一种基板表面处理机构的制作方法

本技术属于基板表面处理，具体涉及一种基板表面处理机构。

背景技术：

1、氮化铝具有宽的带隙宽度、稳定的晶体结构、良好的介电特性等,因此在半导体领域得到了广泛的应用，而氮化铝基板在生产加工时，需要经过多道工序，且每道工序需要用到对应的设备和机构，在其中的表面处理工序中，就需要用到一种可对基板表面进行打磨处理的表面处理机构，如公开号为“cn214979748u”的现有专利中所公开的“一种铝基板的表面处理装置，包括底座和支撑架，所述底座顶端的两侧设置有支撑架，所述底座的顶端设置有工作台，所述工作台底端的四个拐角处分别设置有支撑柱……”，可以看出该申请中所描述的就是一种常见的表面处理装置，主要是依靠电机带动打磨头高速转动，然后与基板表面进行接触，起到打磨处理的效果；

2、然而该专利中的基板表面处理装置在实际使用时，是通过左右对称的两个弹性限位板来实现对基板的夹持限位的，这种限位方式在对基板进行取放时，需要操作人员同时用双手将两侧的弹性限位板抵住，才能将基板进行取出或放入，降低了操作人员对基板的取放便捷性，且可能需要双人进行操作，降低了整个基板表面处理装置的使用灵活性和便利性，为此本实用新型提出一种新的基板表面处理机构。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种基板表面处理机构，以解决上述背景技术中提出的现有基板表面处理装置存在不利于基板取放的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基板表面处理机构，包括加工台以及设置在加工台上方的打磨机构，所述加工台的顶部表面放置有基板，所述加工台的顶部设置有多个易操作压紧机构，所述易操作压紧机构包括滑动设置在加工台顶部表面的基座，且基座的顶端表面活动套设有基套，所述基套的一侧固定有压板，所述压板的端部延伸至基板的顶部，且底部安装有与基板抵紧的橡胶防滑块，所述易操作压紧机构还包括设置在基座和基套之间的可转动活动结构，所述可转动活动结构包括开设在基座内部的活动槽，所述活动槽内通过弹簧活动安装有活动块，所述活动块的两侧均固定有侧导杆，所述基座的表面对称开设有两个侧滑道，所述基套的内壁开设有环形导槽，所述侧导杆的端部通过侧滑道贯穿至环形导槽中。

3、优选的，所述易操作压紧机构还包括t形座和t形滑槽，所述加工台的顶部表面开设有多个t形滑槽，所述t形座固定在基座的底部表面，且t形座滑动位于t形滑槽中，所述易操作压紧机构还包括限位结构，所述限位结构包括限位杆和限位槽，所述限位杆固定在活动块的底部表面，所述t形滑槽的底端内壁开设有多个限位槽，所述限位杆的底端贯穿至其中一个限位槽中，所述基座的底部表面和t形座的表面均开设有与限位杆相对应的穿孔，所述基套的顶部表面固定有弧形拉把。

4、优选的，所述易操作压紧机构还包括设置在压板和橡胶防滑块之间的拆装结构，所述拆装结构包括限位条和限位缺口，所述橡胶防滑块呈倒t形，且橡胶防滑块的顶端贯穿至压板的顶部，所述橡胶防滑块的顶端表面开设有限位缺口，所述限位条转动安装在压板的顶部表面，且限位条的一端旋入至限位缺口中，所述拆装结构还包括圆形凸起和圆形卡槽，所述限位缺口的顶端内壁设置有圆形凸起，所述限位条的顶部表面开设有圆形卡槽，所述圆形凸起嵌入至圆形卡槽中。

5、优选的，所述打磨机构包括顶板、打磨头、驱动气缸和打磨电机，所述驱动气缸固定在顶板的顶部，且驱动气缸底端的活塞杆贯穿至顶板的底部，并安装有打磨电机，所述打磨电机的输出端上安装有打磨头。

6、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过对现有技术中的基板表面处理装置进行改进，在加工台的顶部设计了多个可滑动的易操作压紧机构，一方面可以保证加工时对基板进行稳定的压紧限位，另一方面可以在后续完成加工时，直接侧滑或侧旋解除对基板的限位，实现基板的快速取放，提高整个基板表面处理机构的使用灵活性和便捷性，解决了原装置中存在不方便对基板进行取放的问题。

技术特征：

1.一种基板表面处理机构，包括加工台(1)以及设置在加工台(1)上方的打磨机构(3)，所述加工台(1)的顶部表面放置有基板(4)，其特征在于：所述加工台(1)的顶部设置有多个易操作压紧机构(2)，所述易操作压紧机构(2)包括滑动设置在加工台(1)顶部表面的基座(21)，且基座(21)的顶端表面活动套设有基套(22)，所述基套(22)的一侧固定有压板(23)，所述压板(23)的端部延伸至基板(4)的顶部，且底部安装有与基板(4)抵紧的橡胶防滑块(24)，所述易操作压紧机构(2)还包括设置在基座(21)和基套(22)之间的可转动活动结构(25)。

2.根据权利要求1所述的一种基板表面处理机构，其特征在于：所述可转动活动结构(25)包括开设在基座(21)内部的活动槽(251)，所述活动槽(251)内通过弹簧(252)活动安装有活动块(253)，所述活动块(253)的两侧均固定有侧导杆(254)，所述基座(21)的表面对称开设有两个侧滑道(256)，所述基套(22)的内壁开设有环形导槽(255)，所述侧导杆(254)的端部通过侧滑道(256)贯穿至环形导槽(255)中。

3.根据权利要求2所述的一种基板表面处理机构，其特征在于：所述易操作压紧机构(2)还包括t形座(26)和t形滑槽(27)，所述加工台(1)的顶部表面开设有多个t形滑槽(27)，所述t形座(26)固定在基座(21)的底部表面，且t形座(26)滑动位于t形滑槽(27)中。

4.根据权利要求3所述的一种基板表面处理机构，其特征在于：所述易操作压紧机构(2)还包括限位结构(28)，所述限位结构(28)包括限位杆(281)和限位槽(282)，所述限位杆(281)固定在活动块(253)的底部表面，所述t形滑槽(27)的底端内壁开设有多个限位槽(282)，所述限位杆(281)的底端贯穿至其中一个限位槽(282)中。

5.根据权利要求1所述的一种基板表面处理机构，其特征在于：所述基座(21)的底部表面和t形座(26)的表面均开设有与限位杆(281)相对应的穿孔，所述基套(22)的顶部表面固定有弧形拉把。

6.根据权利要求1所述的一种基板表面处理机构，其特征在于：所述易操作压紧机构(2)还包括设置在压板(23)和橡胶防滑块(24)之间的拆装结构(29)，所述拆装结构(29)包括限位条(291)和限位缺口(292)，所述橡胶防滑块(24)呈倒t形，且橡胶防滑块(24)的顶端贯穿至压板(23)的顶部，所述橡胶防滑块(24)的顶端表面开设有限位缺口(292)，所述限位条(291)转动安装在压板(23)的顶部表面，且限位条(291)的一端旋入至限位缺口(292)中。

7.根据权利要求6所述的一种基板表面处理机构，其特征在于：所述拆装结构(29)还包括圆形凸起(293)和圆形卡槽(294)，所述限位缺口(292)的顶端内壁设置有圆形凸起(293)，所述限位条(291)的顶部表面开设有圆形卡槽(294)，所述圆形凸起(293)嵌入至圆形卡槽(294)中。

8.根据权利要求1所述的一种基板表面处理机构，其特征在于：所述打磨机构(3)包括顶板(31)、打磨头(32)、驱动气缸(33)和打磨电机(34)，所述驱动气缸(33)固定在顶板(31)的顶部，且驱动气缸(33)底端的活塞杆贯穿至顶板(31)的底部，并安装有打磨电机(34)，所述打磨电机(34)的输出端上安装有打磨头(32)。

技术总结
本技术公开了一种基板表面处理机构，包括加工台以及设置在加工台上方的打磨机构，所述加工台的顶部设置有多个易操作压紧机构，所述易操作压紧机构包括滑动设置在加工台顶部表面的基座，且基座的顶端表面活动套设有基套，所述基套的一侧固定有压板，所述易操作压紧机构还包括设置在基座和基套之间的可转动活动结构；本技术通过对现有技术中的基板表面处理装置进行改进，在加工台的顶部设计了多个可滑动的易操作压紧机构，一方面可以保证加工时对基板进行稳定的压紧限位，另一方面可以在后续完成加工时，直接侧滑或侧旋解除对基板的限位，实现基板的快速取放，提高整个基板表面处理机构的使用灵活性和便捷性。

技术研发人员：何天兵,严金鸽
受保护的技术使用者：金瓷信牒科技发展（南通）有限公司
技术研发日：20230309
技术公布日：2024/1/15