本发明涉及真空磁控溅射镀膜，特别涉及一种在线可调磁钢。
背景技术：
1、在真空磁控溅射镀膜领域，磁场的均匀性是该技术的重点。目前传统的磁钢也具备调节功能，但是只能破真空，拆除磁钢，并拿到线下手动调节磁铁距离来调节磁场均匀性，而且往往需要边调节边测试才能达到较好的状态，并且随着使用靶材的消耗或者更换新的靶材等因素，还需要反复的调节。也就是说，当前磁钢的调节方式主要为线下调节，需要大量的时间，浪费人力物力财力。
技术实现思路
1、有鉴于此，本发明提供了一种在线可调磁钢，可有助于实现磁钢的在线调节，也就使磁钢随时可调，不需要破除真空，大大节省了调试时间，提高效率，节约成本。
2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
3、一种在线可调磁钢，应用于磁控溅射镀膜设备，包括：壳体、磁铁组件、调节机构；
4、所述磁铁组件设置于所述壳体内，且沿其长度方向预设有多个调节位；
5、所述调节机构包括：多个驱动组件和控制器；
6、多个所述驱动组件分别设置于所述壳体内，且用于一一驱使所述磁铁组件的多个调节位沿第一方向运动；其中，所述第一方向为所述磁铁组件的法线方向；
7、所述控制器与多个所述驱动组件均通讯连接，且用于一一控制多个所述驱动组件的运行。
8、优选地，所述壳体介于两端之间的第一壳壁为平壁结构，所述第一壳壁沿所述壳体的长度方向设有多个开口，且与所述磁铁组件的多个调节位一一对应；
9、多个所述驱动组件一一设置于所述第一壳壁的多个开口内，且其驱动端均能够沿所述第一方向运动，并与所述磁铁组件的多个调节位一一连接；
10、所述在线可调磁钢还包括多个密封盖；
11、多个所述密封盖一一安装于所述第一壳壁的多个开口外。
12、优选地，每个所述驱动组件包括：机壳、丝杠组件、传动组件和电机组件；
13、所述机壳设置于所述第一壳壁的开口内；
14、所述丝杠组件设置于所述机壳内；其中，所述丝杠组件的螺母可转动，并且在转动时能够带动其丝杠沿所述第一方向运动，所述丝杠远离所述开口的第一端作为所述驱动端；
15、所述电机组件设置于所述机壳外，且其输出端位于所述机壳内并通过所述传动组件带动所述螺母转动；
16、所述控制器与所述电机组件通讯连接，且用于控制所述电机组件的运行。
17、优选地，所述传动组件包括：第一锥齿轮和第二锥齿轮；
18、所述第一锥齿轮套设于所述电机组件的输出端；
19、所述第二锥齿轮套设于所述螺母，且用于同所述第一锥齿轮啮合。
20、优选地，所述驱动组件还包括：固定块和止转杆；
21、所述固定块设置于所述第一壳壁的开口外，且沿所述丝杠的长度方向分别开设有通槽和两个滑槽，两个所述滑槽位于所述通槽的两侧并与所述通槽连通；
22、所述密封盖能够封盖所述固定块；
23、所述丝杠的第二端穿出所述固定块的通槽；
24、所述止转杆垂直贯穿所述丝杠的第二端，且其两端一一位于所述固定块的两个滑槽内，并可沿所在的滑槽滑动。
25、优选地，所述调节机构还包括多个位置检测组件；
26、多个位置检测组件分别设置于所述壳体内，且用于一一检测多个所述丝杠的第一端的位置；其中，多个位置检测组件还分别与所述控制器通讯连接。
27、优选地，所述位置检测组件包括：灯珠、光栅和支架；
28、所述灯珠设置于所述丝杠的第一端；
29、所述光栅通过所述支架设置于所述机壳外，且与所述灯珠相对分布；其中，所述光栅与所述控制器通讯连接。
30、优选地，每个所述电机组件包括电机；
31、每个所述电机内均配备有控制电路板，用于控制所述电机的运行，且每个所述电机的控制电路板均具有单独的地址；
32、所述控制器与每个所述电机的控制电路板均通讯连接，且能够根据所述控制电路板的地址识别到对应的所述电机，并向对应的所述电机的控制电路板发送控制命令，用于控制对应的所述电机的运行。
33、优选地，每个所述电机的控制电路板还均配备有温度传感器和/或湿度传感器，且用于同所述磁控溅射镀膜设备的控制中心通讯连接。
34、一种磁控溅射镀膜设备，包括磁钢，所述磁钢为如上所述的在线可调磁钢。
35、从上述的技术方案可以看出，本发明提供的在线可调磁钢，通过在磁钢壳体内设有多个驱动组件，用于一一驱使磁铁组件的多个调节位沿特定方向运动，实现磁铁组件多个调节位的磁场位置的一一调节，而且多个驱动组件还与外部的控制器通讯连接，以便在磁钢外部一一控制多个驱动组件的运行，这样一来，可有助于实现磁钢的在线调节，也就使磁钢随时可调，不需要破除真空，大大节省了调试时间，提高效率，节约成本。
1.一种在线可调磁钢，应用于磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括：壳体(1)、磁铁组件、调节机构；
2.根据权利要求1所述的在线可调磁钢，其特征在于，所述壳体(1)介于两端之间的第一壳壁(1.1)为平壁结构，所述第一壳壁(1.1)沿所述壳体(1)的长度方向设有多个开口，且与所述磁铁组件的多个调节位一一对应；
3.根据权利要求2所述的在线可调磁钢，其特征在于，每个所述驱动组件包括：机壳(3)、丝杠组件、传动组件和电机组件；
4.根据权利要求3所述的在线可调磁钢，其特征在于，所述传动组件包括：第一锥齿轮(6)和第二锥齿轮(7)；
5.根据权利要求3所述的在线可调磁钢，其特征在于，所述驱动组件还包括：固定块(8)和止转杆(9)；
6.根据权利要求3所述的在线可调磁钢，其特征在于，所述调节机构还包括多个位置检测组件；
7.根据权利要求6所述的在线可调磁钢，其特征在于，所述位置检测组件包括：灯珠(10)、光栅(11)和支架(12)；
8.根据权利要求3所述的在线可调磁钢，其特征在于，每个所述电机组件包括电机(13)；
9.根据权利要求8所述的在线可调磁钢，其特征在于，每个所述电机(13)的控制电路板还均配备有温度传感器和/或湿度传感器，且用于同所述磁控溅射镀膜设备的控制中心通讯连接。
10.一种磁控溅射镀膜设备，包括磁钢，其特征在于，所述磁钢为如权利要求1-9任意一项所述的在线可调磁钢。