一种针对基材PP膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车的制作方法

本技术涉及卷绕镀膜机的，具体而言，涉及一种针对基材pp膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车。

背景技术：

1、磁控卷绕镀膜机是一种用于物理学、工程与技术科学基础学科、材料科学领域的科学设备，适合在柔性基材上镀制各种介质膜、导电膜等。

2、磁控卷绕镀膜机主要包括真空室、卷绕机构、溅射机构等，现有卷绕机构中，磁控靶为核心部件之一，磁控靶上的靶材是消耗品，需要定期更换，正常工作时磁控靶需要在密闭真空室内，为了便于维修、维护、清洁和更换靶材，然而真空室内空间有限且可操作性不强，所有需要将磁控靶移出真空室外，为便于推进和推出，因此将磁控靶固定安装在小车上，形成磁控靶车，现有的磁控卷绕镀膜通常为单面镀膜，采用靶车上的磁控靶为一整体，在技术不断更新迭代中，一次性双面溅射镀膜更为人们所采用，单面的磁控靶车难以适应于一次性双面溅射镀膜，对此进行磁控靶车的改进。

3、现有针对一次性双面镀膜的磁控靶车都是为一整体，而一次性双面镀膜对应的真空室中有两个独立的溅射室，对其基材进行独立溅射镀膜，使其靶车上会安装对应两个溅射室的磁控靶，而这样一体成型的磁控靶车在推进或推出过程中由于加工和装配的原因导致真空室内密封不良问题的产生；除此之外，当其中一个靶材需要更换时，需要将整个靶车从真空室内退出，这样的操作方式不便利性太大，同时也会影响真空室内的真空度。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种针对基材pp膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车，用以实现保证卷绕镀膜过程中的真空性、密封性，达到提高镀膜质量等技术效果。

2、本实用新型通过以下技术方案实现：包括第一靶车和第二靶车；所述第一靶车和所述第二靶车结构对称设置，且对称安装于卷绕镀膜机的真空室内；

3、所述第一靶车和所述第二靶车均包括滑轨，滑动配合于所述滑轨上设置靶车架，所述靶车架上设有维护箱，所述维护箱的一端端面设有封板，所述封板上设有若干个支撑杆，所述支撑杆的自由端端面上连接有安装板，在所述封板与所述安装板之间还设有若干根引入杆，若干根所述引入杆外壁均套设有旋转靶材；在所述封板与所述安装板之间还安装有多根充气杆，多根所述充气杆分别置于若干根引入杆之间。

4、为了更好的实现本实用新型，进一步的，多根所述引入杆和充气杆间隔均匀布置，且围成弧形，形成半圆形空腔；

5、所述安装板一侧开设有半圆形凹槽，所述半圆形凹槽与所述半圆形空腔一致，且连通。

6、为了更好的实现本实用新型，进一步的，所述支撑杆有4根，其中两根靠近设置在封板的顶部，剩下两根靠近设置在封板的底部，多根所述引入杆和所述充气杆靠近设置于所述封板的中部。

7、为了更好的实现本实用新型，进一步的，所述安装板的底部还设有用于滑动的滑轮。

8、为了更好的实现本实用新型，进一步的，所述维护箱内设有用于与所述引入杆传动连接的传动电机。

9、为了更好的实现本实用新型，进一步的，所述维护箱的另一侧面设置控制柜。

10、本实用新型的有益效果是：

11、本实用新型通过优化磁控靶车的结构，针对一次性双面卷绕镀膜机，采用2个独立的磁控靶车，结构对此设置，且对称安装在卷绕镀膜机真空室的两个溅射室内，具体是分别将磁控靶车推进真空室不同的溅射室，相互之间独立，在需要一个需要更换靶材时，无需影响另一个的真空度以及工作情况，提高工作效率。

12、另外在安装板的底部还设置滚轮，并在真空室内的溅射室的底部也设有与滚轮滑动配合的滑轨，两个溅射室左右对称分布，通过滚轮与滑轨的配合使其能够进一步保障两个溅射室内的靶车的平行度和垂直度均一致。

技术特征：

1.一种针对基材pp膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车，其特征在于；

2.根据权利要求1所述的针对基材pp膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车，其特征在于；

3.根据权利要求2所述的针对基材pp膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车，其特征在于；

4.根据权利要求1所述的针对基材pp膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车，其特征在于；

5.根据权利要求1所述的针对基材pp膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车，其特征在于；

6.根据权利要求1～5任一项所述的针对基材pp膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车，其特征在于；

技术总结
本技术提供一种针对基材PP膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车，涉及卷绕镀膜机的技术领域，包括第一靶车和第二靶车；所述第一靶车和所述第二靶车结构对称设置，且对称安装于卷绕镀膜机的真空室内；所述第一靶车和所述第二靶车均包括滑轨，滑动配合于所述滑轨上设置靶车架，所述靶车架上设有维护箱，所述维护箱的一端端面设有封板，所述封板上设有若干个支撑杆，所述支撑杆的自由端端面上连接有安装板，在所述封板与所述安装板之间还设有若干根引入杆，若干根所述引入杆外壁均套设有旋转靶材；在所述封板与所述安装板之间还安装有多根充气杆，多根所述充气杆分别置于若干根引入杆之间。

技术研发人员：向海洋,李庆国
受保护的技术使用者：四川海格锐特科技有限公司
技术研发日：20230414
技术公布日：2024/1/15