金属靶磨加工夹具的制作方法

本技术涉及靶材加工，尤其涉及金属靶磨加工夹具。

背景技术：

1、金属钨靶材(w靶)多用于大功率溅射工艺，溅射过程高速粒子对靶面轰击，靶材表面温度会急剧升高，因此多采用导热性较好的铜合金做背板材料，焊接方式也需采用焊接结合率高、焊接强度高、高温稳定性更好的扩散焊。常见的w靶多为圆形靶，主要有2种结构，平面度异常问题会在带凹槽结构的w靶上出现，平面结构w靶则不存在此问题。

2、由于是扩散焊接型靶材，靶材在焊接后因靶坯和背板材料的热膨胀系数差异较大，形成的焊接内应力必然导致产品产生变形，并且在靶材尺寸加工过程中随着背板和靶坯厚度的减薄，应力平衡会被打破，会导致靶材在加工过程存在动态形变的问题。w靶的材质硬脆，加工性能较差，目前采用磨床来去除多余余量；铜制背板则只需车削加工即可。背板的凹槽的加工成为了难点，如果凹槽在磨加工前预制，则因磨加工产品会受到较大压力，w靶硬脆的特性以及背板下方中空易引起靶坯开裂。如果凹槽加工设置在磨加工后，则靶坯表面已完成成品加工，凹槽加工过程会引起靶坯面的变形，致使最终平面度超产品规格要求。

3、因此，亟需金属靶磨加工夹具来解决上述问题。

技术实现思路

1、基于以上所述，本实用新型的目的在于提供一种金属靶磨加工夹具，对背板具有良好的支撑固定作用，能有效避免背板变形，使得靶材加工后的平面度较佳。

2、为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、金属靶磨加工夹具，适用于下端面带凹槽的背板，所述背板的上端面设置有靶材槽，靶材固定于所述靶材槽中，所述金属靶磨加工夹具包括：

4、底座，所述底座上设置有支撑台，所述支撑台能容纳于所述凹槽中，并与所述凹槽的槽底抵接；

5、至少两个夹持组件，间隔设置在所述底座上，所述夹持组件包括夹板，所述夹板能抵压于所述背板的上端面。

6、作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述夹板沿所述支撑台的厚度方向位置可调。

7、作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述夹持组件还包括支杆，所述支杆设置在所述底座上，并沿所述支撑台的厚度方向延伸设置，所述夹板沿所述支杆的长度方向位置可调地连接于所述支杆。

8、作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述支杆与所述背板的外周抵接。

9、作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述支杆上设置有外螺纹，所述夹板上开设有螺纹孔，所述螺纹孔与所述外螺纹螺纹配合。

10、作为金属靶磨加工夹具的优选方案，在所述支撑台的厚度方向上，所述支杆顶端的高度低于所述靶材上端面的高度。

11、作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述支撑台的周壁与所述凹槽的槽壁间隙设置。

12、作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述背板下端面与所述底座间隙设置。

13、作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述支撑台与所述凹槽的槽底抵接的一面设置有第一缓冲层。

14、作为金属靶磨加工夹具的优选方案，所述夹板与所述背板抵压的一面设置有第二缓冲层。

15、本实用新型的有益效果为：

16、本实用新型提供一种金属靶磨加工夹具，该金属靶磨加工夹具包括底座和至少两个夹持组件，将背板的凹槽对准底座上的支撑台放置，使得支撑台对背板凹槽部分具有支撑作用，避免凹槽部分过薄无支撑导致变形；并通过至少两个夹板夹紧背板，使得背板位置固定，避免磨削靶材时背板移动导致磨削失败。采用该金属靶磨加工夹具，靶材加工后的平面度较佳。

技术特征：

1.金属靶磨加工夹具，适用于下端面带凹槽(10)的背板(1)，所述背板(1)的上端面设置有靶材槽，靶材(2)固定于所述靶材槽中，其特征在于，所述金属靶磨加工夹具包括：

2.根据权利要求1所述的金属靶磨加工夹具，其特征在于，所述夹板(51)沿所述支撑台(4)的厚度方向位置可调。

3.根据权利要求2所述的金属靶磨加工夹具，其特征在于，所述夹持组件(5)还包括支杆(52)，所述支杆(52)设置在所述底座(3)上，并沿所述支撑台(4)的厚度方向延伸设置，所述夹板(51)沿所述支杆(52)的长度方向位置可调地连接于所述支杆(52)。

4.根据权利要求3所述的金属靶磨加工夹具，其特征在于，所述支杆(52)与所述背板(1)的外周抵接。

5.根据权利要求3所述的金属靶磨加工夹具，其特征在于，所述支杆(52)上设置有外螺纹，所述夹板(51)上开设有螺纹孔，所述螺纹孔与所述外螺纹螺纹配合。

6.根据权利要求3所述的金属靶磨加工夹具，其特征在于，在所述支撑台(4)的厚度方向上，所述支杆(52)顶端的高度低于所述靶材(2)上端面的高度。

7.根据权利要求1-6任一项所述的金属靶磨加工夹具，其特征在于，所述支撑台(4)的周壁与所述凹槽(10)的槽壁间隙设置。

8.根据权利要求1-6任一项所述的金属靶磨加工夹具，其特征在于，所述背板(1)下端面与所述底座(3)间隙设置。

9.根据权利要求1-6任一项所述的金属靶磨加工夹具，其特征在于，所述支撑台(4)与所述凹槽(10)的槽底抵接的一面设置有第一缓冲层。

10.根据权利要求1-6任一项所述的金属靶磨加工夹具，其特征在于，所述夹板(51)与所述背板(1)抵压的一面设置有第二缓冲层。

技术总结
本技术涉及靶材加工技术领域，公开金属靶磨加工夹具。该金属靶磨加工夹具包括底座和至少两个夹持组件，底座上设置有支撑台，支撑台能容纳于凹槽中，并与凹槽的槽底抵接，两个夹持组件间隔设置在底座上，夹持组件包括夹板，夹板能抵压于背板的上端面。该金属靶磨加工夹具对背板具有良好的支撑固定作用，能有效避免背板变形，使得靶材加工后的平面度较佳。

技术研发人员：姚力军,潘杰,沈学峰,廖培君,陈石
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：20230330
技术公布日：2024/1/13