一种溅射靶材结构的制作方法

本申请涉及溅射靶材的，尤其是涉及一种溅射靶材结构。

背景技术：

1、溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材。溅射靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等行业。

2、溅射靶材需要固定安装在磁控镀膜机机台内部的背板上完成溅射过程,然而，对于五元及以上的合金溅射靶材而言，由于合金相多，硬度高，材料脆性大，通过车或铣的方式加工外螺纹时，螺纹绷边严重，导致无法在溅射靶材上加工外螺纹，因此造成溅射靶材无法通过螺纹连接的方式固定安装在磁控镀膜机机台的背板上，从而限制了螺纹连接方式在溅射靶材装配领域的应用。

技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种溅射靶材结构，用于解决现有技术的溅射靶材无法通过螺纹连接的方式固定安装在磁控镀膜机机台的背板上的问题。

2、本申请提供的一种溅射靶材结构采用如下的技术方案：

3、一种溅射靶材结构，包括靶坯、连接件和锁定销，所述连接件套设于所述靶坯的外周侧，所述连接件上设有连接孔，所述靶坯的周部设有与所述连接孔同轴相对的锁定孔，所述锁定销紧配合穿设于所述连接孔，并紧配合插设于所述锁定孔内，所述连接件上设有外螺纹。

4、通过采用上述技术方案，由于在将连接件与靶坯固定连接时，仅需通过锤子等工具砸向锁定销使锁定销变形膨胀，使锁定销与连接孔和锁定孔过盈配合，将锁定销与连接孔和锁定孔紧密连接，从而使得溅射靶材能够通过螺纹连接的方式固定安装在磁控镀膜机机台的背板上。

5、可选的，所述连接件包括第一环形座和第二环形座，所述第一环形座与所述第二环形座固接，所述连接孔位于所述第一环形座上，所述外螺纹位于所述第二环形座的外周部，所述靶坯设有第一限位面，所述第一环形座远离所述第二环形座的端面与第一限位面抵接。

6、通过采用上述技术方案，通过第一限位面可对连接件进行轴向限位，从而在加工装配本申请的溅射靶材结构时，便于连接孔与锁定孔快速定位对齐。

7、可选的，所述第二环形座的外径小于所述第一环形座的外径，所述第一环形座靠近第二环形座一侧的端面能够与磁控镀膜机机台内部的背板抵接。

8、通过采用上述技术方案，在通过外螺纹将本申请的溅射靶材结构与磁控镀膜机背板上的内螺纹螺接时，通过第一环形座靠近第二环形座一侧的端面可对螺接行程进行限位，便于控制安装位置。

9、可选的，所述连接件包括第三环形座、第四环形座、第五环形座和筒体，所述第三环形座设有第一半圆形槽，所述第三环形座与所述第四环形座可拆卸拼合连接，所述第四环形座设有与所述第一半圆形槽的形状相配合的第二半圆形槽，所述筒体可拆卸插设于所述第一半圆形槽和所述第二半圆形槽内，所述连接孔设于所述筒体上，所述第五环形座与所述第四环形座可拆卸连接，所述外螺纹位于所述第五环形座的外周部。

10、通过采用上述技术方案，由于将连接件采用分体可拆卸式结构，因此当靶坯达到使用寿命后，可将连接件从靶坯上快速拆下，对连接件进行重复利用。

11、可选的，还包括第一螺栓和第二螺栓，所述第五环形座设有法兰板，所述法兰板上设有第一沉头孔，所述第四环形座上设有与所述第一沉头孔同轴相对的第一螺孔，所述第一螺栓穿设于所述第一沉头孔，并与所述第一螺孔螺接；

12、所述第四环形座上设有第二沉头孔，所述第三环形座上设有与所述第二沉头孔同轴相对的第二螺孔，所述第二螺栓穿设于所述第二沉头孔，并与所述第二螺孔螺接。

13、通过采用上述技术方案，通过第一螺栓对第五环形座和第四环形座进行连接，通过第二螺栓对第三环形座和第四环形座进行连接，因此十分便于拆卸。

14、可选的，所述筒体上设有与所述筒体轴线相垂直的锁接孔，所述第四环形座上设有柱体，所述柱体插设于所述锁接孔内。

15、通过采用上述技术方案，通过柱体插设于锁接孔内，从而可提高筒体与第三环形座和第四环形座的连接紧固强度。

16、可选的，所述锁定销靠近所述第三环形座和所述第四环形座外周侧的一端设有第一限位部，所述筒体上设有与所述第一限位部相抵接的第二限位面；

17、所述筒体靠近所述第三环形座和所述第四环形座外周侧的一端设有第二限位部，所述第三环形座和所述第四环形座上设有与所述第二限位部相抵接的第三限位面。

18、通过采用上述技术方案，通过第一限位部与第二限位面相互配合，当筒体朝远离靶坯的方向移动时，可带动锁定销一同移动使其从锁定孔内脱出，从而便于锁定销的拆卸。

19、可选的，所述筒体靠近所述第三环形座和所述第四环形座外周侧的一端设有凹槽，所述凹槽处的筒体上设有朝与所述筒体轴线垂直的方向延伸的凸台。

20、通过采用上述技术方案，当使用工具伸入凹槽内，并钩挂住凸台朝远离靶坯的方向移动时，可带动筒体从第一半圆形槽内脱出，从而便于筒体和锁定销的拆卸。

21、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：采用连接件套设于靶坯的外周侧，并将锁定销紧配合插设于连接孔和锁定孔内，连接件与靶坯固定连接，连接件可选用合金铜等易于加工螺纹的材质，接着即可在连接件的外周部加工外螺纹，从而无需在靶坯上加工外螺纹，使得溅射靶材能够通过螺纹连接的方式固定安装在磁控镀膜机机台的背板上。

技术特征：

1.一种溅射靶材结构，其特征在于，包括靶坯（10）、连接件（20）和锁定销（30），所述连接件（20）套设于所述靶坯（10）的外周侧，所述连接件（20）上设有连接孔（21），所述靶坯（10）的周部设有与所述连接孔（21）同轴相对的锁定孔（11），所述锁定销（30）紧配合穿设于所述连接孔（21），并紧配合插设于所述锁定孔（11）内，所述连接件（20）上设有外螺纹（22）。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材结构，其特征在于，所述连接件（20）包括第一环形座（23）和第二环形座（24），所述第一环形座（23）与所述第二环形座（24）固接，所述连接孔（21）位于所述第一环形座（23）上，所述外螺纹（22）位于所述第二环形座（24）的外周部，所述靶坯（10）设有第一限位面（12），所述第一环形座（23）远离所述第二环形座（24）的端面与第一限位面（12）抵接。

3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材结构，其特征在于，所述第二环形座（24）的外径小于所述第一环形座（23）的外径，所述第一环形座（23）靠近第二环形座（24）一侧的端面能够与磁控镀膜机机台内部的背板抵接。

4.根据权利要求1所述的一种溅射靶材结构，其特征在于，所述连接件（20）包括第三环形座（25）、第四环形座（26）、第五环形座（27）和筒体（28），所述第三环形座（25）设有第一半圆形槽（251），所述第三环形座（25）与所述第四环形座（26）可拆卸拼合连接，所述第四环形座（26）设有与所述第一半圆形槽（251）的形状相配合的第二半圆形槽（261），所述筒体（28）可拆卸插设于所述第一半圆形槽（251）和所述第二半圆形槽（261）内，所述连接孔（21）设于所述筒体（28）上，所述第五环形座（27）与所述第四环形座（26）可拆卸连接，所述外螺纹（22）位于所述第五环形座（27）的外周部。

5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材结构，其特征在于，还包括第一螺栓（40）和第二螺栓（50），所述第五环形座（27）设有法兰板（271），所述法兰板（271）上设有第一沉头孔（2711），所述第四环形座（26）上设有与所述第一沉头孔（2711）同轴相对的第一螺孔（262），所述第一螺栓（40）穿设于所述第一沉头孔（2711），并与所述第一螺孔（262）螺接；

6.根据权利要求4所述的一种溅射靶材结构，其特征在于，所述筒体（28）上设有与所述筒体（28）轴线相垂直的锁接孔（281），所述第四环形座（26）上设有柱体（264），所述柱体（264）插设于所述锁接孔（281）内。

7.根据权利要求4所述的一种溅射靶材结构，其特征在于，所述锁定销（30）靠近所述第三环形座（25）和所述第四环形座（26）外周侧的一端设有第一限位部（31），所述筒体（28）上设有与所述第一限位部（31）相抵接的第二限位面（282）；

8.根据权利要求4所述的一种溅射靶材结构，其特征在于，所述筒体（28）靠近所述第三环形座（25）和所述第四环形座（26）外周侧的一端设有凹槽（284），所述凹槽（284）处的筒体（28）上设有朝与所述筒体（28）轴线垂直的方向延伸的凸台（285）。

技术总结
本申请涉及一种溅射靶材结构，涉及溅射靶材的技术领域，包括靶坯、连接件和锁定销，连接件套设于靶坯的外周侧，连接件上设有连接孔，靶坯的周部设有与连接孔同轴相对的锁定孔，锁定销紧配合穿设于连接孔，并紧配合插设于锁定孔内，连接件上设有外螺纹。由于在将连接件与靶坯固定连接时，仅需通过锤子等工具砸向锁定销使锁定销变形膨胀，使锁定销与连接孔和锁定孔过盈配合，将锁定销与连接孔和锁定孔紧密连接，从而使得溅射靶材能够通过螺纹连接的方式固定安装在磁控镀膜机机台的背板上。

技术研发人员：张凤戈,张欠男,魏铁峰,张雷
受保护的技术使用者：苏州六九新材料科技有限公司
技术研发日：20230625
技术公布日：2024/1/15