气源柜的制作方法

本技术涉及半导体加工，尤其涉及一种气源柜。

背景技术：

1、在腔体类镀膜并管机中，因为设备本身特殊的结构原因，使得其气源柜部分需要单独组件来设计，要能容纳特气单元，射频电源模块，水路模块，抽真空管道模块和电气模块，其结构的合理化设计对厂内生产组装、中途打包运输、现场售后维护都有着不容忽视的作用。

2、现有的特气单元在气源柜内完全裸露，如果特气泄露容易影响其他模块正常运行，并且非常容易造成安全事故。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提出一种气源柜，该气源柜能够较好地避免特气泄露至其他模块，降低安全事故的发生概率，提升气源柜的使用安全性。

2、为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

3、本实用新型公开了一种气源柜，包括：气柜模块，所述气柜模块包括气柜本体和设在所述气柜本体内部的特气单元，所述气柜本体包括气柜框架结构和连接在所述气柜框架结构上的气柜封板，所述气柜封板与所述气柜框架结构的连接缝隙处均设有密封结构电柜模块，所述电柜模块包括电柜本体和设在所述电柜本体内的电器单元，所述电柜本体与所述气柜本体可拆卸连接。

4、在一些实施例中，所述气柜模块还包括设在所述气柜本体内部的气体监测器，所述气体监测器用于检测所述气柜模块内的特气浓度。

5、在一些实施例中，所述气柜模块还包括设在所述气柜本体内部的气柜烟雾监测器，所述气柜烟雾监测器用于监测所述气柜模块内的烟雾浓度。

6、在一些实施例中，所述气柜模块还包括气柜灭火器及气柜灭火管路，所述气柜灭火器安装于所述气柜本体，所述气柜灭火管路与所述气柜灭火器相连，且用于朝向所述气柜本体内部喷射灭火剂。

7、在一些实施例中，所述气柜封板上设有气柜抽气口，所述气柜抽气口能够与外部泵相连。

8、在一些实施例中，所述电柜本体的外侧壁设有电源指示灯，所述电源指示灯用于指示所述气源柜是否通电。

9、在一些实施例中，所述电柜模块还包括设在所述电柜本体内部的电柜烟雾监测器，所述电柜烟雾监测器用于监测所述电柜模块内的烟雾浓度。

10、在一些实施例中，所述电柜模块还包括电柜灭火器及电柜灭火管路，所述电柜灭火器安装于所述电柜本体，所述电柜灭火管路与所述电柜灭火器相连，且用于朝向所述电柜本体内部喷射灭火剂。

11、在一些实施例中，所述电器单元包括独立设置的强电单元和弱电单元，所述电柜本体内还设有主线槽，所述主线槽用于容纳所述强电单元和所述弱电单元的引线，所述电柜本体具有分别与所述强电单元以及弱电单元对应设置的第一散热结构和第二散热结构。

12、在一些实施例中，所述气柜本体和/或所述电柜本体内部设有维护平台以及登高梯，所述登高梯的上端与所述维护平台对接。

13、本实用新型的气源柜的有益效果：由于整个气源柜拆分成气柜模块和电柜模块，且二者可拆卸连接，在实际搬运过程中可以将气源柜拆分成两个进行运输，方便了气源柜的运输。将特气单元单独封装在由气柜封板和框架结构限定的空间内，且气柜封板与气柜框架结构的连接缝隙处均设有密封结构，使得本实施例的气源柜的特气单元始终处于一个相对密闭的空间，即便特气出现泄露也不会进入电柜模块内部或者散发到气源柜外部，保证了电柜模块的稳定运行，提升了整个气源柜的使用安全性。

14、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.气源柜，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述气柜模块还包括设在所述气柜本体内部的气体监测器，所述气体监测器用于检测所述气柜模块内的特气浓度。

3.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述气柜模块还包括设在所述气柜本体内部的气柜烟雾监测器，所述气柜烟雾监测器用于监测所述气柜模块内的烟雾浓度。

4.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述气柜模块还包括气柜灭火器及气柜灭火管路，所述气柜灭火器安装于所述气柜本体，所述气柜灭火管路与所述气柜灭火器相连，且用于朝向所述气柜本体内部喷射灭火剂。

5.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述气柜封板上设有气柜抽气口，所述气柜抽气口能够与外部泵相连。

6.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述电柜本体的外侧壁设有电源指示灯，所述电源指示灯用于指示所述气源柜是否通电。

7.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述电柜模块还包括设在所述电柜本体内部的电柜烟雾监测器，所述电柜烟雾监测器用于监测所述电柜模块内的烟雾浓度。

8.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述电柜模块还包括电柜灭火器及电柜灭火管路，所述电柜灭火器安装于所述电柜本体，所述电柜灭火管路与所述电柜灭火器相连，且用于朝向所述电柜本体内部喷射灭火剂。

9.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述电器单元包括独立设置的强电单元和弱电单元，所述电柜本体内还设有主线槽，所述主线槽用于容纳所述强电单元和所述弱电单元的引线，所述电柜本体具有分别与所述强电单元以及所述弱电单元对应设置的第一散热结构和第二散热结构。

10.根据权利要求1所述的气源柜，其特征在于，所述气柜本体和/或所述电柜本体内部设有维护平台以及登高梯，所述登高梯的上端与所述维护平台对接。

技术总结
本技术公开了一种气源柜，该气源柜包括气柜模块和电柜模块，气柜模块包括气柜本体和设在气柜本体内部的特气单元，气柜本体包括气柜框架结构和连接在气柜框架结构上的气柜封板，气柜封板与气柜框架结构的连接缝隙处均设有密封结构。电柜模块包括电柜本体和设在电柜本体内的电器单元，电柜本体与气柜本体可拆卸连接。该气源柜能够较好地避免特气泄露至其他模块，降低安全事故的发生概率，提升气源柜的使用安全性。

技术研发人员：裴志伟,张武,刘群
受保护的技术使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
技术研发日：20230928
技术公布日：2024/4/24