一种热蒸发机构的制作方法

本技术涉及真空镀膜机领域，具体为一种热蒸发机构。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，电子枪加热利用电子束轰击物料产生的热能对物料进行电加热的方法，电子枪加热通常在真空中进行，阴极接负的高电位，阳极接地，聚束极通常与阴极同电位或更低，阴、阳极间形成加速电场。

2、目前，真空镀膜机上电子枪在长时间使用的过程中，灯丝为易消耗品，在更换电子枪内部的灯丝时，通常是利用螺栓对灯丝进行压紧，并完成灯丝的安装，由于频繁的拆卸螺栓，容易导致螺纹滑丝，并且螺纹孔开设在连接发射体上，不利于灯丝的安装，影响灯丝的安装稳定性。

技术实现思路

1、基于此，本实用新型的目的是提供一种热蒸发机构，以解决频繁的拆卸螺栓，容易导致螺纹滑丝，并且螺纹孔开设在连接发射体上，不利于灯丝的安装，影响灯丝安装稳定性的技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种热蒸发机构，包括电子枪外壳，所述电子枪外壳的内部设置有底座和连接发射体，所述连接发射体的前表面开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有灯丝，所述连接发射体的前表面设置有盖板，所述盖板的后表面设置有压紧机构，所述压紧机构包括套筒，所述套筒的内部螺纹连接有螺柱，所述套筒的两侧开设有通孔，所述通孔的内部设置有挤压块。

3、通过采用上述技术方案，当需要安装灯丝时，首先，将灯丝放置在安装槽的内部，之后通过螺栓将盖板与连接发射体进行固定连接，之后，旋转螺柱，使螺柱在套筒内进行螺纹旋转，随着螺柱逐渐的转动，使锥型块的外表面与安装块的内壁相贴合，随着螺柱的推进，利用锥型块推动安装块向外扩张，使挤压块与灯丝之间压紧，有利于进一步增强对灯丝的安装稳定性。

4、进一步的，所述挤压块设置有两个，两个所述挤压块沿套筒的纵向中心线呈镜像设置，所述挤压块与灯丝相抵。

5、通过采用上述技术方案，通过设置两个挤压块，利用锥型块推动安装块向外扩张，使挤压块与灯丝之间压紧。

6、进一步的，所述螺柱靠近套筒的一端设置有锥型块，两个所述挤压块之间设置有安装块，两个所述安装块的内侧壁与锥型块的外表面相贴合。

7、通过采用上述技术方案，通过设置锥型块，有利于通过旋转螺柱使两个挤压块向外扩张。

8、进一步的，所述盖板与套筒固定连接，所述盖板通过螺栓与连接发射体固定连接。

9、通过采用上述技术方案，通过将盖板与套筒固定连接，有利于固定两个挤压块的位置，使挤压块与灯丝对齐。

10、进一步的，所述连接发射体通过螺栓与底座呈固定连接，所述底座的内部通过螺栓固定连接有绝缘块，所述绝缘块为陶瓷材质构成。

11、通过采用上述技术方案，通过设置绝缘块，有利于阻隔灯丝产生的热量。

12、进一步的，所述电子枪外壳的顶部通过螺栓螺纹连接有电子枪防护板，所述电子枪防护板的底面与连接发射体的表面相贴合。

13、通过采用上述技术方案，通过电子枪防护板的设置，有利于提高热蒸发机构对连接发射体及灯丝的防护性。

14、进一步的，所述电子枪防护板的顶部通过螺栓螺纹连接有电子枪顶部盖板。

15、通过采用上述技术方案，利用螺栓将电子枪顶部盖板固定在电子枪外壳的顶部，有利于提高热蒸发机构的防护性。

16、综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：

17、1、本实用新型通过螺柱、锥型块、套筒和挤压块，当需要安装灯丝时，首先，将灯丝放置在安装槽的内部，之后通过螺栓将盖板与连接发射体进行固定连接，之后，旋转螺柱，使螺柱在套筒内进行螺纹旋转，随着螺柱逐渐的转动，使锥型块的外表面与安装块的内壁相贴合，随着螺柱的推进，利用锥型块推动安装块向外扩张，使挤压块与灯丝之间压紧，有利于进一步增强对灯丝的安装稳定性；

18、2、本实用新型通过设置电子枪防护板和电子枪顶部盖板，当对灯丝完成安装后，首先，通过螺栓对连接发射体与底座进行固定，然后，将连接发射体与底座放置在电子枪外壳的内部，接着，利用螺栓将电子枪防护板固定在连接发射体的顶部，并限制连接发射体的移动，然后，利用螺栓将电子枪顶部盖板固定在电子枪外壳的顶部，有利于提高热蒸发机构对连接发射体的防护性，提高热蒸发机构的实用性。

技术特征：

1.一种热蒸发机构，包括电子枪外壳(1)，其特征在于：所述电子枪外壳(1)的内部设置有底座(4)和连接发射体(5)，所述连接发射体(5)的前表面开设有安装槽(8)，所述安装槽(8)的内部设置有灯丝(9)，所述连接发射体(5)的前表面设置有盖板(6)，所述盖板(6)的后表面设置有压紧机构(7)，所述压紧机构(7)包括套筒(703)，所述套筒(703)的内部螺纹连接有螺柱(701)，所述套筒(703)的两侧开设有通孔(706)，所述通孔(706)的内部设置有挤压块(704)。

2.根据权利要求1所述的热蒸发机构，其特征在于：所述挤压块(704)设置有两个，两个所述挤压块(704)沿套筒(703)的纵向中心线呈镜像设置，所述挤压块(704)与灯丝(9)相抵。

3.根据权利要求1所述的热蒸发机构，其特征在于：所述螺柱(701)靠近套筒(703)的一端设置有锥型块(702)，两个所述挤压块(704)之间设置有安装块(705)，两个所述安装块(705)的内侧壁与锥型块(702)的外表面相贴合。

4.根据权利要求1所述的热蒸发机构，其特征在于：所述盖板(6)与套筒(703)固定连接，所述盖板(6)通过螺栓(10)与连接发射体(5)固定连接。

5.根据权利要求1所述的热蒸发机构，其特征在于：所述连接发射体(5)通过螺栓(10)与底座(4)呈固定连接，所述底座(4)的内部通过螺栓(10)固定连接有绝缘块(11)，所述绝缘块(11)为陶瓷材质构成。

6.根据权利要求1所述的热蒸发机构，其特征在于：所述电子枪外壳(1)的顶部通过螺栓(10)螺纹连接有电子枪防护板(2)，所述电子枪防护板(2)的底面与连接发射体(5)的表面相贴合。

7.根据权利要求6所述的热蒸发机构，其特征在于：所述电子枪防护板(2)的顶部通过螺栓(10)螺纹连接有电子枪顶部盖板(3)。

技术总结
本技术公开了一种热蒸发机构，涉及真空镀膜机领域。本技术包括电子枪外壳，所述电子枪外壳的内部设置有底座和连接发射体，所述连接发射体的前表面开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有灯丝，所述压紧机构包括套筒，所述套筒的两侧设置有挤压块，本技术通过螺柱、锥型块、套筒和挤压块，首先，将灯丝放置在安装槽的内部，之后通过螺栓将盖板与连接发射体进行固定连接，之后，旋转螺柱，使螺柱在套筒内进行螺纹旋转，随着螺柱逐渐的转动，使锥型块的外表面与安装块的内壁相贴合，随着螺柱的推进，利用锥型块推动安装块向外扩张，使挤压块与灯丝之间压紧，有利于进一步增强对灯丝的安装稳定性。

技术研发人员：李英魁
受保护的技术使用者：四会市华源真空设备有限公司
技术研发日：20230606
技术公布日：2024/1/15