本公开涉及滤光片领域，更具体地涉及一种短波通紫外滤光片的制备方法。
背景技术：
1、滤光片是一种可以用来选取所需辐射波段的光学器件。滤光片的作用是通过选择性地控制不同波长的光透射，其在生活中的分布非常广泛，包括手机、汽车电子、医疗影像、传感器、视听/数码电子产品等等多个领域。
2、滤光片一般根据光谱波段可分为紫外滤光片、可见滤光片和红外滤光片。紫外滤光片可以吸收可见光，又允许紫外光通过，也允许部分近红外光通过。紫外带通滤光片上已在业界展开研制，但是依然需要进一步深入开发。
技术实现思路
1、鉴于背景技术中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种短波通紫外滤光片的制备方法，其在测试角度为0°紫外光段到可见光波段在透过段360-460nm的平均透过率为98％以上、截止段530-560nm的平均透过小于0.1％。
2、由此，一种短波通紫外滤光片的制备方法包括步骤：s1，将作为镜片的玻璃基底的产品的表面进行清洁处理；s2，将处理好的镜片放入工装夹具，装好后的镜片挂入真空镀膜机腔体内，腔体的温度设定为150℃；s3，真空镀膜机启动抽真空，真空度达到1.0×10-3pa，打开真空镀膜机的辅助镀膜的射频离子源进行清洗，清洗时间为6min，射频离子源的参数为：出射离子加速电压750v、出射离子电流为750ma、网栅离子偏转电压600v、氩气流量8sccm、氧气流量75sccm；s4，在镜片的第一面镀制短波通膜系，短波通膜系为80.04h90.05l 75.25h 79.63l 66.91h 101.42l 52.56h 105.14l 59.19h92.56l 62.15h 98.59l55.4h 102.89l 58.89h 95.45l 63.02h 98.14l 60.9h107.93l 58.64h 55.22l，其中，h表示一个λ0/4光学厚度的ta2o5膜层，l表示一个λ0/4光学厚度的sio2膜层，λ0为入射光波长，h与l前的数字为膜层的单位为nm的厚度，ta2o5和sio2膜层均使用电子束蒸镀且采用射频离子源辅助蒸镀，ta2o5膜层的沉积速率为0.4nm/s，sio2膜层的沉积速率为1nm/s；s5，在镜片的第一面镀制短波通膜系完成后，待腔体冷却至50-60℃以下将工装夹具连同产品取出；s6，重复步骤s1至步骤s3；s7，在镜片的第二面镀制增透膜系，增透膜系为16.53h 26.98l28.44h 76.55l，其中，h表示一个λ0/4光学厚度的ta2o5膜层，l表示一个λ0/4光学厚度的sio2膜层，λ0为入射光波长，h与l前的数字为膜层的单位为nm的厚度，ta2o5和sio2膜层均使用电子束蒸镀且采用射频离子源辅助蒸镀，ta2o5膜层的沉积速率为0.4nm/s，sio2膜层的沉积速率为1nm/s；s8，在镜片的第二面镀制增透膜系完成后，待腔体冷却至50-60℃以下将工装夹具连同产品取出。
3、本公开的有益效果如下：在根据本公开的短波通紫外滤光片的制备方法中，通过在镜片的第一面镀制ta2o5和sio2的22层构成的短波通膜系的步骤s4以及在镜片的第二面镀制ta2o5和sio2的4层构成的增透膜系的步骤s7，并结合步骤s1以及步骤s6的表面清洁、步骤s2以及步骤s6的腔体温度、步骤s3以及步骤s6的离子源清洗以及步骤s5和步骤s8的降温，测试角度为0°紫外光段到可见光波段在透过段360-460nm的平均透过率为98％以上、截止段530-560nm的平均透过小于0.1％。
1.一种短波通紫外滤光片的制备方法，其特征在于，包括步骤：
2.根据权利要求1所述的短波通紫外滤光片的制备方法，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的短波通紫外滤光片的制备方法，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的短波通紫外滤光片的制备方法，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的短波通紫外滤光片的制备方法，其特征在于，