带有防腐层的新型pecvd沉积槽的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种PECVD沉积槽，尤其是一种带有防腐层的新型PECVD沉积槽。
【背景技术】
[0002]由于在PECVD沉积槽的顶部表面覆盖有能够污染物与沉积槽本体之间的粘合力的喷砂层与等离子层，因此，当沉积槽本体表面粘合的污染物过多时，其污染物会慢慢对喷砂层与等离子层进行腐蚀，从而渗透至沉积槽本体的表面，对其进行腐蚀。
【发明内容】
[0003]针对上述问题中存在的不足之处，本实用新型提供一种具有良好防腐效果，以避免污染物对沉积槽进行腐蚀的带有防腐层的新型PECVD沉积槽。
[0004]为实现上述目的，本实用新型提供一种带有防腐层的新型PECVD沉积槽，包括沉积槽本体(I)、以及依次覆盖在其顶部表面的喷砂层(2)与等离子层(3)，在所述喷砂层(2)与所述沉积槽本体(I)的顶部表面之间还覆盖有矿脂防腐层(4)，所述矿脂防腐层(4)由所述矿脂底漆层(41)、矿脂胶泥层(42)、矿脂胶带层(43)与外保护带(44)四层复合构成。
[0005]上述的带有防腐层的新型PECVD沉积槽，其中，所述矿脂胶带层(43)由已经浸渍过防腐矿脂的背材层(431)、防腐胶层(432)与防粘膜层(433)三层复合构成。
[0006]上述的带有防腐层的新型PECVD沉积槽，其中，所述矿脂胶带层(43)的厚度为I一
1.5mm0
[0007]上述的带有防腐层的新型PECVD沉积槽，其中，在所述沉积槽本体(I)的底部表面还覆盖有外保护带(44)。
[0008]上述的带有防腐层的新型PECVD沉积槽，其中，所述沉积槽本体(I)为不锈钢V字形板槽，其厚度为1.2mm。
[0009]与现有技术相比，本实用新型具有以下优点:
[0010]本实用新型通过在其顶部表面增加矿脂防腐层，从而使其具有良好的防腐效果，以避免污染物对沉积槽进行腐蚀，其中，矿脂底漆层能很好的降低沉积槽本体的粗糙度，并保证矿脂胶泥和沉积槽本体外表面能够紧密结合，并使得矿脂胶泥能很好的涂覆、填充在凹凸不平的工件表面，找平工件，密封性好；PVC外保护带能很好的保护内部的矿脂胶泥及矿脂胶带，从而形成一个密封防腐整体。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构图；
[0012]图2为图1中A部分的放大图；
[0013]图3为本实用新型矿脂胶带层的结构图。
[0014]主要附图标记说明如下:
[0015]1-沉积槽本体；2_喷砂层；3_等离子层；4_矿脂防腐层；41_矿脂底漆层；42_矿脂胶泥层；43_矿脂胶带层；431_背材层；432_防腐胶层；433_防粘膜层；44_外保护带
【具体实施方式】
[0016]如图1至图3所示，本实用新型包括沉积槽本体1、以及依次覆盖在其顶部表面的喷砂层2与等离子层3，其中，沉积槽本体I为不锈钢V字形板槽，其厚度为1.2mm。在喷砂层2与沉积槽本体I的顶部表面之间还覆盖有矿脂防腐层4，矿脂防腐层4由矿脂底漆层41、矿脂胶泥层42、矿脂胶带层43与外保护带44四层复合构成。其中，矿脂胶带层43的厚度为I一1.5mm，由已经浸渍过防腐矿脂的背材层431、防腐胶层432与防粘膜层433三层复合构成。外保护带44为PVC外保护带。
[0017]在加工时，首先，在沉积槽本体的顶部表面涂上一层矿脂底漆层，以便能很好的降低工件的粗糙度，并保证矿脂胶泥层和沉积槽本体的顶部表面能够紧密结合；其次，再刮涂上一层矿脂胶泥层，使得矿脂胶泥层能够很好的涂覆、填充在凹凸不平的沉积槽本体表面，找平沉积槽本体表面；再次，再包上一层矿脂胶带层，保证良好的防腐效果；然后，在矿脂胶带层的表面再包上一层PVC外保护带层，从而形成一个密封的防腐整体；然后，通过喷砂机在沉积槽本体的顶部表面进行喷砂处理，形成喷砂层；最后，通过电镀技术在喷砂层的顶面形成一层等离子层，以增强污染物与沉积槽之间的粘合力。
[0018]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，对发明而言仅仅是说明性的，而非限制性的。本专业技术人员理解，在发明权利要求所限定的精神和范围内可对其进行许多改变，修改，甚至等效，但都将落入本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种带有防腐层的新型PECVD沉积槽，包括沉积槽本体(I)、以及依次覆盖在其顶部表面的喷砂层(2)与等离子层(3)，其特征在于，在所述喷砂层(2)与所述沉积槽本体(I)的顶部表面之间还覆盖有矿脂防腐层(4)，所述矿脂防腐层(4)由所述矿脂底漆层(41)、矿脂胶泥层(42)、矿脂胶带层(43)与外保护带(44)四层复合构成。
2.根据权利要求1所述的带有防腐层的新型PECVD沉积槽，其特征在于，所述矿脂胶带层(43)由已经浸渍过防腐矿脂的背材层(431)、防腐胶层(432)与防粘膜层(433)三层复合构成。
3.根据权利要求2所述的带有防腐层的新型PECVD沉积槽，其特征在于，所述矿脂胶带层(43)的厚度为I一 1.5mm。
4.根据权利要求3所述的带有防腐层的新型PECVD沉积槽，其特征在于，所述外保护带(44)为PVC外保护带。
5.根据权利要求1至4中任一所述的带有防腐层的新型PECVD沉积槽，其特征在于，所述沉积槽本体(I)为不锈钢V字形板槽，其厚度为1.2mm。
【专利摘要】本实用新型提供一种带有防腐层的新型PECVD沉积槽，包括沉积槽本体、以及依次覆盖在其顶部表面的喷砂层与等离子层，在喷砂层与沉积槽本体的顶部表面之间还覆盖有矿脂防腐层，矿脂防腐层由矿脂底漆层、矿脂胶泥层、矿脂胶带层与外保护带四层复合构成。本实用新型通过在其顶部表面增加矿脂防腐层，从而使其具有良好的防腐效果，以避免污染物对沉积槽进行腐蚀，其中，矿脂底漆层能很好的降低沉积槽本体的粗糙度，并保证矿脂胶泥和沉积槽本体外表面能够紧密结合，并使得矿脂胶泥能很好的涂覆、填充在凹凸不平的工件表面，找平工件，密封性好；PVC外保护带能很好的保护内部的矿脂胶泥及矿脂胶带，从而形成一个密封的防腐整体。
【IPC分类】B32B1-02, C23C16-513
【公开号】CN204417590
【申请号】CN201520031860
【发明人】雷晓宏
【申请人】北京通嘉宏盛科技有限公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2015年1月16日