一种热丝CVD设备用的进气气流装置的制作方法

本技术涉及热丝cvd设备，具体为一种热丝cvd设备用的进气气流装置。

背景技术：

1、热丝cvd材料生长系统是一种用于材料科学领域的工艺试验仪器，传统热丝cvd设备为直管或柱形单腔配气盘进气，其存在三大缺陷：1、不同气体混合不均匀，在热场内不同位置气体浓度差异明显，影响气相反应的效果；2、反应气体直射热丝，造成以中心点向外围的温度梯度影响，局限了温度场的均匀性，不利于cvd化学气相沉积制备膜层；3、管内杂质容易随直流喷射进入热场，造成断丝及基体伤害。因此，需要对进气装置进行创新设计，实现混气均匀及避免垂直热丝喷射。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种热丝cvd设备用的进气气流装置，具备混气均匀、切线进入和避免垂直热丝喷射等优点，解决了传统直管或柱形单腔配气盘进气的热丝cvd设备存在混气不均匀，在热场内不同位置气体浓度差异明显，影响气相反应的效果，反应气体直射热丝，造成以中心点向外围的温度梯度影响，局限了温度场的均匀性，不利于cvd化学气相沉积制备膜层，管内杂质容易随直流喷射进入热场，造成断丝及基体伤害的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种热丝cvd设备用的进气气流装置，包括第一级回旋腔，所述第一级回旋腔的顶部固定连通有进气管，所述第一级回旋腔底部的中心处固定安装有直流连接筒，所述直流连接筒的底端固定连通有第二级混合气体共喷腔，所述第二级混合气体共喷腔的侧表面设置有喷射孔。

5、优选的，所述进气管的数量为六个，六个所述进气管以第一级回旋腔顶部的中心为圆心呈阵列分布，所述进气管的下端弯折九十度，多个气管同平面圆形交叉设计。

6、优选的，所述喷射孔的数量为十二个，十二个所述喷射孔以第二级混合气体共喷腔顶部的中心为圆心呈阵列分布，喷射孔圆周向每30度排布。

7、与现有技术相比，本实用新型提供了一种热丝cvd设备用的进气气流装置，具备以下有益效果：

8、该热丝cvd设备用的进气气流装置，通过设置第一级回旋腔和第二级混合气体共喷腔，第一级回旋腔位于cvd设备外部，多个气管同平面圆形交叉设计，完成多路气体交叉回旋混合，第二级共喷腔位于cvd设备内部，周向间隔30度排布喷射孔，实现混气均匀及避免垂直热丝喷射。

技术特征：

1.一种热丝cvd设备用的进气气流装置，包括第一级回旋腔(1)，其特征在于：所述第一级回旋腔(1)的顶部固定连通有进气管(2)，所述第一级回旋腔(1)底部的中心处固定安装有直流连接筒(3)，所述直流连接筒(3)的底端固定连通有第二级混合气体共喷腔(4)，所述第二级混合气体共喷腔(4)的侧表面设置有喷射孔(5)。

2.根据权利要求1所述的一种热丝cvd设备用的进气气流装置，其特征在于：所述进气管(2)的数量为六个，六个所述进气管(2)以第一级回旋腔(1)顶部的中心为圆心呈阵列分布，所述进气管(2)的下端弯折九十度。

3.根据权利要求1所述的一种热丝cvd设备用的进气气流装置，其特征在于：所述喷射孔(5)的数量为十二个，十二个所述喷射孔(5)以第二级混合气体共喷腔(4)顶部的中心为圆心呈阵列分布。

技术总结
本技术涉及热丝CVD设备技术领域，且公开了一种热丝CVD设备用的进气气流装置，包括第一级回旋腔，所述第一级回旋腔的顶部固定连通有进气管，所述第一级回旋腔底部的中心处固定安装有直流连接筒，所述直流连接筒的底端固定连通有第二级混合气体共喷腔，所述第二级混合气体共喷腔的侧表面设置有喷射孔，所述进气管的数量为六个，六个进气管以第一级回旋腔顶部的中心为圆心呈阵列分布。该热丝CVD设备用的进气气流装置，通过设置第一级回旋腔和第二级混合气体共喷腔，第一级回旋腔位于CVD设备外部，多个气管同平面圆形交叉设计，完成多路气体交叉回旋混合，第二级共喷腔位于CVD设备内部，周向间隔30度排布喷射孔，实现混气均匀及避免垂直热丝喷射。

技术研发人员：唐杰,陈传继,吕文光,张磊,彭然,候正容,黄苇
受保护的技术使用者：惠州市中德纳微科技有限公司
技术研发日：20231226
技术公布日：2024/11/11