一种真空室用高温CVD加热线圈组件的制作方法

本技术属于cvd，具体涉及一种真空室用高温cvd加热线圈组件。

背景技术：

1、化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。

2、授权公开号“cn212505061u”记载了“本实用新型涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，且公开了一种用于cvd涂层设备加热罩内的加热丝组件，包括外框，所述外框的外侧固定安装有拼装吊装块，所述外框的底部分别固定安装有支脚与底部托板，所述外框的内部固定安装有耐火材料，所述耐火材料的内部嵌装有电阻丝，该用于cvd涂层设备加热罩内的加热丝组件，通过用多个加热丝组件组合的形式放置在加热罩内，代替一个整体的形式，因而可分别独立控制多个加热丝组件，也可差异化控制各加热丝组件的温度，因采用多个加热丝组件组合的形式放置在加热罩内，每个加热丝组件体积和重量相对于一个整体的加热丝组件而言，体积要小，重量又轻，方便安装和维护。(esm)同样的发明创造已同日申请发明专利”。

3、上述专利可以通过多个加热丝的组装，以及多个加热丝之间的独立控制，来达到加热丝的准确控温和提高其加热效果，但上述专利中的加热丝固定连接于耐火材料内，而耐火材料固定连接于外框内，这就以为着加热丝无法拆卸，而上述专利中加热丝设有多个，如个别加热丝损坏，就无法对其进行更换，且单个加热丝损坏时会极大地影响整体加热装置的加热效果，就必须对加热装置整体进行更换，不仅浪费加热丝，而增加了加热装置的使用成本。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种真空室用高温cvd加热线圈组件，旨在解决现有技术中加热丝固定连接于耐火材料内，而耐火材料固定连接于外框内，这就以为着加热丝无法拆卸，而上述专利中加热丝设有多个，如个别加热丝损坏，就无法对其进行更换，且单个加热丝损坏时会极大地影响整体加热装置的加热效果，就必须对加热装置整体进行更换，不仅浪费加热丝，而增加了加热装置的使用成本的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种真空室用高温cvd加热线圈组件，包括：

4、组装壳；以及

5、多组可拆卸加热机构，每组所述可拆卸加热机构均由放置槽、多个对接块，多个加热丝、多个插接孔、两个插接螺栓、连接板和两个螺母组成，所述放置槽开设于组装壳的上端，多个所述对接块均滑动设于放置槽内，多个所述加热丝固定连接于多个对接块的相靠近端，两个所述插接孔开设于多个对接块的上端和组装壳的下端，所述连接板设于放置槽内，两个所述插接螺栓均固定连接于连接板的下端，且两个插接螺栓分别插接于两个插接孔内，两个所述螺母分别螺纹连接于两个插接螺栓的圆周表面。

6、作为本实用新型一种优选的方案，两个所述插接螺栓的圆周表面套设有上垫片，所述上垫片位于放置槽内。

7、作为本实用新型一种优选的方案，所述组装壳的圆周内壁开设有多个补热槽，多个所述补热槽内均固定连接有发热杆。

8、作为本实用新型一种优选的方案，两个所述插接螺栓的圆周表面套设有下垫片，所述下垫片位于两个螺母的上端。

9、作为本实用新型一种优选的方案，多个所述对接块的一端均固定连接有温度监测器，所述温度监测器和外部终端信号连接。

10、作为本实用新型一种优选的方案，所述组装壳的圆周表面固定连接有多个连接螺板，多个所述连接螺板内螺纹连接有连接螺栓。

11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

12、1、本方案中，在单组加热丝损坏需要进行更换时，可以将两个插接螺栓从两个插接孔内进行抽出，而后便可以将两个对接块进行滑动并将其之间固定连接的加热丝进行更换，而后重新连接至放置槽内，通过这样的设计使得单个加热丝损坏时，也可以进行更换，进而提高本装置的维修和更换的便捷性，进而减小本装置的使用成本。

13、2、本方案中，通过补热槽内固定连接的发热杆，可以对本装置整体的加热效果进行加强，提高本装置的加热效率和效果，而通过上垫片可以防止多个对接块脱离放置槽，进而提高本装置的稳定性。

技术特征：

1.一种真空室用高温cvd加热线圈组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种真空室用高温cvd加热线圈组件，其特征在于，两个所述插接螺栓(8)的圆周表面套设有上垫片(15)，所述上垫片(15)位于放置槽(6)内。

3.根据权利要求2所述的一种真空室用高温cvd加热线圈组件，其特征在于，所述组装壳(1)的圆周内壁开设有多个补热槽(4)，多个所述补热槽(4)内均固定连接有发热杆(5)。

4.根据权利要求3所述的一种真空室用高温cvd加热线圈组件，其特征在于，两个所述插接螺栓(8)的圆周表面套设有下垫片(13)，所述下垫片(13)位于两个螺母(14)的上端。

5.根据权利要求4所述的一种真空室用高温cvd加热线圈组件，其特征在于，多个所述对接块(9)的一端均固定连接有温度监测器(11)，所述温度监测器(11)和外部终端信号连接。

6.根据权利要求5所述的一种真空室用高温cvd加热线圈组件，其特征在于，所述组装壳(1)的圆周表面固定连接有多个连接螺板(2)，多个所述连接螺板(2)内螺纹连接有连接螺栓(3)。

技术总结
本技术提供一种真空室用高温CVD加热线圈组件，属于CVD技术领域，该真空室用高温CVD加热线圈组件包括组装壳；以及多组可拆卸加热机构，每组可拆卸加热机构均由放置槽、多个对接块，多个加热丝、多个插接孔、两个插接螺栓、连接板和两个螺母组成，在单组加热丝损坏需要进行更换时，可以将两个插接螺栓从两个插接孔内进行抽出，而后便可以将两个对接块进行滑动并将其之间固定连接的加热丝进行更换，而后重新连接至放置槽内，通过这样的设计使得单个加热丝损坏时，也可以进行更换，进而提高本装置的维修和更换的便捷性，进而减小本装置的使用成本。

技术研发人员：刘振波,陈宪纬,李滔,江玉卿
受保护的技术使用者：深圳海容高新材料科技有限公司
技术研发日：20230329
技术公布日：2024/1/14