一种附带炉管热防护功能的CVD设备的制作方法

本技术涉及一种cvd设备，具体为一种附带炉管热防护功能的cvd设备，属于半导体生产设备。

背景技术：

1、化学气相淀积(cvd)是制备材料的一种重要的方法。由于所需要制备的材料特性不同，对生长设备的温度要求不同。针对一些具体的半导体材料，例如aln、bn、gan以及它们的合金等，生长温度一般要高于1000℃。随着al或者b组分的提高，所需要的生长温度也需要提高。

2、现公开了专利号为：cn209260256u的一种高温cvd设备，其包括：具有进气口和排气口的反应管，在反应管的外部设置依次有第一加热机构、第二加热机构和保温机构，在反应管的内部具有与第一加热机构、第二加热机构和保温机构分别对应形成的第一温度区域、第二温度区域和第三温度区域，以及，至少在第二加热机构与反应管之间还设置有冷却机构，在反应管内部还设置有隔热机构，且隔热机构与反应管的管壁之间具有间隙。本实用新型提供的高温cvd设备结合了不同的加热模式对反应设备进行加热，同时采用设置隔热机构防止高温对石英材质反应管外壁的损伤。

3、上述方案存在诸多益处，但当管道进行对接时，往往通过单一的密封圈进行密封处理，导致密封处往往密封效果不佳，无法达到热防护的效果；并且管道固定对接时，无法达到快速对接固定。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种附带炉管热防护功能的cvd设备，以解决现有技术中但当管道进行对接时，往往通过单一的密封圈进行密封处理，导致密封处往往密封效果不佳，无法达到热防护的效果；并且管道固定对接时，无法达到快速对接固定的问题。

3、(二)技术方案

4、本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种附带炉管热防护功能的cvd设备，包括密封套管和炉管，所述炉管外侧固定连接有炉管外环，所述密封套管一端设置有插接端，所述插接端延伸至炉管外环内部，所述炉管延伸至插接端内部，所述密封套管与炉管外环之间设有密封组件；

5、所述密封套管外侧固定连接有定位板，所述定位板一侧固定连接有插板，所述炉管外侧固定连接有支撑板，所述支撑板一侧设有用于对插板固定的限位组件。

6、优选的，所述密封组件包括第一密封环，所述第一密封环套设于炉管外侧并设置于炉管外环内部，所述第一密封环一侧设有双锥形密封隔环，所述双锥形密封隔环套设于炉管外侧，所述双锥形密封隔环一侧设有第二密封环，所述第二密封环套设于炉管外侧并设置于炉管外环内部，从而插接端和双锥形密封隔环，对第二密封环和第一密封环进行挤压，从而提高密封效果。

7、优选的，所述双锥形密封隔环竖截面设置为双锥形，提高密封性。

8、优选的，所述限位组件包括定位框，所述定位框固定连接于支撑板一侧，所述插板外侧开设有定位槽，所述支撑板外侧开设有滑槽，所述插板穿过支撑板并延伸至定位框内部。

9、优选的，所述限位组件还包括插杆，所述插杆贯穿定位框顶部并延伸至定位框内部，所述插杆与定位框滑动连接，所述插杆与插板外侧开设有定位槽相适配，所述插杆外侧固定连接有挡板，所述插杆外侧套设有弹簧，所述弹簧两端分别与于定位框和挡板固定连接，有利于通过弹簧推动插杆进行固定。

10、优选的，所述密封套管外侧设有多个连接板，所述炉管外环外侧固定连接有多个对接板。

11、优选的，所述连接板与对接板之间设有密封套管固定板，所述连接板外侧设有螺栓，螺栓依次贯穿连接板、密封套管固定板和对接板，通过密封套管固定板进一步提高密封效果。

12、本实用新型提供了一种附带炉管热防护功能的cvd设备，其具备的有益效果如下：

13、1、该附带炉管热防护功能的cvd设备，通过双锥形密封隔环与第一密封环进行挤压，最后塞入第二密封环，并将密封套管一端设置的插接端插入炉管外侧的炉管外环内部，使插接端与第二密封环充分接触，从而提高通过第二密封环、双锥形密封隔环和第一密封环进行双重密封的密封效果。

14、2、该附带炉管热防护功能的cvd设备，通过定位板一侧固定连接的插板插入支撑板和定位框内部，再通过拉动插杆，使插杆插入插板外侧的定位槽，从而使炉管与密封套管进行快速对接定位，再通过螺栓穿过连接板、密封套管固定板和对接板，对密封套管和炉管进行快速安装固定，并且通过密封套管固定板进一步密封。

技术特征：

1.一种附带炉管热防护功能的cvd设备，包括密封套管(1)和炉管(2)，其特征在于：所述炉管(2)外侧固定连接有炉管外环(3)，所述密封套管(1)一端设置有插接端(101)，所述插接端(101)延伸至炉管外环(3)内部，所述炉管(2)延伸至插接端(101)内部，所述密封套管(1)与炉管外环(3)之间设有密封组件；

2.根据权利要求1所述的一种附带炉管热防护功能的cvd设备，其特征在于：所述密封组件包括第一密封环(5)，所述第一密封环(5)套设于炉管(2)外侧并设置于炉管外环(3)内部，所述第一密封环(5)一侧设有双锥形密封隔环(4)，所述双锥形密封隔环(4)套设于炉管(2)外侧，所述双锥形密封隔环(4)一侧设有第二密封环(6)，所述第二密封环(6)套设于炉管(2)外侧并设置于炉管外环(3)内部。

3.根据权利要求2所述的一种附带炉管热防护功能的cvd设备，其特征在于：所述双锥形密封隔环(4)竖截面设置为双锥形。

4.根据权利要求1所述的一种附带炉管热防护功能的cvd设备，其特征在于：所述限位组件包括定位框(10)，所述定位框(10)固定连接于支撑板(9)一侧，所述插板(12)外侧开设有定位槽，所述支撑板(9)外侧开设有滑槽，所述插板(12)穿过支撑板(9)并延伸至定位框(10)内部。

5.根据权利要求4所述的一种附带炉管热防护功能的cvd设备，其特征在于：所述限位组件还包括插杆(11)，所述插杆(11)贯穿定位框(10)顶部并延伸至定位框(10)内部，所述插杆(11)与定位框(10)滑动连接，所述插杆(11)与插板(12)外侧开设有定位槽相适配，所述插杆(11)外侧固定连接有挡板(13)，所述插杆(11)外侧套设有弹簧(14)，所述弹簧(14)两端分别与于定位框(10)和挡板(13)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种附带炉管热防护功能的cvd设备，其特征在于：所述密封套管(1)外侧设有多个连接板(102)，所述炉管外环(3)外侧固定连接有多个对接板(201)。

7.根据权利要求6所述的一种附带炉管热防护功能的cvd设备，其特征在于：所述连接板(102)与对接板(201)之间设有密封套管固定板(7)，所述连接板(102)外侧设有螺栓，螺栓依次贯穿连接板(102)、密封套管固定板(7)和对接板(201)。

技术总结
本技术提供一种附带炉管热防护功能的CVD设备，涉及半导体生产设备技术领域。该附带炉管热防护功能的CVD设备，包括密封套管和炉管，所述炉管外侧固定连接有炉管外环，所述密封套管一端设置有插接端，所述插接端延伸至炉管外环内部，所述炉管延伸至插接端内部，所述密封套管与炉管外环之间设有密封组件；该附带炉管热防护功能的CVD设备，通过双锥形密封隔环与第一密封环进行挤压，最后塞入第二密封环，并将密封套管一端设置的插接端插入炉管外侧的炉管外环内部，使插接端与第二密封环充分接触，从而提高通过第二密封环、双锥形密封隔环和第一密封环进行双重密封的密封效果。

技术研发人员：张义颖,雍晓龙,何奇
受保护的技术使用者：苏州镓耀半导体科技有限公司
技术研发日：20230808
技术公布日：2024/2/21