一种蒸发槽冷却结构以及真空镀膜设备的制作方法

本技术涉及薄膜制备，更具体的说，本技术涉及一种蒸发槽冷却结构以及真空镀膜设备。

背景技术：

1、真空镀膜设备的蒸发源，包括蒸发槽，蒸发槽内具有石墨加热电极，石墨加热电极具有多个孔，孔内放置有耐高温容器，例如坩埚，通过坩埚对待蒸发的材料进行蒸发，从而完成镀膜。

2、在打开石墨加热电极至关闭石墨加热电极这个期间内，需采用水冷却的方式，对蒸发槽进行初次冷却，进而对石墨加热电极进行冷却，因为如果不对蒸发槽进行冷却，那蒸发槽(一般为铁质)会被熔化。现有技术的结构，对蒸发槽初次冷却之后，再通氮气将蒸发槽冷却到常温，但这种结构的冷却效率很低，花费时间较长。

3、因此需要一种新的冷却结构，来解决此问题。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种蒸发槽冷却结构以及真空镀膜设备。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种蒸发槽冷却结构，其改进之处在于：包括水冷却通路和液氮冷却通路，水冷却通路通过第一阀门单元与蒸发槽的冷却腔连通，用于通过开启第一阀门单元，使水冷却通路通水，将蒸发槽初次冷却；

3、液氮冷却通路通过第二阀门单元与蒸发槽的冷却腔连通，用于通过开启第二阀门单元，使液氮冷却通路通液氮，将初次冷却后的蒸发槽冷却到常温。

4、在上述结构中，所述的蒸发槽内设有弯曲管道，弯曲管道与所述的冷却腔连通，所述的水冷却通路通过第一阀门单元与弯曲管道连通，所述的液氮冷却通路通过第二阀门单元与弯曲管道连通，用于增加对蒸发槽进行冷却的表面积。

5、在上述结构中，包括气路通路，气路通路通过第三阀门单元与蒸发槽的冷却腔连通，用于在蒸发槽初次冷却之后、开启第二阀门单元之前，通过开启第三阀门单元，使气路通路通气，对蒸发槽的冷却腔中的水进行清理。

6、在上述结构中，所述的水冷却通路为水循环冷却回路，该水循环冷却回路中设有换热器和泵，用于水的循环使用。

7、在上述结构中，所述的液氮冷却通路为液氮循环冷却回路，该液氮循环冷却回路中设有换热器和泵，用于液氮的循环使用。

8、在上述结构中，所述的第一阀门单元包括第一阀门和第二阀门，第一阀门的两端分别与水冷却通路和蒸发槽的冷却腔连通，用于控制水冷却通路进水给蒸发槽的冷却腔；

9、第二阀门的两端分别与水冷却通路和蒸发槽的冷却腔连通，用于控制蒸发槽的冷却腔出水给水冷却通路。

10、在上述结构中，所述的第二阀门单元包括第三阀门和第四阀门，第三阀门的两端分别与液氮冷却通路和蒸发槽的冷却腔连通，用于控制液氮冷却通路进液氮给蒸发槽的冷却腔；

11、第四阀门的两端分别与液氮冷却通路和蒸发槽的冷却腔连通，用于控制蒸发槽的冷却腔出液氮给液氮冷却通路。

12、在上述结构中，所述的第三阀门单元包括第五阀门和第六阀门，第五阀门的两端分别与气路通路和蒸发槽的冷却腔连通，用于控制气路通路进气给蒸发槽的冷却腔；

13、第六阀门的两端分别与气路通路和蒸发槽的冷却腔连通，用于控制蒸发槽的冷却腔排出气体和清理的水。

14、在上述结构中，包括接水槽，接水槽与所述的第六阀门连通，用于收集蒸发槽排出的水。

15、本实用新型还提供了一种真空镀膜设备，包括所述的蒸发槽冷却结构，用于对蒸发槽进行冷却。

16、本实用新型的有益效果是：通过液氮冷却通路将初次冷却后的蒸发槽冷却到常温，从而实现将蒸发槽快速冷却，提升了冷却效率。

技术特征：

1.一种蒸发槽冷却结构，其特征在于：包括水冷却通路和液氮冷却通路，水冷却通路通过第一阀门单元与蒸发槽的冷却腔连通，用于通过开启第一阀门单元，使水冷却通路通水，将蒸发槽初次冷却；

2.如权利要求1所述的一种蒸发槽冷却结构，其特征在于：所述的蒸发槽内设有弯曲管道，弯曲管道与所述的冷却腔连通，所述的水冷却通路通过第一阀门单元与弯曲管道连通，所述的液氮冷却通路通过第二阀门单元与弯曲管道连通，用于增加对蒸发槽进行冷却的表面积。

3.如权利要求1所述的一种蒸发槽冷却结构，其特征在于：包括气路通路，气路通路通过第三阀门单元与蒸发槽的冷却腔连通，用于在蒸发槽初次冷却之后、开启第二阀门单元之前，通过开启第三阀门单元，使气路通路通气，对蒸发槽的冷却腔中的水进行清理。

4.如权利要求1所述的一种蒸发槽冷却结构，其特征在于：所述的水冷却通路为水循环冷却回路，该水循环冷却回路中设有换热器和泵，用于水的循环使用。

5.如权利要求1所述的一种蒸发槽冷却结构，其特征在于：所述的液氮冷却通路为液氮循环冷却回路，该液氮循环冷却回路中设有换热器和泵，用于液氮的循环使用。

6.如权利要求1或4所述的一种蒸发槽冷却结构，其特征在于：所述的第一阀门单元包括第一阀门和第二阀门，第一阀门的两端分别与水冷却通路和蒸发槽的冷却腔连通，用于控制水冷却通路进水给蒸发槽的冷却腔；

7.如权利要求1或5所述的一种蒸发槽冷却结构，其特征在于：所述的第二阀门单元包括第三阀门和第四阀门，第三阀门的两端分别与液氮冷却通路和蒸发槽的冷却腔连通，用于控制液氮冷却通路进液氮给蒸发槽的冷却腔；

8.如权利要求3所述的一种蒸发槽冷却结构，其特征在于：所述的第三阀门单元包括第五阀门和第六阀门，第五阀门的两端分别与气路通路和蒸发槽的冷却腔连通，用于控制气路通路进气给蒸发槽的冷却腔；

9.如权利要求8所述的一种蒸发槽冷却结构，其特征在于：包括接水槽，接水槽与所述的第六阀门连通，用于收集蒸发槽排出的水。

10.一种真空镀膜设备，其特征在于：包括权利要求1-9中任一权利要求所述的蒸发槽冷却结构，用于对蒸发槽进行冷却。

技术总结
本技术提供了一种蒸发槽冷却结构以及真空镀膜设备，涉及薄膜制备技术领域，包括水冷却通路和液氮冷却通路，水冷却通路通过第一阀门单元与蒸发槽的冷却腔连通，用于通过开启第一阀门单元，使水冷却通路通水，将蒸发槽初次冷却；液氮冷却通路通过第二阀门单元与蒸发槽的冷却腔连通，用于通过开启第二阀门单元，使液氮冷却通路通液氮，将初次冷却后的蒸发槽冷却到常温，实现将蒸发槽快速冷却，提升了冷却效率。

技术研发人员：臧世伟,刘文卿
受保护的技术使用者：深圳金美新材料科技有限公司
技术研发日：20230711
技术公布日：2024/1/22