消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置及方法与流程

本发明涉及真空镀膜，具体涉及一种消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置及方法。

背景技术：

1、可见光波段的ar膜(减反膜/增透膜)，在不加烘烤(低温)的条件下成膜时，用单电子枪单修正板的配置，成膜完成后，分光曲线容易出现纵向(反射率)分层现象：即(rmax-rmin≥0.15%)；严重的会达到1-2%(零件在工件盘内圈到外圈纵向分布，特别是外圈，光谱曲线有很大的随机性及不重复性)，而一般的光学要求范围是：0.01%-0.08%，本方法涉及一种非线性变化修正板装置。

2、常规膜系一般采用一高一低两种不同折射率的膜料交替叠加，本方法仅适用于常规膜系,单电子枪设备。传统镀制ar膜时，一般有两种蒸发模式：

3、一种是用双枪双修正板结构：两种/多种膜料各自有独立的修正板，各膜料之间的占比不会失衡；另一种方法是用单枪单修正板结构：两种/多种膜料共用一个修正板，各膜料之间的占比会失衡，这在低指标要求的光学零件上不会有问题，但对一些光学指示要求高的光学零件就会出现光谱曲线纵向分层，极差值不达标。

技术实现思路

1、针对现有技术中的缺陷，本发明提供了一种消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置及方法。

2、本发明采用的技术方案之一是：消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，包括镀膜腔，在该镀膜腔内上部设置有工件盘罩，从所述的镀膜腔的顶部穿入有与工件盘罩轴承配合的旋转轴，在该旋转轴的末端连接有夹持工件的工件盘；在所述的镀膜腔的底部设置有与工件盘位置对应的电子枪机构和坩埚，在所述的镀膜腔左右两侧的内壁分别设置有左修正机构和右修正机构。

3、为更好地实现本发明，所述的电子枪机构包括电子枪，在该电子枪的周围设置有防护板。

4、为更好地实现本发明，所述的左修正机构包括左修正板，该左修正板连接有左连接杆，所述的左连接杆连接有位于镀膜腔外部的伸缩机构，在所述的镀膜腔的内壁上设置有方便左连接杆上下活动的左通槽。

5、为更好地实现本发明，所述的左修正板为三角形切去三个角部的形状。

6、为更好地实现本发明，所述的右修正机构包括右修正板，该右修正板连接有右连接杆，所述的右连接杆连接有位于镀膜腔外部的伸缩机构，在所述的镀膜腔的内壁上设置有方便右连接杆上下活动的右通槽。

7、为更好地实现本发明，所述的右修正板为柳叶形。

8、本发明采用的技术方案之一是：消除低温下成膜分光曲线分层现象的方法，采用上述的消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，包括以下步骤：

9、a、将工件固定到工件盘上，膜料固定到坩埚上，启动动力装置，通过旋转轴带动工件盘转动；

10、b、电子枪启动，轰击膜料，让其液化和气化，先做低折射率膜料的修正，仅使用右修正板修正气化的膜料分子沉积到工件上，将均匀性调好后保持常开状态；

11、c、完成低折射率膜料的均匀性之后，右修正板保持常开，开启左修正板，修正高折射率膜料气化的膜料分子沉积到工件上的均匀性；

12、d、重复步骤a、b，直到完成整个膜系的沉积。

13、为更好地实现本发明，在所述的步骤a中，所述的旋转轴的转速为28-30r/min。

14、为更好地实现本发明，在所述的步骤b中，右修正板位于电子枪的正上方。

15、本发明的有益效果体现在：本发明的消除低温下成膜分光曲线分层现象的方法，通过镀膜腔、工件盘罩、旋转轴、工件盘、电子枪机构、坩埚、左修正机构以及右修正机构等的配合，先做低折射率膜料的修正，仅使用右修正板修正气化的膜料分子沉积到工件上，将均匀性调好后保持常开状态；右修正板保持常开，然后开启左修正板，修正高折射率膜料气化的膜料分子沉积到工件上的均匀性；解决了高低折射率膜料，由于其材料特性导致均匀性失比，导致的分光曲线纵向分层现象，适用于绝大多数只配置了单电子枪的镀膜机，适合所有高低折射率膜料组合。

技术特征：

1.消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，其特征在于：包括镀膜腔（1），在该镀膜腔（1）内上部设置有工件盘罩（3），从所述的镀膜腔（1）的顶部穿入有与工件盘罩（3）轴承配合的旋转轴（2），在该旋转轴（2）的末端连接有夹持工件的工件盘；在所述的镀膜腔（1）的底部设置有与工件盘位置对应的电子枪机构和坩埚（5），在所述的镀膜腔（1）左右两侧的内壁分别设置有左修正机构和右修正机构。

2.根据权利要求1所述的消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，其特征在于：所述的电子枪机构包括电子枪（4），在该电子枪（4）的周围设置有防护板（7）。

3.根据权利要求2所述的消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，其特征在于：所述的左修正机构包括左修正板（8），该左修正板（8）连接有左连接杆（9），所述的左连接杆（9）连接有位于镀膜腔（1）外部的伸缩机构，在所述的镀膜腔（1）的内壁上设置有方便左连接杆（9）上下活动的左通槽（10）。

4.根据权利要求3所述的消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，其特征在于：所述的左修正板（8）为三角形切去三个角部的形状。

5.根据权利要求1所述的消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，其特征在于：所述的右修正机构包括右修正板（11），该右修正板（11）连接有右连接杆（12），所述的右连接杆（12）连接有位于镀膜腔（1）外部的伸缩机构，在所述的镀膜腔（1）的内壁上设置有方便右连接杆（12）上下活动的右通槽（13）。

6.根据权利要求5所述的消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，其特征在于：所述的右修正板（11）为柳叶形。

7.消除低温下成膜分光曲线分层现象的方法，采用上述的消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置，其特征在于包括以下步骤：

8.根据权利要求7所述的消除低温下成膜分光曲线分层现象的方法，其特征在于：在所述的步骤a中，所述的旋转轴（2）的转速为28-30r/min。

9.根据权利要求8所述的消除低温下成膜分光曲线分层现象的方法，其特征在于：在所述的步骤b中，右修正板（11）位于电子枪（4）的正上方。

技术总结
本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种消除低温下成膜分光曲线分层现象的装置及方法。镀膜腔的顶部穿入有与工件盘罩轴承配合的旋转轴，旋转轴的末端连接有夹持工件的工件盘；在镀膜腔的底部设置有电子枪机构、坩埚，镀膜腔左右两侧的内壁分别设置有左修正机构和右修正机构。本发明的先做低折射率膜料的修正，仅使用右修正板修正气化的膜料分子沉积到工件上，均匀性调好后保持常开状态；右修正板保持常开，然后开启左修正板，修正高折射率膜料气化的膜料分子沉积到工件上的均匀性；解决了高低折射率膜料，由于其材料特性导致均匀性失比，导致的分光曲线纵向分层现象，适用于绝大多数只配置了单电子枪的镀膜机，适合所有高低折射率膜料组合。

技术研发人员：陆斌,卢成,李仕武,周厚宇,沈康豪
受保护的技术使用者：成都国泰真空设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/21