一种真空蒸镀装置的制作方法

本技术涉及真空镀膜，具体的是涉及一种真空蒸镀装置。

背景技术：

1、真空蒸镀是一种在薄膜表面沉积金属的生产工艺，其主要原理为：将待蒸镀的材料送入蒸发坩埚中，在蒸发坩埚中对待蒸镀材料进行加热蒸发，蒸发的蒸镀材料在真空条件下，以原子或者原子团的形式向上沉积到从蒸发坩埚上方经过的薄膜的表面上，从而在薄膜的表面上形成一层镀层。

2、现有的蒸镀装置在进行蒸镀的过程中，其通常是通过送料机构将金属蒸镀材料不断地送入蒸发坩埚内进行加热蒸发，由于金属蒸镀材料的进料速度不稳定，容易导致蒸发坩埚内融化的金属液的温度发生剧烈波动，从而导致蒸发速率产生波动，蒸发速率的不一致往往会导致薄膜的表面上形成的镀层厚度的不一致。并且，金属蒸镀材料中往往存在部分杂质，直接将金属蒸镀材料送入到蒸发坩埚内进行加热蒸发，金属蒸镀材料中的杂质也可能会沉积到薄膜的表面上。

3、因此，亟需一种真空蒸镀装置来解决上述的技术问题。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种真空蒸镀装置，可保证镀层厚度的一致性，且可减少沉积到薄膜表面上的杂质，提高了镀膜产品的质量。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种真空蒸镀装置，包括依次设置的进料机构、预热机构和蒸发机构，所述预热机构包括预热坩埚和预热加热模块，所述预热坩埚与所述进料机构连接，所述蒸发机构包括蒸发坩埚和蒸发加热模块，所述蒸发坩埚和预热坩埚通过出料通道连通，所述进料机构用于将金属蒸镀材料输送到所述预热坩埚内，所述预热加热模块用于对所述预热坩埚加热，所述蒸发加热模块用于对所述蒸发坩埚加热。

4、作为优选的技术方案，所述进料机构包括进料通道、加料仓和驱动件，所述加料仓的底端与所述进料通道连通，所述进料通道的一端设有所述驱动件，另一端与所述预热坩埚连通，所述进料通道内设有螺旋输送杆，所述螺旋输送杆的长度方向与所述进料通道的长度方向相同，所述螺旋输送杆的一端与所述驱动件连接，所述驱动件用于驱动所述螺旋输送杆在所述进料通道内转动。

5、作为优选的技术方案，所述进料通道包括第一部分和第二部分，所述加料仓的底端与所述第一部分连通，所述第一部分内设有所述螺旋输送杆，所述第一部分的一端设有所述驱动件，另一端伸入到所述预热坩埚内并连接有所述第二部分，所述第二部分的远离所述第一部分的一端与所述预热坩埚内的底部相靠近，所述第二部分分别与所述第一部分、预热坩埚连通。

6、作为优选的技术方案，所述出料通道位于所述蒸发坩埚和预热坩埚相靠近的一侧之间，所述出料通道与所述预热坩埚的底端之间的距离大于所述预热坩埚的高度的一半。

7、作为优选的技术方案，所述蒸发坩埚的蒸发口的一侧沿靠近所述蒸发口的方向依次设置有电子枪和两个呈上下平行设置的扫描线圈，所述两个扫描线圈之间具有空间，所述电子枪的输出端与所述空间相对。

8、作为优选的技术方案，所述蒸发坩埚的上方设有电极板，所述电极板和蒸发坩埚分别与电源的负极、正极连接。

9、作为优选的技术方案，所述蒸发坩埚为收口坩埚。

10、作为优选的技术方案，所述金属蒸镀材料为金属丝、金属粉末或金属颗粒。

11、作为优选的技术方案，所述预热加热模块和蒸发加热模块均包括多个加热丝，所述预热加热模块的多个加热丝设置在所述预热坩埚的四侧外壁以及底端上，所述蒸发加热模块的多个加热丝设置在所述蒸发坩埚的四侧外壁以及底端上。

12、作为优选的技术方案，所述预热加热模块为所述预热坩埚外接的预热电压，所述蒸发加热模块为所述蒸发坩埚外接的蒸发电压。

13、本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置的预热机构，通过调节预热加热模块对预热坩埚内的金属蒸镀材料进行加热的温度，从而可使得进入到蒸发坩埚内的熔融金属液的温度是稳定的，这样可避免因蒸发坩埚直接进料而导致蒸发坩埚内的熔融金属液的温度的剧烈波动，保证了蒸发速率的一致性，从而保证了镀层厚度的一致性。同时由于对金属蒸镀材料进行加热的温度低于对熔融金属液进行加热蒸发的温度，金属蒸镀材料中的高沸点杂质不会融化并会沉积在预热坩埚内的底部，从而可减少沉积到薄膜表面上的杂质，提高了镀膜产品的质量。

技术特征：

1.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括依次设置的进料机构、预热机构和蒸发机构，所述预热机构包括预热坩埚和预热加热模块，所述预热坩埚与所述进料机构连接，所述蒸发机构包括蒸发坩埚和蒸发加热模块，所述蒸发坩埚和预热坩埚通过出料通道连通，所述进料机构用于将金属蒸镀材料输送到所述预热坩埚内，所述预热加热模块用于对所述预热坩埚加热，所述蒸发加热模块用于对所述蒸发坩埚加热。

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述进料机构包括进料通道、加料仓和驱动件，所述加料仓的底端与所述进料通道连通，所述进料通道的一端设有所述驱动件，另一端与所述预热坩埚连通，所述进料通道内设有螺旋输送杆，所述螺旋输送杆的长度方向与所述进料通道的长度方向相同，所述螺旋输送杆的一端与所述驱动件连接，所述驱动件用于驱动所述螺旋输送杆在所述进料通道内转动。

3.根据权利要求2所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述进料通道包括第一部分和第二部分，所述加料仓的底端与所述第一部分连通，所述第一部分内设有所述螺旋输送杆，所述第一部分的一端设有所述驱动件，另一端伸入到所述预热坩埚内并连接有所述第二部分，所述第二部分的远离所述第一部分的一端与所述预热坩埚内的底部相靠近，所述第二部分分别与所述第一部分、预热坩埚连通。

4.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述出料通道位于所述蒸发坩埚和预热坩埚相靠近的一侧之间，所述出料通道与所述预热坩埚的底端之间的距离大于所述预热坩埚的高度的一半。

5.根据权利要求1-4中任一项权利要求所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述蒸发坩埚的蒸发口的一侧沿靠近所述蒸发口的方向依次设置有电子枪和两个呈上下平行设置的扫描线圈，所述两个扫描线圈之间具有空间，所述电子枪的输出端与所述空间相对。

6.根据权利要求5所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述蒸发坩埚的上方设有电极板，所述电极板和蒸发坩埚分别与电源的负极、正极连接。

7.根据权利要求5所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述蒸发坩埚为收口坩埚。

8.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述金属蒸镀材料为金属丝、金属粉末或金属颗粒。

9.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述预热加热模块和蒸发加热模块均包括多个加热丝，所述预热加热模块的多个加热丝设置在所述预热坩埚的四侧外壁以及底端上，所述蒸发加热模块的多个加热丝设置在所述蒸发坩埚的四侧外壁以及底端上。

10.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述预热加热模块为所述预热坩埚外接的预热电压，所述蒸发加热模块为所述蒸发坩埚外接的蒸发电压。

技术总结
本技术公开了一种真空蒸镀装置，包括依次设置的进料机构、预热机构和蒸发机构，所述预热机构包括预热坩埚和预热加热模块，所述预热坩埚与所述进料机构连接，所述蒸发机构包括蒸发坩埚和蒸发加热模块，所述蒸发坩埚和预热坩埚通过出料通道连通，所述进料机构用于将金属蒸镀材料输送到所述预热坩埚内，所述预热加热模块用于对所述预热坩埚加热，所述蒸发加热模块用于对所述蒸发坩埚加热。本技术可保证镀层厚度的一致性，且可提高镀膜产品的质量。

技术研发人员：臧世伟,刘文卿
受保护的技术使用者：重庆金美新材料科技有限公司
技术研发日：20230602
技术公布日：2024/1/14