一种便于拆装的喷嘴的制作方法

文档序号:39305957发布日期:2024-09-06 01:20阅读:64来源:国知局

本技术涉及常压化学气相沉积机领域,具体是一种便于拆装的喷嘴。


背景技术:

1、常压化学气相沉积机,也被称为常压化学气相沉积设备,是一种在接近大气压力的环境下进行薄膜沉积的设备。其工作原理是将气态反应源均匀喷射至加热的固体衬底表面,使反应源在衬底表面发生化学反应,反应产物在衬底表面沉积形成薄膜,这种设备在薄膜制备领域具有广泛的应用,可以用于制备多种材料的薄膜,如单晶硅、多晶硅、二氧化硅、氧化锌、二氧化钛、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃等。这些薄膜在半导体、光电子、太阳能等领域有着广泛的应用,常压式化学气相沉积机具有一些优点,如设备简单、操作方便、沉积速率快等。然而,由于在大气压力下进行反应,可能存在一些气体杂质和反应副产物的影响,因此需要对原料气体和反应条件进行精确控制,以获得高质量的薄膜,在使用该设备进行生产工作时,往往需要利用喷嘴将产出的物体排出。

2、在现有技术中,多数的喷头与连接管的连接质量不佳,容易出现喷头脱落而影响喷头使用效率的情况发生,降低了装置的使用效率,此外喷头中的喷嘴难以更换,不便于工作人员根据实际情况对喷嘴进行更换。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种便于拆装的喷嘴,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

3、一种便于拆装的喷嘴,包括连接管,所述连接管右侧设置有喷头,所述连接管右侧外壁上设置有安装板,安装板上滑动设置有卡块,所述喷头侧壁上设置有与卡块配合使用的卡槽,所述连接管内部还滑动设置有滑板,滑板内壁上设置有第一插杆,所述卡块上设置有与第一插杆配合使用的插孔,所述滑板外壁上还设置有支杆,支杆贯穿连接管且与连接管滑动连接,所述喷头上还设置有喷嘴,所述喷头上滑动设置有滑杆,滑杆内侧末端设置有第二插杆,所述喷嘴上设置有与第二插杆配合使用插孔,所述滑杆外侧套设有第三弹簧,第三弹簧一端与喷头连接,所述第三弹簧另一端与第二插杆连接。

4、作为本实用新型进一步的方案:所述喷头上还通过合页设置有密封盖,所述密封盖上还通过支板设置有固定螺栓,所述连接管上设置有与固定螺栓配合使用的固定板。

5、作为本实用新型再进一步的方案:所述支杆外侧套设有第一弹簧。

6、作为本实用新型再进一步的方案:所述第一弹簧一端与连接管连接,所述第一弹簧另一端与滑板连接。

7、作为本实用新型再进一步的方案:所述安装板上还设置有第二弹簧,第二弹簧另一端与卡块连接。

8、作为本实用新型再进一步的方案:所述滑杆外侧末端设置有把手。

9、相较于现有技术,本实用新型的有益效果如下:

10、1、在第二插杆的作用下,不仅保证了喷嘴的固定质量,同时也方便了对喷嘴进行拆卸,从而方便了工作人员对其进行更换,使得装置可以更好的满足实际使用需求,提高了装置的适用性;

11、2、在卡块以及卡槽的作用下,可以对连接管以及喷头进行固定,从而保证了喷头的安装质量,配合第一插杆使用,使得喷头的安装质量得到进一步提升,从而保证了喷头的使用效率。



技术特征:

1.一种便于拆装的喷嘴,包括连接管(1),其特征在于,所述连接管(1)右侧设置有喷头(2),所述连接管(1)右侧外壁上设置有安装板(7),安装板(7)上滑动设置有卡块(8),所述喷头(2)侧壁上设置有与卡块(8)配合使用的卡槽(10),所述连接管(1)内部还滑动设置有滑板(3),滑板(3)内壁上设置有第一插杆(4),所述卡块(8)上设置有与第一插杆(4)配合使用的插孔,所述滑板(3)外壁上还设置有支杆(6),支杆(6)贯穿连接管(1)且与连接管(1)滑动连接,所述喷头(2)上还设置有喷嘴(13),所述喷头(2)上滑动设置有滑杆(15),滑杆(15)内侧末端设置有第二插杆(16),所述喷嘴(13)上设置有与第二插杆(16)配合使用插孔,所述滑杆(15)外侧套设有第三弹簧(17),第三弹簧(17)一端与喷头(2)连接,所述第三弹簧(17)另一端与第二插杆(16)连接。

2.根据权利要求1所述的便于拆装的喷嘴,其特征在于,所述喷头(2)上还通过合页(11)设置有密封盖(12),所述密封盖(12)上还通过支板设置有固定螺栓(14),所述连接管(1)上设置有与固定螺栓(14)配合使用的固定板。

3.根据权利要求1所述的便于拆装的喷嘴,其特征在于,所述支杆(6)外侧套设有第一弹簧(5)。

4.根据权利要求3所述的便于拆装的喷嘴,其特征在于,所述第一弹簧(5)一端与连接管(1)连接,所述第一弹簧(5)另一端与滑板(3)连接。

5.根据权利要求1所述的便于拆装的喷嘴,其特征在于,所述安装板(7)上还设置有第二弹簧(9),第二弹簧(9)另一端与卡块(8)连接。

6.根据权利要求1所述的便于拆装的喷嘴,其特征在于,所述滑杆(15)外侧末端设置有把手(1501)。


技术总结
本技术公开了一种便于拆装的喷嘴,涉及常压化学气相沉积机领域,包括连接管,连接管右侧设置喷头,连接管上通过安装板设置卡块,喷头侧壁上设置与卡块配合使用的卡槽,连接管内部通过滑板设置第一插杆,滑板外壁上设置支杆,喷头上设置喷嘴,喷头上通过滑杆设置第二插杆,喷嘴上设置与第二插杆配合使用插孔,滑杆外侧套设有第三弹簧。本技术在第二插杆的作用下,不仅保证了喷嘴的固定质量,同时也方便了对喷嘴进行拆卸,从而方便了工作人员对其进行更换,提高了装置的适用性,在卡块以及卡槽的作用下,可以对连接管以及喷头进行固定,从而保证了喷头的安装质量,配合第一插杆使用,保证了喷头的使用效率。

技术研发人员:刘招林
受保护的技术使用者:无锡柏斯威科技有限公司
技术研发日:20240116
技术公布日:2024/9/5
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