一种镀膜氧化装置以及真空镀膜装置的制作方法

本技术涉及薄膜制备，更具体的说，本技术涉及一种镀膜氧化装置以及真空镀膜装置。

背景技术：

1、导电金属薄膜是一类具有多种良好性能的材料，现已广泛应用于电池中作为正极集流体或者负极集流体。

2、现有的导电金属薄膜多采用真空蒸发镀膜或磁控溅射镀膜。以真空蒸镀工艺为例，真空蒸镀是指在真空条件下，采用一定的蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)，使镀膜材料气化，气化的粒子飞至基片表面凝聚成膜。例如，薄膜经过蒸发镀铝，即可得到铝膜复合集流体。

3、但实际应用中，在将铝膜复合集流体应用于锂离子电池时，电解液会将铝膜腐蚀，从而影响电池性能。

4、因此需要一种新的方案，来解决此问题。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种镀膜氧化装置以及真空镀膜装置。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种镀膜氧化装置，其改进之处在于：包括放卷模块、镀膜模块、氧气吹入模块和收卷模块，氧气吹入模块设于镀膜模块与收卷模块之间，放卷模块放出薄膜，镀膜模块对薄膜进行镀膜，氧气吹入模块对镀膜后的薄膜表面吹出氧气，收卷模块收纳氧化后的薄膜。

3、在上述结构中，所述的氧气吹入模块设置于薄膜的两面，对薄膜两面的表面吹出氧气；

4、所述的氧气吹向薄膜的整个幅宽的表面。

5、在上述结构中，所述的氧气吹向薄膜表面的方向与薄膜的走膜方向相反。

6、在上述结构中，还包括电晕模块，电晕模块设于镀膜模块与收卷模块之间，对镀膜后的薄膜表面进行电晕处理；

7、或者，还包括等离子模块，等离子模块设于镀膜模块与收卷模块之间，对镀膜后的薄膜表面进行等离子处理。

8、在上述结构中，所述的电晕模块设置于薄膜的两面，对薄膜两面的表面进行电晕处理；

9、或者，所述的等离子模块设置于薄膜的两面，对薄膜两面的表面进行等离子处理。

10、在上述结构中，所述的电晕模块对薄膜的整个幅宽的表面进行电晕处理；

11、或者，所述的等离子模块对薄膜的整个幅宽的表面进行等离子处理。

12、在上述结构中，所述的电晕模块包括双电极，薄膜从双电极之间穿过，双电极对薄膜进行电晕处理。

13、在上述结构中，还包括冷却模块，冷却模块设于氧气吹入模块与收卷模块之间，对电晕处理后或者等离子处理后的薄膜进行冷却。

14、在上述结构中，还包括壳体，所述的氧气吹入模块，以及电晕模块或者等离子模块，设于壳体内，壳体上设有匹配于薄膜并使薄膜通过的开孔；

15、所述的壳体内设有排气管，用于将壳体内多余的气体排出真空腔室。

16、本实用新型还提供了一种真空镀膜装置，包括真空腔室和所述的镀膜氧化装置，所述的镀膜氧化装置设于真空腔室内。

17、本实用新型的有益效果是：通过使镀膜后的薄膜在真空环境下被氧气氧化，薄膜表面生成致密的氧化铝，可以有效的防止电解液直接接触铝箔，防止铝箔被电解液腐蚀，避免薄膜应用在锂离子电池后，在使用过程中出现铝箔迁移。

技术特征：

1.一种镀膜氧化装置，其特征在于：包括放卷模块、镀膜模块、氧气吹入模块和收卷模块，氧气吹入模块设于镀膜模块与收卷模块之间，放卷模块放出薄膜，镀膜模块对薄膜进行镀膜，氧气吹入模块对镀膜后的薄膜表面吹出氧气，收卷模块收纳氧化后的薄膜。

2.如权利要求1所述的一种镀膜氧化装置，其特征在于：所述的氧气吹入模块设置于薄膜的两面，对薄膜两面的表面吹出氧气；

3.如权利要求1或2所述的一种镀膜氧化装置，其特征在于：所述的氧气吹向薄膜表面的方向与薄膜的走膜方向相反。

4.如权利要求1所述的一种镀膜氧化装置，其特征在于：还包括电晕模块，电晕模块设于镀膜模块与收卷模块之间，对镀膜后的薄膜表面进行电晕处理；

5.如权利要求4所述的一种镀膜氧化装置，其特征在于：所述的电晕模块设置于薄膜的两面，对薄膜两面的表面进行电晕处理；

6.如权利要求5所述的一种镀膜氧化装置，其特征在于：所述的电晕模块对薄膜的整个幅宽的表面进行电晕处理；

7.如权利要求6所述的一种镀膜氧化装置，其特征在于：所述的电晕模块包括双电极，薄膜从双电极之间穿过，双电极对薄膜进行电晕处理。

8.如权利要求4所述的一种镀膜氧化装置，其特征在于：还包括冷却模块，冷却模块设于氧气吹入模块与收卷模块之间，对电晕处理后或者等离子处理后的薄膜进行冷却。

9.如权利要求4所述的一种镀膜氧化装置，其特征在于：还包括壳体，所述的氧气吹入模块，以及电晕模块或者等离子模块，设于壳体内，壳体上设有匹配于薄膜并使薄膜通过的开孔；

10.一种真空镀膜装置，其特征在于：包括真空腔室和权利要求1-9中任一项权利要求所述的镀膜氧化装置，所述的镀膜氧化装置设于真空腔室内。

技术总结
本技术提供了一种镀膜氧化装置，涉及薄膜制备技术领域，包括放卷模块、镀膜模块、氧气吹入模块和收卷模块，氧气吹入模块设于镀膜模块与收卷模块之间，放卷模块放出薄膜，镀膜模块对薄膜进行镀膜，氧气吹入模块对镀膜后的薄膜表面吹出氧气，收卷模块收纳氧化后的薄膜，使镀膜后的薄膜在真空环境下被氧气氧化，薄膜表面生成致密的氧化铝，可以有效的防止电解液直接接触铝箔，防止铝箔被电解液腐蚀，避免薄膜应用在锂离子电池后，在使用过程中出现铝箔迁移。

技术研发人员：臧世伟,刘文卿
受保护的技术使用者：重庆金美新材料科技有限公司
技术研发日：20230522
技术公布日：2024/1/15