一种多工位单片抛光机的制作方法

本发明涉及晶片抛光领域，更具体的，涉及一种多工位单片抛光机。

背景技术：

1、传统的晶片抛光、批量研磨时需要将晶片通过贴蜡工艺贴在陶瓷盘上才能进行批量的研磨和抛光。原有工艺需要配备一台自动陶瓷盘清洗专用机+贴蜡一体机来配合抛光机进行晶片抛光，原有工艺需要在多台设备上反复放置，检测，清洗寻边和抛光，每一次因搬运和重工都会产生新的额外的不良品率，原有的抛光流程步骤繁多，很难实现整条完全自动化，人员干预较多，对于每一次的分拣测量都会存在出残次品的风险，陶瓷盘清洗+贴蜡步骤也非常多，晶片的来回搬运加热和清洗，寻边定位也会导致出现不确定因素，有很多重复工作。在批量抛光环节容易出现晶片的片间不一致性，对批量件抛光很难控制ttv和表面粗糙质量的一致性，出现破片和不良率的发生。

技术实现思路

1、为了解决上述至少一个技术问题，本发明提出了一种多工位单片抛光机。

2、本发明第一方面提供了抛光机台以及设置在抛光机台上的多个抛光工位；

3、任一所述抛光工位顶部设置有摆动机构与下抛盘，所述下抛盘设置在所述摆动机构下方；

4、每一个所述抛光工位顶部设置有水槽，所述水槽设置在所述摆动机构一侧；

5、所述摆动机构一端配合连接有分段加压抛盘；

6、所述抛光工位上设置有上料机械手，所述上料机械手一侧设置有出片盒与存片盒，所述上料机械手抓取出片盒内的晶片放至所述水槽顶部；

7、所述摆动机构抓取水槽顶部的晶片旋转至下抛盘顶部进行抛光。

8、本发明一个较佳实施例中，所述抛光工位为3个，其中一个所述抛光工位一侧设置有下料台，所述下料台顶部设置有水槽。

9、本发明一个较佳实施例中，所述下料台顶部设置有下料组件，所述下料组件包括下料输送模组，所述下料输送模组一侧配合连接有下料机械手，所述下料机械手沿所述下料台长度方向移动。

10、本发明一个较佳实施例中，所述下料台一端设置有第二物料台，所述第二物料台顶部设置有多个存片盒，多个存片盒并列设置，所述第二物料台顶部设置有清洗甩干机构，所述清洗甩干机构设置在所述下料输送模组一侧。

11、本发明一个较佳实施例中，所述上料机械手底部设置有上料输送模组，所述上料输送模组用于控制所述上料机械手水平移动，所述上料输送模组一侧设置有第一物料台，所述存片盒设置在所述第一物料台顶部。

12、本发明一个较佳实施例中，所述第一物料台与所述第二物料台之间设置有寻边定位机构。

13、本发明一个较佳实施例中，所述摆动机构包括基座，所述基座顶部一侧设置有伺服电机与传动轴，所述伺服电机与所述传动轴之间配合连接有同步轮，所述伺服电机用于控制所述传动轴旋转，所述传动轴一侧配合连接有加压气缸，所述分段加压抛盘配合连接在所述加压气缸的底部。

14、本发明一个较佳实施例中，所述传动轴一侧设置有角度检测机构，所述角度检测机构用于检测传动轴的旋转角度或旋转速度。

15、本发明一个较佳实施例中，所述分段加压抛盘顶部设置有主轴，所述主轴内部沿轴向贯穿设置有冷却管路，所述主轴顶部设置有旋转接头，所述主轴外侧设置有摆动轴承，所述主轴与所述分段加压抛盘之间设置有水冷却机构。

16、本发明一个较佳实施例中，所述下抛盘一侧设置有清洗毛刷，所述清洗毛刷水平设置在所述下抛盘顶部，所述清洗毛刷能够旋转，所述下抛盘底部设置有抛盘轴承，所述抛盘轴承底部设置有进排水接头，所述抛盘轴承一侧设置有减速机，所述减速机与所述抛盘轴承之间通过传动机构配合连接。

17、本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

18、本发明抛光机实现全自动运行，晶片单面或双面的抛光，仅需最少的人力和干预，最大限度避免了重复工作，本申请自带清洗功能，每一步的抛光产生的残渣药液都清理干净，最后所有抛光工艺后甩干寻边，放入存片盒内，单片单面抛光有较好的ttv控制和表面质量，不再需要分拣和预筛，可直接将最初抛光做到最终抛光，较好的片间一致性，把抛光分成各单机可按实际需要增加抛光步骤，多次分序可减少抛光砂轮的磨损保养和其他损耗件消耗，全自动化的设备提高良品率和工作效率。

技术特征：

1.一种多工位单片抛光机，包括：抛光机台以及设置在抛光机台上的多个抛光工位；其特征在于，

2.根据权利要求1所述的一种多工位单片抛光机，其特征在于，所述抛光工位为3个，其中一个所述抛光工位一侧设置有下料台，所述下料台顶部设置有水槽。

3.根据权利要求2所述的一种多工位单片抛光机，其特征在于，所述下料台顶部设置有下料组件，所述下料组件包括下料输送模组，所述下料输送模组一侧配合连接有下料机械手，所述下料机械手沿所述下料台长度方向移动。

4.根据权利要求3所述的一种多工位单片抛光机，其特征在于，所述下料台一端设置有第二物料台，所述第二物料台顶部设置有多个存片盒，多个存片盒并列设置，所述第二物料台顶部设置有清洗甩干机构，所述清洗甩干机构设置在所述下料输送模组一侧。

5.根据权利要求4所述的一种多工位单片抛光机，其特征在于，所述上料机械手底部设置有上料输送模组，所述上料输送模组用于控制所述上料机械手水平移动，所述上料输送模组一侧设置有第一物料台，所述存片盒设置在所述第一物料台顶部。

6.根据权利要求5所述的一种多工位单片抛光机，其特征在于，所述第一物料台与所述第二物料台之间设置有寻边定位机构。

7.根据权利要求1所述的一种多工位单片抛光机，其特征在于，所述摆动机构包括基座，所述基座顶部一侧设置有伺服电机与传动轴，所述伺服电机与所述传动轴之间配合连接有同步轮，所述伺服电机用于控制所述传动轴旋转，所述传动轴一侧配合连接有加压气缸，所述分段加压抛盘配合连接在所述加压气缸的底部。

8.根据权利要求7所述的一种多工位单片抛光机，其特征在于，所述传动轴一侧设置有角度检测机构，所述角度检测机构用于检测传动轴的旋转角度或旋转速度。

9.根据权利要求1所述的一种多工位单片抛光机，其特征在于，所述分段加压抛盘顶部设置有主轴，所述主轴内部沿轴向贯穿设置有冷却管路，所述主轴顶部设置有旋转接头，所述主轴外侧设置有摆动轴承，所述主轴与所述分段加压抛盘之间设置有水冷却机构。

10.根据权利要求1所述的一种多工位单片抛光机，其特征在于，所述下抛盘一侧设置有清洗毛刷，所述清洗毛刷水平设置在所述下抛盘顶部，所述清洗毛刷能够旋转，所述下抛盘底部设置有抛盘轴承，所述抛盘轴承底部设置有进排水接头，所述抛盘轴承一侧设置有减速机，所述减速机与所述抛盘轴承之间通过传动机构配合连接。

技术总结
本发明公开的一种多工位单片抛光机，包括抛光机台以及设置在抛光机台顶部的多个抛光工位；任一抛光工位顶部设置有摆动机构与下抛盘，下抛盘设置在摆动机构下方；抛光工位顶部设置有水槽，水槽设置在摆动机构一侧；摆动机构一端配合连接有分段加压抛盘；抛光工位上设置有上料机械手，上料机械手一侧设置有出片盒与存片盒，上料机械手抓取出片盒内的晶片放至所述水槽顶部；摆动机构抓取水槽顶部的晶片旋转至下抛盘顶部进行抛光；发明抛光机实现全自动运行，晶片单面或双面的抛光，仅需最少的人力和干预，最大限度避免了重复工作。

技术研发人员：胡小辉
受保护的技术使用者：苏州辰轩光电科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/29