾器、循环组件的相互配合，回收挥发的高浓度盐酸雾气，保证蚀刻液中氯离子的浓度，保证蚀刻速率，降低频繁换液而增加的成本及避免浪费，保证蚀刻速率。

技术研发人员：林萬禮,鄭嘉振,鄭人方,陳聖為
受保护的技术使用者：敬鹏(常熟)电子有限公司
技术研发日：20230222
技术公布日：2024/1/13