一种靶材环形卡扣保护罩结构以及磁控溅射真空镀膜设备的制作方法

本技术涉及薄膜制备，更具体的说，本技术涉及一种靶材环形卡扣保护罩结构以及磁控溅射真空镀膜设备。

背景技术：

1、目前柔性导电材料在电子、屏蔽、电容、汽车、新能源、航天行业得到广泛应用，磁控溅射拥有镀层纯度、致密性、均匀性、牢固度更好的优点。

2、但是，现有生产工艺中，由于靶材轴头不会转动，护罩也不会转动，这样的话，当磁控溅射时，因为护罩不会转动，那护罩朝向溅射腔体内的一个固定的地方，会始终被溅射金属，并且金属层会越来越多，越来越厚，最终导致金属层将第一绝缘环部分覆盖，使护罩与轴头导通，进而导致阴极靶材与阳极腔板导通，导致短路、膜面孔洞。

3、因此需要一种新的方案，来解决此问题。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种靶材环形卡扣保护罩结构以及磁控溅射真空镀膜设备。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种靶材环形卡扣保护罩结构，其改进之处在于：包括安装轴、两个轴头和两个保护模块，靶材套设于安装轴上，轴头设于安装轴的左右两端，两个保护模块分别设于安装轴的两端，保护模块包括卡扣、护罩、第一绝缘环和第一轴承，两个卡扣套设于安装轴上，分别对靶材的左右进行限位，使靶材在安装轴上的位置固定；

3、两个第一绝缘环分别套设于两个轴头上，护罩固定于卡扣上，对卡扣、第一绝缘环和第一轴承进行覆盖，第一轴承设于第一绝缘环和护罩之间，使护罩和第一绝缘环相对转动。

4、在上述结构中，所述的护罩向远离安装轴的方向延伸，使护罩可以覆盖轴头。

5、在上述结构中，所述的护罩的远安装轴的端部的内径，由近安装轴至远安装轴的方向逐渐增大，形成喇叭口，护罩的远安装轴的端部的内部形成斜边。

6、在上述结构中，所述的轴头与安装轴之间设有第二轴承，使安装轴和轴头相对转动。

7、在上述结构中，所述的轴头通过卡环固定于真空腔体的腔板上，卡环形成对轴头的支撑。

8、在上述结构中，所述的轴头与第二轴承之间，设有第二绝缘环。

9、在上述结构中，所述的安装轴的一端安装有驱动机构，该驱动机构驱动安装轴转动。

10、在上述结构中，所述的卡扣包括两个拼接连接的半圆环的卡扣部。

11、在上述结构中，所述的护罩包括两个拼接连接的半圆环的护罩部。

12、本实用新型还提供了一种磁控溅射真空镀膜设备，包括所述的靶材环形卡扣保护罩结构，该靶材环形卡扣保护罩结构设于真空腔体内。

13、本实用新型的有益效果是：使护罩和第一绝缘环可以相对转动，实现了溅射镀膜过程中，当靶材转动时，护罩可以跟随卡扣与靶材一起转动，避免了溅射出去的金属靶材将第一绝缘环的部分覆盖而导致护罩与轴头导通。

技术特征：

1.一种靶材环形卡扣保护罩结构，其特征在于：包括安装轴、两个轴头和两个保护模块，靶材套设于安装轴上，轴头设于安装轴的左右两端，两个保护模块分别设于安装轴的两端，保护模块包括卡扣、护罩、第一绝缘环和第一轴承，两个卡扣套设于安装轴上，分别对靶材的左右进行限位，使靶材在安装轴上的位置固定；

2.如权利要求1所述的一种靶材环形卡扣保护罩结构，其特征在于：所述的护罩向远离安装轴的方向延伸，使护罩可以覆盖轴头。

3.如权利要求1所述的一种靶材环形卡扣保护罩结构，其特征在于：所述的护罩的远安装轴的端部的内径，由近安装轴至远安装轴的方向逐渐增大，形成喇叭口，护罩的远安装轴的端部的内部形成斜边。

4.如权利要求1所述的一种靶材环形卡扣保护罩结构，其特征在于：所述的轴头与安装轴之间设有第二轴承，使安装轴和轴头相对转动。

5.如权利要求4所述的一种靶材环形卡扣保护罩结构，其特征在于：所述的轴头通过卡环固定于真空腔体的腔板上，卡环形成对轴头的支撑。

6.如权利要求4所述的一种靶材环形卡扣保护罩结构，其特征在于：所述的轴头与第二轴承之间，设有第二绝缘环。

7.如权利要求1或4所述的一种靶材环形卡扣保护罩结构，其特征在于：所述的安装轴的一端安装有驱动机构，该驱动机构驱动安装轴转动。

8.如权利要求1所述的一种靶材环形卡扣保护罩结构，其特征在于：所述的卡扣包括两个拼接连接的半圆环的卡扣部。

9.如权利要求8所述的一种靶材环形卡扣保护罩结构，其特征在于：所述的护罩包括两个拼接连接的半圆环的护罩部。

10.一种磁控溅射真空镀膜设备，其特征在于：包括权利要求1-9中任一权利要求所述的靶材环形卡扣保护罩结构，该靶材环形卡扣保护罩结构设于真空腔体内。

技术总结
本技术提供了一种靶材环形卡扣保护罩结构，涉及薄膜制备技术领域，包括安装轴、两个轴头和两个保护模块，靶材套设于安装轴上，轴头设于安装轴的左右两端，两个保护模块分别设于安装轴的两端，保护模块包括卡扣、护罩、第一绝缘环和第一轴承，两个卡扣套设于安装轴上，分别对靶材的左右进行限位，使靶材在安装轴上的位置固定；两个第一绝缘环分别套设于两个轴头上，护罩固定于卡扣上，对卡扣、第一绝缘环和第一轴承进行覆盖，第一轴承设于第一绝缘环和护罩之间，使护罩和第一绝缘环相对转动，实现了溅射镀膜过程中，当靶材转动时，护罩可以跟随卡扣与靶材一起转动，避免了溅射出去的金属靶材将第一绝缘环的部分覆盖而导致护罩与轴头导通。

技术研发人员：臧伟
受保护的技术使用者：深圳市镭煜科技有限公司
技术研发日：20230616
技术公布日：2024/1/15