一种光伏电池镀膜设备真空规的保护装置的制作方法

本技术涉及光伏制造和半导体设备，尤其是涉及一种光伏电池镀膜设备真空规的保护装置。

背景技术：

1、真空规，又称真空计，主要是测量某一腔体或管道中气体压强的仪器。真空规一般采用的是物理接口(kf接口或者螺纹接口)，接到腔体或管道上，再将真空规的电气接口接到到电脑或者专用显示仪表上，这样就可以测量压强，在显示器上读出具体的数值，而真空设备腔体达到规定的压强才可以进行工艺。在镀膜设备生产运行过程中，腔内防着板会产生镀层脱落，尤其hjt电池工艺中ito镀层脱落成粉状、产品本身携带的一些外界粉尘掉落、少量的直接镀层，这些异物会进入到真空规内，导致真空规测量误差偏大或者直接损坏，造成机台停机维修或者产品不良。

2、因此，有必要设计一种真空规的保护装置来解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是针对现有技术中真空规在使用时会有异物进入导致真空规测量误差偏大或者直接损坏，造成机台停机维修或者产品不良的问题，而提出一种光伏电池镀膜设备真空规的保护装置。

2、本实用新型的技术方案是：一种光伏电池镀膜设备真空规的保护装置，包括管体；所述管体的顶部边缘固定有遮挡环片；所述管体上部的侧壁上均布有若干进/出气孔；所述管体位于进/出气孔下方的内壁上由上至下依次设有若干挡尘组件，并且相邻的两个挡尘组件之间形成台阶式通道。

3、所述挡尘组件包括集尘板；所述集尘板的一端与管壁贴合设置，另一端设有向上的阻挡薄壁。

4、所述集尘板的端部呈圆弧状。

5、所述挡薄壁的高度为2-6mm。

6、所述管体的内壁以及挡尘组件的上表面均为粗糙面。

7、所述遮挡环片的边缘沿周向均布有多个固定槽口。

8、采用了上述技术方案，本实用新型具有以下的有益效果：(1)本实用新型在管体内壁上由上至下依次设有若干挡尘组件，并且相邻的两个挡尘组件之间形成台阶式通道；能够有效解决现有真空规因腔内防着板镀层脱落外界粉尘或少量的直接镀层导致真空规误差偏大或损坏的问题，从而可以很好的保护到真空规，起到减少机台宕机、减少镀膜不良片，提高产能的效果。

9、(2)本实用新型在集尘板的另一端设有向上的阻挡薄壁，能够避免集尘板上的粉尘流入下方的集尘板上，进一步避免了粉尘流入真空规。

10、(2)本实用新型的集尘板的端部呈圆弧状，能够有效地增大集尘面积。

11、(3)本实用新型的挡薄壁的高度为2-6mm，保证相邻的两个挡尘组件的间隙合理，进一步避免粉尘流入真空规中。

12、(4)本实用新型的管体的内壁以及挡尘组件的上表面均为粗糙面，能够降低粉尘的流动性，使得粉尘不易流入下方的集尘板上。

13、(6)本实用新型的遮挡环片的边缘沿周向均布有多个固定槽口，以便于管体的固定。

技术特征：

1.一种光伏电池镀膜设备真空规的保护装置，其特征在于：包括管体(1)；所述管体(1)的顶部边缘固定有遮挡环片(2)；所述管体(1)上部的侧壁上均布有若干进/出气孔(3)；所述管体(1)位于进/出气孔下方的内壁上由上至下依次设有若干挡尘组件(4)，并且相邻的两个挡尘组件(4)之间形成台阶式通道。

2.根据权利要求1所述的一种光伏电池镀膜设备真空规的保护装置，其特征在于：所述挡尘组件(4)包括集尘板(4-1)；所述集尘板(4-1)的一端与管壁贴合设置，另一端设有向上的阻挡薄壁(4-2)。

3.根据权利要求2所述的一种光伏电池镀膜设备真空规的保护装置，其特征在于：所述集尘板(4-1)的端部呈圆弧状。

4.根据权利要求2所述的一种光伏电池镀膜设备真空规的保护装置，其特征在于：所述挡薄壁的高度为2-6mm。

5.根据权利要求1所述的一种光伏电池镀膜设备真空规的保护装置，其特征在于：所述管体(1)的内壁以及挡尘组件(4)的上表面均为粗糙面。

6.根据权利要求1所述的一种光伏电池镀膜设备真空规的保护装置，其特征在于：所述遮挡环片(2)的边缘沿周向均布有多个固定槽口(2-1)。

技术总结
本技术公开了一种光伏电池镀膜设备真空规的保护装置，包括管体；所述管体的顶部边缘固定有遮挡环片；所述管体上部的侧壁上均布有若干进/出气孔；所述管体位于进/出气孔下方的内壁上由上至下依次设有若干挡尘组件，并且相邻的两个挡尘组件之间形成台阶式通道。本技术在管体内壁上由上至下依次设有若干挡尘组件，并且相邻的两个挡尘组件之间形成台阶式通道；能够有效解决现有真空规因腔内防着板镀层脱落外界粉尘或少量的直接镀层导致真空规误差偏大或损坏的问题，从而可以很好的保护到真空规，起到减少机台宕机、减少镀膜不良片，提高产能的效果。

技术研发人员：刘顺,张俭波,杨超,张闻斌,张忠卫
受保护的技术使用者：江苏国晟世安新能源有限公司
技术研发日：20230307
技术公布日：2024/1/12