导电舟及镀膜设备的制作方法

本技术涉及光伏材料加工设备，尤其涉及一种导电舟及镀膜设备。

背景技术：

1、太阳能电池片的制作流程主要包括表面制绒、扩散制结、后清洗、表面镀膜、丝网印刷和高温烧结等步骤。其中，表面镀膜工艺是通过硅片表面形成一层膜，例如，采用等离子体增强化学气相沉积法(plasma enhanced chemical vapor deposition，缩写为pecvd)在已经形成pn结的硅片表面形成减反射膜，以提高最终所制作的太阳能电池片的光电转换效率。

2、随着硅片产量的要求增高，石墨舟承载量要求也随之提高，目前的镀膜设备中，承载量较大的石墨舟尺寸较长，但不利于射频电场在晶舟上的均匀分布，从而导致射频镀膜效果不佳。

3、因此，亟需一种导电舟及镀膜设备，以解决以上问题。

技术实现思路

1、根据本实用新型的一个方面，目的在于提供一种导电舟，该导电舟有利于射频功率的均匀分布，进而有利于提升镀膜效果的统一性。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、导电舟，能够连接于射频电源，并使电池片处于射频电场中，所述导电舟包括：

4、多个舟体，所述舟体包括载片部、正极导电柱和负极导电柱，所述载片部连接于所述正极导电柱和所述负极导电柱，能够容纳电池片；

5、射频导电部，所述射频导电部能够电连接于所述射频电源，多个所述舟体分别电连接于所述射频导电部，所述正极导电柱和所述负极导电柱分别电连接于所述射频导电部。

6、作为本实用新型提供的导电舟的可选方案，所述载片部包括多个正电极舟叶和多个负电极舟叶，所述正电极舟叶和所述负电极舟叶交替并间隔设置，相邻的所述正电极舟叶和所述负电极舟叶之间形成载片空间，所述正极导电柱电连接于多个所述正电极舟叶，所述负极导电柱电连接于多个所述负电极舟叶。

7、作为本实用新型提供的导电舟的可选方案，所述正极导电柱贯穿并电连接于多个所述正电极舟叶，所述正电极舟叶对应于所述负极导电柱的位置设置第一避让槽，所述负极导电柱绝缘穿设于所述第一避让槽；

8、所述负极导电柱贯穿并电连接于多个所述负电极舟叶，所述负电极舟叶对应于所述正极导电柱的位置设置第二避让槽，所述正极导电柱绝缘穿设于所述第二避让槽。

9、作为本实用新型提供的导电舟的可选方案，一个舟体包括多个所述正极导电柱和多个所述负极导电柱，形成多组导电结构，多组所述导电结构中至少一部分能够对所述载片部进行射频馈入。

10、作为本实用新型提供的导电舟的可选方案，所述正极导电柱包括第一导电件、连通导电件、底部绝缘套筒和绝缘底套；

11、所述第一导电件为多个，多个所述第一导电件依次连接，所述连通导电件连接于位于底部的所述第一导电件，所述底部绝缘套筒套设于所述连通导电件外，所述绝缘底套套设于所述正极导电柱的底部，并衔接于所述底部绝缘套筒。

12、作为本实用新型提供的导电舟的可选方案，所述射频导电部包括多个正导电块、多个负导电块、多个正导电片和多个负导电片，所述正导电块和所述负导电块交替并绝缘设置；所述正导电块一一对应于所述正导电片和所述正极导电柱，所述正导电片连接于所述正导电块和所述正极导电柱；所述负导电块一一对应于所述负导电片和所述负极导电柱，所述负导电片连接于所述负导电块和所述负极导电柱。

13、作为本实用新型提供的导电舟的可选方案，所述导电舟还包括支撑架，所述支撑架包括底板、顶板和多个绝缘支柱，所述舟体绝缘设置于所述底板和所述顶板之间，多个所述绝缘支柱分别贯穿所述舟体，并支撑于所述底板和所述顶板之间，所述射频导电部绝缘设置于所述底板。

14、作为本实用新型提供的导电舟的可选方案，所述舟体还包括隔层舟叶，所述隔层舟叶为两个，分别位于所述舟体的顶端和底端，并分别间隔设置于所述顶板和所述底板，被配置为防止所述舟体与所述顶板之间和与所述底板之间形成电场空间。

15、作为本实用新型提供的导电舟的可选方案，多个所述舟体沿所述支撑架的长度方向依次设置于所述底板和所述顶板之间。

16、根据本实用新型的另一个方面，目的在于提供一种镀膜设备，所述镀膜设备包括腔体和所述射频电源，还包括上述方案任一项所述的导电舟，所述舟体设置于所述腔体中，所述射频导电部电连接于所述射频电源。

17、本实用新型的有益效果：

18、本实用新型提供的导电舟能够连接于射频电源，并使电池片处于射频电场中，包括射频导电部和多个舟体。该舟体包括载片部、正极导电柱和负极导电柱，该载片部连接于该正极导电柱和该负极导电柱，能够容纳电池片；该射频导电部电连接于该射频电源，多个该舟体分别电连接于该射频导电部,该正极导电柱和该负极导电柱分别电连接于该射频导电部。也就是说，上述设置有利于射频功率在多个舟体上的均匀分布，以提升多个舟体上的电池片的镀膜效果的统一性。

技术特征：

1.导电舟，其特征在于，能够连接于射频电源，并使电池片处于射频电场中，所述导电舟包括：

2.根据权利要求1所述的导电舟，其特征在于，所述载片部包括多个正电极舟叶(110)和多个负电极舟叶(120)，所述正电极舟叶(110)和所述负电极舟叶(120)交替并间隔设置，相邻的所述正电极舟叶(110)和所述负电极舟叶(120)之间形成载片空间，所述正极导电柱(130)电连接于多个所述正电极舟叶(110)，所述负极导电柱(140)电连接于多个所述负电极舟叶(120)。

3.根据权利要求2所述的导电舟，其特征在于，所述正极导电柱(130)贯穿并电连接于多个所述正电极舟叶(110)，所述正电极舟叶(110)对应于所述负极导电柱(140)的位置设置第一避让槽，所述负极导电柱(140)绝缘穿设于所述第一避让槽；

4.根据权利要求1所述的导电舟，其特征在于，一个所述舟体(100)包括多个所述正极导电柱(130)和多个所述负极导电柱(140)，形成多组导电结构，多组所述导电结构中至少一部分能够对所述载片部进行射频馈入。

5.根据权利要求1所述的导电舟，其特征在于，所述正极导电柱(130)包括第一导电件(131)、连通导电件(134)、底部绝缘套筒(135)和绝缘底套(136)；

6.根据权利要求1所述的导电舟，其特征在于，所述射频导电部(200)包括多个正导电块(210)、多个负导电块(220)、多个正导电片(230)和多个负导电片，所述正导电块(210)和所述负导电块(220)交替并绝缘设置；所述正导电块(210)一一对应于所述正导电片(230)和所述正极导电柱(130)，所述正导电片(230)连接于所述正导电块(210)和所述正极导电柱(130)；所述负导电块(220)一一对应于所述负导电片和所述负极导电柱(140)，所述负导电片连接于所述负导电块(220)和所述负极导电柱(140)。

7.根据权利要求1所述的导电舟，其特征在于，所述导电舟还包括支撑架(300)，所述支撑架(300)包括底板(310)、顶板(320)和多个绝缘支柱(330)，所述舟体(100)绝缘设置于所述底板(310)和所述顶板(320)之间，多个所述绝缘支柱(330)分别贯穿所述舟体(100)，并支撑于所述底板(310)和所述顶板(320)之间，所述射频导电部(200)绝缘设置于所述底板(310)。

8.根据权利要求7所述的导电舟，其特征在于，所述舟体(100)还包括隔层舟叶(150)，所述隔层舟叶(150)为两个，分别位于所述舟体(100)的顶端和底端，并分别间隔设置于所述顶板(320)和所述底板(310)，被配置为防止所述舟体(100)与所述顶板(320)之间和与所述底板(310)之间形成电场空间。

9.根据权利要求7所述的导电舟，其特征在于，多个所述舟体(100)沿所述支撑架(300)的长度方向依次设置于所述底板(310)和所述顶板(320)之间。

10.镀膜设备，其特征在于，包括腔体和所述射频电源，还包括权利要求1-9任一项所述的导电舟，所述舟体(100)设置于所述腔体中，所述射频导电部(200)电连接于所述射频电源。

技术总结
本技术属于光伏材料加工设备技术领域，公开了一种导电舟及镀膜设备。该导电舟能够连接于射频电源，并使电池片处于射频电场中，该导电舟包括：射频导电部和多个舟体。该舟体包括载片部、正极导电柱和负极导电柱，该载片部连接于该正极导电柱和该负极导电柱，能够容纳电池片；该射频导电部能够电连接于该射频电源，多个该舟体分别电连接于该射频导电部，该正极导电柱和该负极导电柱分别电连接于该射频导电部。该导电舟有利于射频功率的均匀分布，进而有利于提升镀膜效果的统一性。

技术研发人员：朱太荣,刘群,林佳继
受保护的技术使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
技术研发日：20230810
技术公布日：2024/2/6