一种引弧装置的制作方法

本技术属于电弧离子镀膜配套设备，具体涉及一种引弧装置。

背景技术：

1、电弧离子镀膜技术就是在真空镀膜腔室内在阴极靶材与阳极之间引发弧光放电，利用弧光放电蒸发靶材物质，并沉积到制件表面实现镀膜的技术。相较于其他物理气相沉积技术，电弧离子镀膜技术具有诸多独特的优势。首先，电弧离子镀膜技术可以镀制多种金属，尤其是难熔金属，例如钨、钽等。其次，常规物理气相沉积技术的沉积物多以中性粒子为主，但电弧离子镀膜技术其阴极弧斑能产生大量带电的单电荷或多电荷粒子，这些带电粒子能被加速并沿特定方向运动并沉积在制件表面。再次，在薄膜沉积过程中，高能带电粒子会产生轰击效应，增强沉积粒子的扩散能力和成核密度，剥离薄膜表面松散结合的粒子，部分消除了薄膜内应力，使薄膜表面致密化。近年来，鉴于上述独特的优势，电弧离子镀膜技术已广泛应用于光学、电学、机械等领域的关键零部件的表面镀膜。

2、引弧装置是电弧离子镀膜设备的关键部件，其穿过真空镀膜腔室，通过改变自身与靶材之间距离控制电弧的产生和中断。常规引弧装置通过电磁线圈配合复位弹簧吸引伸缩杆件改变杆件与靶材之间的距离实现引弧。然而，电磁线圈除了产生吸引杆件运动的磁场外，也会对复位弹簧和杆件产生明显的加热作用，因此电磁线圈的频繁工作很容易引起复位弹簧过热，致使复位弹簧回弹力不足，最终导致引弧装置失效。此外，引弧装置伸入到真空镀膜腔内，端部需要承受电弧产生的高温和高能粒子流的轰击，普通材料难以承受如此极端环境，因此如何便捷地对引弧装置进行更换并保证良好的密封性成为引弧装置设计的重点和难点。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型提供一种引弧装置。

2、本实用新型的目的在于提供一种可以频繁使用而不会失效的引弧装置，并且在保证密封性的前提下实现引弧装置端部的便捷更换。

3、本实用新型提供的引弧装置，包括固定座、穿过固定座的滑动轴、可拆卸地安装在固定座一端的气缸座、用于在固定座与滑动轴之间形成密封的第一密封单元、用于在固定座与其安装载体之间形成密封的第二密封单元；气缸座中央具有通孔以供滑动轴穿过，气缸座端部具有气缸安装位以安装驱动滑动轴的气缸。

4、进一步地，上述的引弧装置中，在固定座上且位于靠近气缸座的一端开设有沉孔，第一密封单元为套设在滑动轴上且嵌入沉孔的至少一个轴封；气缸座的端面抵靠轴封并对轴封施压。

5、进一步地，上述的引弧装置中，沉孔嵌设有叠放在一起的两个轴封。

6、进一步地，上述的引弧装置中，第二密封单元为套设在滑动轴上且靠近固定座一端的密封圈，密封圈位于固定座上远离气缸座的一端。

7、进一步地，上述的引弧装置中，第二密封单元包括两个套设在滑动轴上的密封圈，并且在两个密封圈之间还隔设有绝缘垫。

8、进一步地，上述的引弧装置中，在滑动轴的一端还具有引弧针固定孔，引弧针固定孔位于远离气缸座的一端。

9、进一步地，上述的引弧装置中，在滑动轴上且位于靠近气缸座的一端开设有电极安装孔；气缸座的侧壁上沿着滑动轴的方向开设长条孔，以供电极引出。

10、进一步地，上述的引弧装置中，固定座的两侧各设有一固定座安装孔。

11、有益效果：与现有技术相比，本实用新型提供的引弧装置，设计合理，结构紧凑，操作安全简便，通过全新的结构设计规避了复位弹簧因电磁线圈造成过热而致使引弧装置失效的缺陷，能够频繁使用并保证引弧正常有效。此外，本实用新型提供的引弧装置还具有易于拆卸便于更换引弧针的优点，并且经过拆卸和重新装配仍能保持优良的密封性和绝缘性。

技术特征：

1.一种引弧装置，其特征在于：包括固定座（1）、穿过所述固定座（1）的滑动轴（2）、可拆卸地安装在所述固定座（1）一端的气缸座（3）、用于在所述固定座（1）与所述滑动轴（2）之间形成密封的第一密封单元（4）、用于在固定座（1）与其安装载体之间形成密封的第二密封单元（5）；所述气缸座（3）中央具有通孔以供所述滑动轴（2）穿过，所述气缸座（3）端部具有气缸安装位以安装驱动所述滑动轴（2）的气缸。

2.根据权利要求1所述的引弧装置，其特征在于：在所述固定座（1）上且位于靠近所述气缸座（3）的一端开设有沉孔，所述第一密封单元（4）为套设在所述滑动轴（2）上且嵌入所述沉孔的至少一个轴封；所述气缸座（3）的端面抵靠所述轴封并对所述轴封施压。

3.根据权利要求2所述的引弧装置，其特征在于：所述沉孔嵌设有叠放在一起的两个轴封。

4.根据权利要求1所述的引弧装置，其特征在于：所述第二密封单元（5）为套设在所述滑动轴（2）上且靠近所述固定座（1）一端的密封圈，所述密封圈位于固定座（1）上远离所述气缸座（3）的一端。

5.根据权利要求4所述的引弧装置，其特征在于：所述第二密封单元（5）包括两个套设在所述滑动轴（2）上的密封圈，并且在两个密封圈之间还隔设有绝缘垫（6）。

6.根据权利要求1至5任一项所述的引弧装置，其特征在于：在所述滑动轴（2）的一端还具有引弧针固定孔（21），所述引弧针固定孔（21）位于远离所述气缸座（3）的一端。

7.根据权利要求6所述的引弧装置，其特征在于：在所述滑动轴（2）上且位于靠近所述气缸座（3）的一端开设有电极安装孔（22）；所述气缸座（3）的侧壁上沿着所述滑动轴（2）的方向开设长条孔，以供电极引出。

8.根据权利要求6所述的引弧装置，其特征在于：所述固定座（1）的两侧各设有一固定座安装孔。

技术总结
本技术属于电弧离子镀膜配套设备技术领域，具体涉及一种引弧装置。引弧装置包括固定座、穿过固定座的滑动轴、可拆卸地安装在固定座一端的气缸座、用于在固定座与滑动轴之间形成密封的第一密封单元、用于在固定座与其安装载体之间形成密封的第二密封单元；气缸座中央具有通孔以供滑动轴穿过，气缸座端部具有气缸安装位以安装驱动滑动轴的气缸。本技术提供的引弧装置操作安全简便，通过全新的结构设计规避了复位弹簧因电磁线圈造成过热而致使引弧装置失效的缺陷，能够频繁使用并保证引弧正常有效。此外，本技术提供的引弧装置还具有易于拆卸便于更换引弧针的优点，并且经过拆卸和重新装配仍能保持优良的密封性和绝缘性。

技术研发人员：周树法
受保护的技术使用者：昆山立特纳米电子科技有限公司
技术研发日：20230227
技术公布日：2024/1/13