一种真空镀膜用供气装置的制作方法

本技术涉及一种真空镀膜用供气装置，具体涉及一种便于对不同规格的供气瓶进行使用的真空镀膜用供气装置。

背景技术：

1、真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，真空镀膜工艺中，供气系统连接靶材提供氧气、氩气的混合气体，通过永磁铁轰击和阴极激励等方式，使涂覆材料微粒子运动而附着在玻璃上。目前行业内普遍使用的供气装置采用单个气瓶供气，当气体耗尽或气体压力低于供气标准时，就需要人工更换气瓶，更换过程中会影响整个镀膜的稳定性。

2、如公开号为cn212451605u的专利一种真空镀膜设备的供气装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有套筒。该真空镀膜设备的供气装置，通过四个供气瓶共同供气，相比单个气瓶供气，四个供气瓶将供气时间延长三至四倍，由四个分支气阀统一管理，当其中一个或两个供气瓶没有气或者气压不足时，仅需开启其他分支气阀，让其补充气压，从而保证供气的稳定性，以此避免镀膜时不均匀的问题，此外，换气的时候，先旋转内胆，将没有气的供气瓶转到最低处，然后将连接头与接气管拧动分离，之后将弹簧锁扣打开，接着把封盖拿开，最后将没有气的供气瓶抽出并替换，然后盖上封盖即可，整个换气步骤十分省力，且换气简单。

3、上述方案在使用过程中，虽然便于对没气的供气瓶进行更换，但在对单个供气瓶进行更换时，则会影响到其它供气瓶的固定稳定性，进而可能发生其它供气瓶掉落造成人员受伤的问题；同时也不便于对不同规格的供气瓶进行使用，存在使用上的局限性。

4、因此，有必要提出一种真空镀膜用供气装置解决上述技术问题。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本实用新型提供了一种真空镀膜用供气装置，本实用新型是通过以下技术方案来实现的。

2、一种真空镀膜用供气装置，包括供气瓶、底座、定位件和固定架，所述底座的顶部沿长度方向均匀开设有三组放置槽，底座的顶部后侧固定连接有竖板，所述定位件固定连接在竖板的前侧底部，并位于各放置槽的正上方，所述固定架活动安装在对应的定位件前侧，所述供气瓶活动安装在对应的定位件与固定架之间，且供气瓶的底部搭接在对应的放置槽内，所述竖板的前侧顶部通过支杆固定连接有总气管，且总气管的顶部固定连通有供气管，各所述供气瓶的出气端均通过连接头螺纹连接有分气管，且分气管的自由端与总气管的底部固定连通，所述分气管上设有阀门。

3、优选的，所述放置槽内的底部固定连接有弹性缓冲垫。

4、优选的，所述定位件的前侧两端均固定连接有t型卡块，所述固定架的后侧两端均开设有与对应t型卡块卡合的卡槽，且卡槽贯穿到固定架的底部。

5、优选的，所述固定架的前侧螺纹连接有螺杆，且螺杆的后侧端贯穿到固定架内并转动连接有固定块，且固定块的左右两侧与固定架的内侧壁滑动连接。

6、优选的，所述固定块的后侧壁上开设有弧形槽，所述螺杆的前侧端固定连接有手轮。

7、优选的，所述定位件的顶部固定连接有l型杆，且l型杆的顶部前侧固定连接有弧形板，所述弧形板的前侧一端固定连接有弹性绳，且弹性绳的自由端开设有挂孔，所述弧形板的另一端外壁上固定连接有与对应挂孔相适配的挂杆。

8、本实用新型的有益效果是：

9、(1)本真空镀膜用供气装置，当其中一个供气瓶没气时，可转动对应的手轮带动螺杆转动，从而使固定块远离对应的供气瓶，之后拿起对应的固定架向上运动，从而完成固定架与定位件的分离，进而便于对没气的供气瓶进行更换，从而避免了在更换其中一个供气瓶会影响到其它供气瓶的固定稳定性，进而避免了可能发生其它供气瓶掉落造成人员受伤的问题；同时通过设置的螺杆、固定块和固定架与定位件配合便于本装置对不同规格的供气瓶进行使用，具有较大的使用范围，使用效果更好。

10、(2)本真空镀膜用供气装置，通过在定位件上设置的l型杆、弧形板和弹性绳，在进行更换供气瓶并进行安装与拆卸固定架时，便于对供气瓶起到辅助固定的作用，从而在更换供气瓶时更加的安全。

11、(3)本真空镀膜用供气装置，通过在放置槽内的底部设置的弹性缓冲垫便于在放置供气瓶时起到一定的缓冲作用，从而增加对供气瓶的保护作用。

技术特征：

1.一种真空镀膜用供气装置，包括供气瓶(1)，其特征在于：还包括底座(2)、定位件(3)和固定架(4)，所述底座(2)的顶部沿长度方向均匀开设有三组放置槽(21)，底座(2)的顶部后侧固定连接有竖板(22)，所述定位件(3)固定连接在竖板(22)的前侧底部，并位于各放置槽(21)的正上方，所述固定架(4)活动安装在对应的定位件(3)前侧，所述供气瓶(1)活动安装在对应的定位件(3)与固定架(4)之间，且供气瓶(1)的底部搭接在对应的放置槽(21)内，所述竖板(22)的前侧顶部通过支杆(23)固定连接有总气管(24)，且总气管(24)的顶部固定连通有供气管(25)，各所述供气瓶(1)的出气端均通过连接头(11)螺纹连接有分气管(26)，且分气管(26)的自由端与总气管(24)的底部固定连通，所述分气管(26)上设有阀门(27)。

2.根据权利要求1所述一种真空镀膜用供气装置，其特征在于：所述放置槽(21)内的底部固定连接有弹性缓冲垫(28)。

3.根据权利要求1所述一种真空镀膜用供气装置，其特征在于：所述定位件(3)的前侧两端均固定连接有t型卡块(31)，所述固定架(4)的后侧两端均开设有与对应t型卡块(31)卡合的卡槽(41)，且卡槽(41)贯穿到固定架(4)的底部。

4.根据权利要求1所述一种真空镀膜用供气装置，其特征在于：所述固定架(4)的前侧螺纹连接有螺杆(42)，且螺杆(42)的后侧端贯穿到固定架(4)内并转动连接有固定块(43)，且固定块(43)的左右两侧与固定架(4)的内侧壁滑动连接。

5.根据权利要求4所述一种真空镀膜用供气装置，其特征在于：所述固定块(43)的后侧壁上开设有弧形槽(44)，所述螺杆(42)的前侧端固定连接有手轮(45)。

6.根据权利要求3所述一种真空镀膜用供气装置，其特征在于：所述定位件(3)的顶部固定连接有l型杆(32)，且l型杆(32)的顶部前侧固定连接有弧形板(33)，所述弧形板(33)的前侧一端固定连接有弹性绳(34)，且弹性绳(34)的自由端开设有挂孔，所述弧形板(33)的另一端外壁上固定连接有与对应挂孔相适配的挂杆(35)。

技术总结
本技术公布了一种真空镀膜用供气装置，包括供气瓶、底座、定位件和固定架，底座的顶部沿长度方向均匀开设有三组放置槽，底座的顶部后侧固定连接有竖板，定位件固定连接在竖板的前侧底部，并位于各放置槽的正上方，固定架活动安装在对应的定位件前侧，供气瓶活动安装在对应的定位件与固定架之间，且供气瓶的底部搭接在对应的放置槽内；本技术的有益效果是，避免了在更换其中一个供气瓶会影响到其它供气瓶的固定稳定性，进而避免了可能发生其它供气瓶掉落造成人员受伤的问题；同时通过设置的螺杆、固定块和固定架与定位件配合便于本装置对不同规格的供气瓶进行使用，具有较大的使用范围，使用效果更好。

技术研发人员：王法营,叶顶华,孙萌
受保护的技术使用者：杭州豫荣真空镀膜设备有限公司
技术研发日：20230601
技术公布日：2024/1/15