一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构的制作方法

本技术属于镀膜，具体为一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构。

背景技术：

1、镀膜设备需要将固态前驱体(即派瑞林粉材)放置于蒸发管内加热成气态，然后输送到温度相对较低的成膜腔体内。

2、相关技术中，可参考公告号为cn218372481u的中国专利，具体公开了一种防止管道口积粉的真空设备用蒸发管结构，包括蒸发管、蒸发管法兰、后盖、紧固件和加热器。通过上述方式，本实用新型杜绝蒸发管管道口积粉的情况发生，不破坏蒸发管路内热平衡特性，沉积膜层质量依旧能够达到保证。

3、针对上述相关技术方案，申请人发现：以上加热方式通过一侧增加的加热器进行加热，然后通过将热量传导到蒸发管内，完成对内部粉料的气化，但是以上加热方式，需要经过加热和传导，加热效率不高，气化速度慢，而且当需要将盖体拆卸掉，进行加料时，由于加热器时置于在后盖体内，使得在拆卸掉时，容易出现烫伤事故。

4、鉴于此，提出了一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于：为了解决上述提出的问题，提供一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构。

2、本实用新型采用的技术方案如下：一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构，包括蒸发管，所述蒸发管靠近端口一侧外周面均匀环绕贴合有螺旋加热管；

3、所述蒸发管的端口处焊接固定有连接法兰，所述连接法兰的一端通过多个固定螺栓固定连接有密封盖；

4、所述螺旋加热管的外周面设置有隔热盖，所述隔热盖和密封盖的夹层内均设置有真空腔。

5、在一优选的实施方式中，所述密封盖的外端焊接固定有提手。

6、在一优选的实施方式中，所述密封盖与连接法兰之间过盈安装有耐高温密封圈。

7、在一优选的实施方式中，所述蒸发管的内壁喷涂有特氟龙涂层。

8、综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

9、1、本实用新型中，通过蒸发管一侧的螺旋加热管对蒸发管内放置的粉材进行加热，由于螺旋加热管是均匀环绕在蒸发管的外端的，使得能够实现对粉材快速的气化，而且气化更加均匀，防止内部出现积粉的现象。

10、2、本实用新型中，通过真空腔起到隔热和保温的作用，而且在密封盖内增加了隔热的真空腔，使得在拆卸密封盖向内部进行加料时，不容易出现烫伤的现象。

技术特征：

1.一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构，包括蒸发管(6)，其特征在于：所述蒸发管(6)靠近端口一侧外周面均匀环绕贴合有螺旋加热管(8)；

2.如权利要求1所述的一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构，其特征在于：所述密封盖(4)的外端焊接固定有提手(2)。

3.如权利要求1所述的一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构，其特征在于：所述密封盖(4)与连接法兰(5)之间过盈安装有耐高温密封圈。

4.如权利要求1所述的一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构，其特征在于：所述蒸发管(6)的内壁喷涂有特氟龙涂层。

技术总结
本技术公开了一种真空设备蒸发管管道口防阻塞结构，包括蒸发管，所述蒸发管靠近端口一侧外周面均匀环绕贴合有螺旋加热管，所述蒸发管的端口处焊接固定有连接法兰，所述连接法兰的一端通过多个固定螺栓固定连接有密封盖，所述螺旋加热管的外周面设置有隔热盖。本装置在使用时，通过蒸发管一侧的螺旋加热管对蒸发管内放置的粉材进行加热，由于螺旋加热管是均匀环绕在蒸发管的外端的，使得能够实现对粉材快速的气化，而且气化更加均匀，防止内部出现积粉的现象，在隔热盖和密封盖的夹层内均设置有真空腔，通过真空腔起到隔热和保温的作用，而且在密封盖内增加了隔热的真空腔，使得在拆卸密封盖向内部进行加料时，不容易出现烫伤的现象。

技术研发人员：江成龙
受保护的技术使用者：聚能纳米科技（苏州）有限公司
技术研发日：20230524
技术公布日：2024/1/15