机械臂的辅助固定装置的制作方法

本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种机械臂的辅助固定装置。

背景技术：

1、浆料臂是用高压水清理抛光垫与释放抛光液的机构。浆料臂的喷嘴座上的喷嘴可对抛光垫进行清洗和保湿，防止抛光液结晶。浆料臂的抛光液输送管道将抛光液滴流到抛光盘指定区域。

2、现有技术中的浆料臂只有一个抛光液固定流液点，对抛光垫进行维护保养的时候，需要将浆料臂设置于抛光垫护罩的外侧，一般是用扳手或无尘布等固定。图1为现有技术中一种抛光垫维护保养时浆料臂的位置示意图，如图1所示，浆料臂101设置于抛光垫102的护罩103的外侧，在所述浆料臂101与所述护罩103接触处放置一阻挡物104用于控制所述浆料臂101的角度，然后再通过无尘布固定。但是这种固定方式固定的角度不够精确且容易发生位移，经常需要将所述浆料臂101重新固定，影响了所述抛光垫102的维护保养速度。

3、在不改变浆料臂现抛光液固定流液点结构的基础上，提供一种有效的辅助固定装置用于浆料臂的固定，可以提高抛光垫的维护保养速度，进而提高整个工艺生产线的效率。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是提供一种应用于机械臂上的辅助固定装置。所述辅助固定装置用于辅助工作人员将所述机械臂固定于待固定装置，使得固定过程更加精确高效，所述机械臂与所述待固定装置的位置与角度不易松动，提高固定后相关作业流程的效率。

2、为了解决上述问题，本实用新型提供了一种机械臂的辅助固定装置，包括：外壳，包括顶面以及两个侧面，两个所述侧面底部向内卷成勾状，两个所述侧面的至少一个的纵向有高位和低位的螺孔；至少一个挡板，设置于具有所述螺孔的侧面外侧，所述挡板设置有挡板螺孔；固定螺丝，通过所述挡板螺孔、以

3、及高位和低位的所述螺孔中的一个，将所述挡板固定于具有所述螺孔的所述侧面的高位或低位。

4、在一些实施例中，所述顶面的剖面形状选自于三角形、圆弧形以及梯形中的一种。

5、在一些实施例中，所述侧面的纵向中轴线上下部各有一所述螺孔。

6、在一些实施例中，所述侧面的纵向轴线上所述螺孔个数超过三个。

7、在一些实施例中，所述挡板的纵向中轴线上有一所述挡板螺孔。

8、在一些实施例中，所述挡板上的所述挡板螺孔个数为多个。

9、在一些实施例中，所述顶面材料为弹性材料。

10、在一些实施例中，两个所述侧面结构相同。

11、在一些实施例中，两个所述侧面结构不同。

12、在一些实施例中，所述挡板包括：卡槽，所述卡槽固定连接于具有所述螺孔的所述侧面，所述卡槽的纵向有高位和低位的卡槽螺孔，所述卡槽螺孔与所述螺孔的位置一致；移动板，所述移动板上设置有所述挡板螺孔，所述移动板能够在所述卡槽内移动。

13、上述技术方案，提供了一种机械臂的辅助固定装置，通过在外壳至少一个侧面的纵向设置高位和低位的螺孔，在具有所述螺孔的侧面外侧设置挡板，所述挡板设置有挡板螺孔，采用固定螺丝通过所述挡板螺孔、以及高位和低位的所述螺孔中的一个，将所述挡板固定于具有所述螺孔的所述侧面的高位或低位。所述辅助固定装置可以将机械臂与底盘装置固定，使得固定流程更加高效，提高工作效率。

14、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本实用新型。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。

技术特征：

1.一种机械臂的辅助固定装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述顶面的剖面形状选自于三角形、圆弧形以及梯形中的一种。

3.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述侧面的纵向中轴线上下部各有一所述螺孔。

4.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述侧面的纵向轴线上所述螺孔个数超过三个。

5.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述挡板的纵向中轴线上有一所述挡板螺孔。

6.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述挡板上的所述挡板螺孔个数为多个。

7.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述顶面材料为弹性材料。

8.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，两个所述侧面结构相同。

9.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，两个所述侧面结构不同。

10.根据权利要求1所述的机械臂的辅助固定装置，其特征在于，所述挡板包括：

技术总结
本技术提供了一种机械臂的辅助固定装置，通过在外壳至少一个侧面的纵向设置高位和低位的螺孔，在具有所述螺孔的侧面外侧设置挡板，所述挡板设置有挡板螺孔，采用固定螺丝通过所述挡板螺孔、以及高位和低位的所述螺孔中的一个，将所述挡板固定于具有所述螺孔的所述侧面的高位或低位。所述机械臂的辅助固定装置用于将机械臂与底盘装置固定，使得固定流程更加高效，提高工作效率。

技术研发人员：张帅帅,杨俊男,闫晓晖
受保护的技术使用者：上海积塔半导体有限公司
技术研发日：20230809
技术公布日：2024/2/1