CrN镜面膜层脱退系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空镀膜技术领域，涉及真空镀膜不良品膜层的脱退技术。
【背景技术】
[0002]随着3C (计算机Computer、通讯 Communicat1n、消费电子Consumer Electronic)产品的快速发展，越来越多的产品表面都需要作物理气相沉积(Physical VaporDeposit1n，PVD)处理，其中用得最多及常见的一种膜层就是在不锈钢表面做CrN (氮化铬)，该膜层呈银灰色，较耐磨、耐腐蚀，但沉积该膜层制程中或多或少会有不良品出现，现大多数企业针对出现的不良品束手无策，即使是能脱掉膜层也是导致产品表面发朦失去镜面效果需重新抛光或报废处理，造成极大的浪费，增加了企业的生产成本。
【实用新型内容】
[0003]为了克服现有技术的上述缺点，本实用新型提供一种能有效脱掉不良膜层而产品表面仍呈镜面效果，清洗后可直接进行PVD重工，大大提高了返工效率的CrN镜面膜层脱退系统。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种CrN镜面膜层脱退系统，包括带加热温控系统和超声波系统的不锈钢槽，该可加热超声波不锈钢槽的下方伸入有一根管道，该管道另一端则与一个耐酸碱过滤泵相连通，在该耐酸碱过滤泵的另一端则设有一根出料管道，该出料管道与滤芯相连通，该滤芯则又与可加热超声波不锈钢槽的上端相连通，并将过滤后的滤液输送回可加热超声波不锈钢槽。
[0005]所述可加热超声波不锈钢槽包括上部的盛放药剂的药剂输送层及位于输送层下端的药剂沉淀层。
[0006]本实用新型的有益效果是:通过本系统能在不锈钢表面做CrN，该膜层呈银灰色，较耐磨、耐腐蚀，同时能有效脱掉不良膜层而产品表面仍呈镜面效果，清洗后可直接进行PVD重工，大大提高了返工效率，具有使用方便、降低企业生产成本、提高成品的质量。
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型结构示意图。
[0008]图中:1-可加热超声波不锈钢槽，2-药剂输送层，3-药剂沉淀层，4-耐酸碱过滤泵，5-滤芯。
【具体实施方式】
[0009]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0010]参见图1，一种CrN镜面膜层脱退系统，包括一个带加热温控系统和超声波系统的不锈钢槽1，可加热超声波不锈钢槽I包括上部的盛放药剂的药剂输送层2及位于输送层下端的药剂沉淀层3，该可加热超声波不锈钢槽I的下方伸入有一根管道，该管道另一端则与一个耐酸碱过滤泵4相连通，在该耐酸碱过滤泵4的另一端则设有一根出料管道，该出料管道与滤芯5相连通，该滤芯5则又与可加热超声波不锈钢槽I的上端相连通，并将过滤后的滤液输送回可加热超声波不锈钢槽I。
[0011]通过本系统能在不锈钢表面做CrN，该膜层呈银灰色，较耐磨、耐腐蚀，同时能有效脱掉不良膜层而产品表面仍呈镜面效果，清洗后可直接进行PVD重工，大大提高了返工效率，具有使用方便、降低企业生产成本、提高成品的质量。
【主权项】
1.一种CrN镜面膜层脱退系统，包括带加热温控系统和超声波系统的不锈钢槽，其特征是:该不锈钢槽的下方伸入有一根管道，该管道另一端则与一个耐酸碱过滤泵相连通，在该耐酸碱过滤泵的另一端则设有一根出料管道，该出料管道与滤芯相连通，该滤芯则又与不锈钢槽的上端相连通，并将过滤后的滤液输送回不锈钢槽。2.如权利要求1所述CrN镜面膜层脱退系统，其特征是:所述不锈钢槽包括上部的盛放药剂的药剂输送层及位于输送层下端的药剂沉淀层。
【专利摘要】本实用新型涉及一种CrN镜面膜层脱退系统，包括带加热温控系统和超声波系统的不锈钢槽，该可加热超声波不锈钢槽的下方伸入有一根管道，该管道另一端则与一个耐酸碱过滤泵相连通，在该耐酸碱过滤泵的另一端则设有一根出料管道，该出料管道与滤芯相连通，该滤芯则又与可加热超声波不锈钢槽的上端相连通，并将过滤后的滤液输送回可加热超声波不锈钢槽。具有使用方便、降低企业生产成本、提高成品的质量。
【IPC分类】C23C14/00
【公开号】CN204625780
【申请号】CN201420855719
【发明人】杜旭颖, 阮志明, 廖生, 陈明胜, 曾德强, 王大洪
【申请人】深圳市正和忠信股份有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2014年12月30日