本技术涉及cvd加工领域，具体而言，涉及一种分体式cvd进出炉载具。
背景技术：
1、化学气相沉积简称：cvd，是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。cvd沉积作业过程中，需要把物料放置在进出炉的载具上，然后进行沉积。
2、现有的技术中在化学气相沉积后，由于载具较长，需要工作人员将手臂伸载具内进行拿取，所以不方便把载具内的物料取出，此外载具端盖处通常使用螺丝固定，不方便把端盖取下，不利于提高工作效率。
3、因此我们对此做出改进，提出一种分体式cvd进出炉载具。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于：针对目前存在的在化学气相沉积后，由于载具较长，需要工作人员将手臂伸载具内进行拿取，所以不方便把载具内的物料取出，此外载具端盖处通常使用螺丝固定，不方便把端盖取下，不利于提高工作效率。
2、为了实现上述实用新型目的，本实用新型提供了以下技术方案：
3、分体式cvd进出炉载具，以改善上述问题。
4、本申请具体是这样的：
5、包括载筒，所述载筒一端螺纹连接有第一密封端盖，所述第一密封端盖侧壁设置有第二密封端盖，所述第一密封端盖内滑动连接有滑动板，所述滑动板上转动连接有连接杆，所述连接杆一端固定连接有连接板，所述连接板一端固定连接有载物板，所述载物板与载筒滑动连接，所述第二密封端盖上转动连接有螺杆，所述螺杆上螺纹连接有移动环，所述移动环外壁铰接有推动板，所述推动板另一端铰接有辅助板，所述辅助板一端固定安装有插块。
6、作为本申请优选的技术方案，所述第一密封端盖上开设有与插块相配合的插槽，所述插槽内腔开设有锁紧槽。
7、作为本申请优选的技术方案，所述辅助板与第二密封端盖滑动连接，所述辅助板上固定安装有限位板，所述限位板与第二密封端盖贴合。
8、作为本申请优选的技术方案，所述载筒内固定安装有滑轨。
9、作为本申请优选的技术方案，所述载物板两端固定安装有滑条，所述滑条与滑轨相配合。
10、作为本申请优选的技术方案，所述螺杆远离第二密封端盖的一端固定安装有驱动块。
11、作为本申请优选的技术方案，所述筒右端设置有法兰。
12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果：
13、在本申请的方案中：
14、1.通过设置的拉动第一密封端盖，第一密封端盖带动滑动板，滑动板带动连接杆，连接杆带动连接板移动，连接板带动载物板移动，载物板带动滑条顺着滑轨滑动，便把载物板移动出来，实现了在取下端盖的同时，端盖可直接带动物料移动出来，方便拿取载物板上的物料，解决了现有技术中由于载具较长，需要工作人员将手臂伸载具内进行拿取物料，不方便把载具内的物料取出的问题；
15、2.通过设置的驱动块带动螺杆转动，螺杆转动带动移动环移动，移动环移动带动推动板，推动板带动辅助板移动，辅助板带动插块从锁紧槽内移动至插槽处，此时便可把第二密封端盖取下，实现了端盖可快速取下，解决了现有技术中载具端盖处通常使用螺丝固定，不方便把端盖取下，不利于提高工作效率的问题。
1.一种分体式cvd进出炉载具，包括载筒(1)，其特征在于，所述载筒(1)一端螺纹连接有第一密封端盖(2)，所述第一密封端盖(2)侧壁设置有第二密封端盖(3)，所述第一密封端盖(2)内滑动连接有滑动板(4)，所述滑动板(4)上转动连接有连接杆(5)，所述连接杆(5)一端固定连接有连接板(6)，所述连接板(6)一端固定连接有载物板(7)，所述载物板(7)与载筒(1)滑动连接，所述第二密封端盖(3)上转动连接有螺杆(8)，所述螺杆(8)上螺纹连接有移动环(9)，所述移动环(9)外壁铰接有推动板(10)，所述推动板(10)另一端铰接有辅助板(11)，所述辅助板(11)一端固定安装有插块(12)。
2.根据权利要求1所述的一种分体式cvd进出炉载具，其特征在于，所述第一密封端盖(2)上开设有与插块(12)相配合的插槽(13)，所述插槽(13)内腔开设有锁紧槽(14)。
3.根据权利要求1所述的一种分体式cvd进出炉载具，其特征在于，所述辅助板(11)与第二密封端盖(3)滑动连接，所述辅助板(11)上固定安装有限位板(15)，所述限位板(15)与第二密封端盖(3)贴合。
4.根据权利要求1所述的一种分体式cvd进出炉载具，其特征在于，所述载筒(1)内固定安装有滑轨(17)。
5.根据权利要求1所述的一种分体式cvd进出炉载具，其特征在于，所述载物板(7)两端固定安装有滑条(19)，所述滑条(19)与滑轨(17)相配合。
6.根据权利要求1所述的一种分体式cvd进出炉载具，其特征在于，所述螺杆(8)远离第二密封端盖(3)的一端固定安装有驱动块(16)。
7.根据权利要求4所述的一种分体式cvd进出炉载具，其特征在于，所述载筒(1)右端设置有法兰(18)。