一种多工位金刚石衬底抛光装置

文档序号:36349494发布日期:2023-12-14 01:00阅读:117来源:国知局
技术简介:
本专利针对传统金刚石衬底抛光装置存在加工效率低、磨头无法转动导致加工轨迹无法优化的问题,提出多工位同步抛光方案。通过在磨盘圆周方向阵列分布多个进给机构,每个机构配备可转动磨头及同步控制模块,实现多片金刚石片同步打磨,提升加工效率并优化轨迹。同时配置厚度监测与废料收集系统,确保加工精度与稳定性。
关键词:多工位金刚石抛光,表面精度优化

本技术涉及精密加工,具体而言,涉及一种多工位金刚石衬底抛光装置。


背景技术:

1、金刚石是一种优秀的工程材料,因具有高硬度、稳定性、热导率、弹性模量、电阻、透光波长范围广、摩擦系数低等优良性质被广泛应用。如提高聚变反应有效温度的兆瓦级应用、现代机床加工、手术刀、抛光工具等。随着工业应用对金刚石的尺寸、表面精度和表面质量的要求不断提高,对抛光技术也提出了更高的要求。现有单片金刚石片加工效率低,难以满足市场需求,此外,现有的金刚石衬底抛光装置的磨头无法转动,无法进行加工轨迹的优化,不利于提高表面精度。


技术实现思路

1、本实用新型公开了一种多工位金刚石衬底抛光装置,旨在改善现有的金刚石衬底抛光装置加工效率低,无法优化加工轨迹的问题。

2、本实用新型采用了如下方案:

3、一种多工位金刚石衬底抛光装置,包括底座,以及配置在所述底座上的主轴机构和多个进给机构;所述主轴机构包括磨盘以及用以驱使所述磨盘转动的第一驱动件;所述进给机构包括机架、磨头、第二驱动件以及第三驱动件,所述第二驱动件用以驱使所述机架沿垂直方向移动,所述第三驱动件配置在所述机架上,用以与所述磨头适配连接,并可驱使所述磨头转动;所述磨头朝向所述磨盘的面贴有多片待加工的金刚石片;

4、其中,各驱动件均与控制件相电连接,各所述进给机构沿所述磨盘的圆周方向阵列分布,所述抛光装置被构造成通过所述控制件驱使所述主轴机构和进给机构配合作业,以使各磨头上的待加工金刚石片同步在所述磨盘上打磨加工。

5、作为进一步改进,所述底座上配置有用以检测磨盘消耗量的厚度测量仪。

6、作为进一步改进,沿所述底座的中心贯穿设有安装槽,所述安装槽内装设有集料桶,所述集料桶的底部设有废料出口,所述磨盘装设于所述集料桶的顶部,并外露于所述底座。

7、作为进一步改进,所述第一驱动件配置在所述集料桶内包括一号电机,所述一号电机转轴通过连接件与所述磨盘连接。

8、作为进一步改进,所述第二驱动件包括二号电机、滚珠丝杆以及用以连接两者的联轴器,所述滚珠丝杆上套设有移动块,所述移动块用以与机架的装配部连接,从而在所述二号电机驱使所述滚珠丝杆转动时,带动所述机架上下移动。

9、作为进一步改进,所述机架的两侧均配置有装配部,沿所述机架的中心对称配置有两个第二驱动件。

10、作为进一步改进,所述第三驱动件包括三号电机和齿轮箱,所述齿轮箱内配置有压力传感器。

11、作为进一步改进,所述磨头其一端套设在所述齿轮箱的输出轴上,另一端贴有多个待加工的金刚石片。

12、作为进一步改进,所述进给机构上配置有水管,所述水管的出口经由固定器限位以正对所述磨盘。

13、通过采用上述技术方案,本实用新型可以取得以下技术效果:

14、1.通过在磨盘的圆周方向上阵列设置多个磨头的进给机构,且各磨头上均贴有多个待加工的金刚石片,经由控制件驱使以使各待加工金刚石片同步在磨盘上打磨加工,从而提高抛光装置的加工效率。此外,第三驱动件可驱使磨头转动,即在磨盘的打磨的过程中,磨头通过转动能够优化加工轨迹,以提高打磨面的加工质量和精度。

15、2.设置厚度测量仪以实时监控磨盘的消耗情况,以确保打磨精度。

16、3.机架两侧对称配置有第二驱动件,能够提高输出轴刚度实现高压加工,从而确保移动平稳。



技术特征:

1.一种多工位金刚石衬底抛光装置,其特征在于,包括底座,以及配置在所述底座上的主轴机构和多个进给机构;所述主轴机构包括磨盘以及用以驱使所述磨盘转动的第一驱动件;所述进给机构包括机架、磨头、第二驱动件以及第三驱动件,所述第二驱动件用以驱使所述机架沿垂直方向移动,所述第三驱动件配置在所述机架上,用以与所述磨头适配连接,并可驱使所述磨头转动;所述磨头朝向所述磨盘的面贴有多片待加工的金刚石片;

2.根据权利要求1所述的多工位金刚石衬底抛光装置,其特征在于,所述底座上配置有用以检测磨盘消耗量的厚度测量仪。

3.根据权利要求1所述多工位金刚石衬底抛光装置,其特征在于,沿所述底座的中心贯穿设有安装槽,所述安装槽内装设有集料桶,所述集料桶的底部设有废料出口,所述磨盘装设于所述集料桶的顶部,并外露于所述底座。

4.根据权利要求3所述的多工位金刚石衬底抛光装置,其特征在于,所述第一驱动件配置在所述集料桶内包括一号电机,所述一号电机转轴通过连接件与所述磨盘连接。

5.根据权利要求2所述的多工位金刚石衬底抛光装置,其特征在于,所述第二驱动件包括二号电机、滚珠丝杆以及用以连接两者的联轴器,所述滚珠丝杆上套设有移动块,所述移动块用以与机架的装配部连接,从而在所述二号电机驱使所述滚珠丝杆转动时,带动所述机架上下移动。

6.根据权利要求4所述的多工位金刚石衬底抛光装置,其特征在于,所述机架的两侧均配置有装配部,沿所述机架的中心对称配置有两个第二驱动件。

7.根据权利要求4所述的多工位金刚石衬底抛光装置,其特征在于,所述第三驱动件包括三号电机和齿轮箱,所述齿轮箱内配置有压力传感器。

8.根据权利要求7所述的多工位金刚石衬底抛光装置,其特征在于,所述磨头其一端套设在所述齿轮箱的输出轴上,另一端贴有多个待加工的金刚石片。

9.根据权利要求1所述的多工位金刚石衬底抛光装置,其特征在于,所述进给机构上配置有水管,所述水管的出口经由固定器限位以正对所述磨盘。


技术总结
本技术提供了一种多工位金刚石衬底抛光装置,涉及精密加工技术领域,包括底座,以及配置在底座上的主轴机构和多个进给机构;主轴机构包括磨盘以及用以驱使磨盘转动的第一驱动件;进给机构包括机架、磨头、第二驱动件以及第三驱动件,第二驱动件用以驱使机架沿垂直方向移动,第三驱动件配置在机架上,用以与磨头适配连接,并可驱使磨头转动;磨头朝向磨盘的面贴有多片待加工的金刚石片;其中,各驱动件均与控制件相电连接,各进给机构沿磨盘的圆周方向阵列分布,抛光装置被构造成通过控制件驱使主轴机构和进给机构配合作业,以使各磨头上的待加工金刚石片同步在磨盘上打磨加工,从而提升加工效率,优化加工轨迹。

技术研发人员:辛永康,陆静,王嘉炜,陈凯,柯聪明
受保护的技术使用者:华侨大学
技术研发日:20230614
技术公布日:2024/1/15
网友询问留言 留言:0条
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!