本发明涉及抛光，更具体地说，涉及一种抛光夹具及抛光装置。
背景技术：
1、抛光是指利用机械或化学作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法。抛光过程中，通常需要采用抛光夹具配合负压吸头以固定并带动工件运动。待抛光的晶片等工件可粘结到基板上（玻璃板或硅片）再将基板安装于抛光夹具，或者直接将晶片放置到抛光夹具中，随后将抛光夹具放置于抛光机，以对工件进行处理。抛光夹具使用的便捷性以及稳定性对工件表面加工状态影响较大。
2、常规的抛光夹具包括导柱、吸附盘、外部支撑结构、匀料环。其中，导柱与吸附盘相连，导柱上端与吸附泵连接，为吸附盘提供负压，吸附住待加工的工件。外部支撑结构包括支撑套，支撑套下部与匀料环相连接。工件抛光过程中，工件吸附于抛光夹具，抛光盘旋转以对工件抛光。其中，支撑套与外部法兰连接，外部法兰上有法兰孔孔，匀料环上设有支撑杆，支撑杆穿设于法兰孔并连接上部法兰，开孔与杆之间存在较大间隙。抛光时，工件与匀料环之间会产生相对旋转趋势，则孔与支撑杆之间易产生碰撞，导致振动的产生。且当达到特定条件时，孔与支撑杆之间产生摩擦，随着加工进行，摩擦力的存在导致下抛光夹具施加至工件的压力减小，从而影响抛光效果。
3、综上所述，如何有效地解决抛光夹具抛光时易产生振动及压力不稳定等问题，是目前本领域技术人员需要解决的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本发明的目的在于提供一种抛光夹具及抛光装置，该抛光夹具及抛光装置的结构设计可以有效地解决抛光夹具的抛光压力受限于导柱结构自身重力的问题。
2、为了达到上述目的，本发明提供如下技术方案：
3、一种抛光夹具，包括导柱和支撑套，所述支撑套套设于所述导柱外；还包括限位组件，所述限位组件包括导向件和至少两个滚动件，所述导向件与所述支撑套连接，所述导向件沿所述导柱的轴向延伸，所述至少两个滚动件设于所述导柱，且分别位于所述导向件的两侧，所述至少两个滚动件可转动且外周面分别与所述导向件滚动接触。
4、可选地，上述抛光夹具中，所述滚动件包括轴承，所述轴承的外圈与所述导向件接触，内圈与所述导柱连接。
5、可选地，上述抛光夹具中，与所述滚动件配合的设有第三弹性件，所述第三弹性件用于向对应的所述滚动件施加朝向所述导向件的作用力。
6、可选地，上述抛光夹具中，还包括光栅尺，所述光栅尺的标尺光栅设于所述导向件，所述光栅尺的光栅读数头设于所述导柱。
7、可选地，上述抛光夹具中，还包括压力调节装置，所述压力调节装置包括：
8、调节件，设于所述支撑套，所述调节件能够沿所述导柱的轴向移动并锁止于不同位置；
9、依次间隔设置的第一支撑件、第二支撑件和第三支撑件，所述第二支撑件与所述导柱连接，所述第一支撑件和所述第三支撑件能够在所述调节件的带动下同步沿轴向移动，所述滚动件设于所述第二支撑件；
10、连接件，连接于所述第一支撑件和所述第二支撑件；
11、第一弹性件和第二弹性件，所述第一弹性件设于所述第一支撑件与所述第二支撑件之间，所述第二弹性件设于所述第二支撑件和所述第三支撑件之间。
12、可选地，上述抛光夹具中，所述第三支撑件设于所述第二支撑件靠近所述吸附盘的一端，所述调节件与所述第三支撑件连接。
13、可选地，上述抛光夹具中，所述调节件与所述支撑套螺纹连接，且所述调节件能够相对所述第三支撑件转动。
14、可选地，上述抛光夹具中，所述调节件与所述第三支撑件之间设有连接法兰，所述连接法兰的一端与所述第三支撑件连接，另一端通过压环设于所述调节件且所述连接法兰与所述调节件和所述压环之间分别设有第一滚珠。
15、可选地，上述抛光夹具中，还包括设于所述支撑套的刻度盘，所述调节件上设有用于与所述刻度盘配合的基准部。
16、可选地，上述抛光夹具中，所述支撑套上沿径向设有至少两个通孔，两个所述通孔在所述导柱的径向平面上的投影相错，各所述通孔内设有调节销，所述调节销能够沿所述通孔移动并锁止于不同位置，所述调节销的内端设有第二滚珠并与所述导柱相抵。
17、本发明提供的抛光夹具包括导柱、支撑套和限位组件。其中，支撑套套设于导柱外，限位组件包括导向件和至少两个滚动件，导向件与支撑套连接，导向件沿导柱的轴向延伸，至少两个滚动件设于导柱，且分别位于导向件的两侧，至少两个滚动件可转动且外周面分别与滚动件滚动接触。
18、应用本发明提供的抛光夹具进行抛光时，由于至少两个滚动件的外周面从相对的两侧分别与导向件接触，则既可以起到限位作用，消除导柱与支撑套的相对转动，进而消除了与支撑套连接的匀料环和与导柱连接的吸附盘的相对转动，避免了抛光夹具抛光过程中存在的碰撞问题。另外，由于滚动件与导向件为滚动摩擦，摩擦力小，即在轴向最大限度减小摩擦力，不影响导柱的下降，进而保证了加载到工件上的力的稳定性。
19、在一个优选方式中，该抛光夹具还包括压力调节装置，则可通过压力调节装置调节抛光压力。如通过将调节件沿导柱的轴向上移或下移，从而调节件带动第一支撑件和第二支撑件同步上移或下移，从而第二弹性件被压缩或第一弹性件被压缩，因此第一弹性件或第二弹性件的作用力传递至导柱并最终作用于工件，从而施加于工件的最大作用力大于导柱及吸附盘重力合，且能够在小于最大作用力的一定范围内调整。综上，本发明提供的抛光夹具最大抛光压力不再受限于导柱结构自身重力，能够实现较大范围抛光压力调节。
20、为了达到上述目的，本发明还提供了一种抛光装置，该抛光装置包括上述任一种抛光夹具。由于上述的抛光夹具具有上述技术效果，具有该抛光夹具的抛光装置也应具有相应的技术效果。
1.一种抛光夹具，包括导柱（100）和支撑套（200），所述支撑套（200）套设于所述导柱（100）外；其特征在于，还包括限位组件（400），所述限位组件（400）包括导向件（401）和至少两个滚动件（402），所述导向件（401）与所述支撑套（200）连接，所述导向件（401）沿所述导柱（100）的轴向延伸，所述至少两个滚动件（402）设于所述导柱（100），且分别位于所述导向件（401）的两侧，所述至少两个滚动件（402）可转动且外周面分别与所述导向件（401）滚动接触。
2.根据权利要求1所述的抛光夹具，其特征在于，所述滚动件（402）包括轴承，所述轴承（402）的外圈与所述导向件（401）接触，内圈与所述导柱（100）连接。
3.根据权利要求1所述的抛光夹具，其特征在于，与所述滚动件（402）配合的设有第三弹性件，所述第三弹性件用于向对应的所述滚动件（402）施加朝向所述导向件（401）的作用力。
4.根据权利要求1所述的抛光夹具，其特征在于，还包括光栅尺，所述光栅尺的标尺光栅设于所述导向件（401），所述光栅尺的光栅读数头设于所述导柱（100）。
5.根据权利要求1-4任一项所述的抛光夹具，其特征在于，还包括压力调节装置（300），所述压力调节装置（300）包括：
6.根据权利要求5所述的抛光夹具，其特征在于，所述第三支撑件（304）设于所述第二支撑件（303）靠近所述抛光夹具的吸附盘的一端，所述调节件（301）与所述第三支撑件（304）连接。
7.根据权利要求6所述的抛光夹具，其特征在于，所述调节件（301）与所述支撑套（200）螺纹连接，且所述调节件（301）能够相对所述第三支撑件（304）转动。
8.根据权利要求7所述的抛光夹具，其特征在于，所述调节件（301）与所述第三支撑件（304）之间设有连接法兰（308），所述连接法兰（308）的一端与所述第三支撑件（304）连接，另一端通过压环（309）设于所述调节件（301）且所述连接法兰（308）与所述压环（309）之间、所述调节件（301）和所述压环（309）之间分别设有第一滚珠（310）。
9.根据权利要求5所述的抛光夹具，其特征在于，还包括设于所述支撑套（200）的刻度盘（600），所述调节件（301）上设有用于与所述刻度盘配合的基准部。
10.根据权利要求1-4任一项所述的抛光夹具，其特征在于，所述支撑套（200）上沿径向设有至少两个通孔（201），两个所述通孔（201）在径向平面上的投影相错，各所述通孔（201）内设有调节销（202），所述调节销（202）能够沿所述通孔（201）移动并锁止于不同位置，所述调节销（202）的内端设有第二滚珠（203）并与所述导柱（100）相抵。
11.一种抛光装置，其特征在于，包括如权利要求1-10任一项所述的抛光夹具。