一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具的制作方法

本技术涉及半导体防护罩产品加工的，尤其涉及一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具。

背景技术：

1、在采用pvd(物理气相沉积)制成侧面多孔型防护罩产品时，半导体pvd制成使用过程中，产品仅部件内部沉积工艺产物，部件侧面孔内壁及部件外部需保持一定的光洁度，避免影响部件工艺使用以及与腔室之间的装配。

2、现在均是采用熔射保护胶布对部件孔侧面的内壁及外部进行遮蔽，易出现胶布保护边缘不齐导致熔射范围超出，保护区域有残胶等问题。

技术实现思路

1、本实用新型旨在解决现有技术的不足，而提供一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具。

2、本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：

3、一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，包括橡胶带和若干个治具本体，橡胶带上中间位置均匀开设有若干安装孔，治具本体包括插接保护圆块，插接保护圆块一端面中心位置设有安装柱，治具本体的安装柱插接在橡胶带的其中一个安装孔内，橡胶带绕设在防护罩产品的侧面孔外壁上且插接保护圆块插接在防护罩产品对应的侧面孔内部。

4、安装柱端部设有扩径圆台座，扩径圆台座端部设有锥形头。

5、本实用新型的有益效果是：本实用新型的熔射保护治具，采用橡胶与不锈钢组合材质，与防护罩产品的侧孔内壁以及部件外部贴合紧密，遮蔽精度高，安装方便，可反复使用，且治具本体可根据不同产品进行更换，适配多种部件不同孔径及深度情况。

技术特征：

1.一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，其特征在于，包括橡胶带(1)和若干个治具本体(2)，橡胶带(1)上中间位置均匀开设有若干安装孔(3)，治具本体(2)包括插接保护圆块(21)，插接保护圆块(21)一端面中心位置设有安装柱(22)，治具本体(2)的安装柱(22)插接在橡胶带(1)的其中一个安装孔(3)内，橡胶带(1)绕设在防护罩产品(4)的侧面孔外壁上且插接保护圆块(21)插接在防护罩产品(4)对应的侧面孔内部。

2.根据权利要求1所述的一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，其特征在于，安装柱(22)端部设有扩径圆台座(23)，扩径圆台座(23)端部设有锥形头(24)。

3.根据权利要求2所述的一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，其特征在于，插接保护圆块(21)的直径与防护罩产品(4)的侧面孔的内径一致。

4.根据权利要求3所述的一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，其特征在于，橡胶带(1)的长度大于防护罩产品(4)外侧壁的周长。

5.根据权利要求4所述的一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，其特征在于，橡胶带(1)的厚度为3mm。

6.根据权利要求5所述的一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，其特征在于，安装孔(3)的直径为2mm，相邻两个安装孔(3)的距离为10mm。

7.根据权利要求6所述的一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，其特征在于，安装柱(22)的直径为2mm，长度为3mm。

技术总结
本技术是一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，包括橡胶带和若干个治具本体，橡胶带上中间位置均匀开设有若干安装孔，治具本体包括插接保护圆块，插接保护圆块一端面中心位置设有安装柱，治具本体的安装柱插接在橡胶带的其中一个安装孔内，橡胶带绕设在防护罩产品的侧面孔外壁上且插接保护圆块插接在防护罩产品对应的侧面孔内部。安装柱端部设有扩径圆台座，扩径圆台座端部设有锥形头。本技术的熔射保护治具，采用橡胶与不锈钢组合材质，与防护罩产品的侧孔内壁以及部件外部贴合紧密，遮蔽精度高，安装方便，可反复使用，且治具本体可根据不同产品进行更换，适配多种部件不同孔径及深度情况。

技术研发人员：穆帅帅,贺凯
受保护的技术使用者：富乐德科技发展（天津）有限公司
技术研发日：20230608
技术公布日：2024/1/15