一种冷喷涂银靶隔音房的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种冷喷涂银靶隔音房，涉及靶材生产过程中使用的重要设备，具体地说是一种能起到隔音、防尘、气氛保护和回收银粉作用的装置，属于冷喷涂银技术领域。
【背景技术】
[0002]LOW-E玻璃在真空磁控溅射镀膜生产过程中，需要镀制氮化硅层、银层和镍铬层等膜层，其中起到降低辐射率功能的银层是最重要的功能层，厚度一般小于20nm，此膜层的质量直接影响到LOW-E玻璃最重要的参数一辐射率。目前国内普遍采用平面银靶来进行真空磁控溅射镀膜。但是平面靶材存在两个严重的缺陷，一是溅射效率低，二是平面靶材由若干小块拼接而成，存在接缝，影响了膜层的均匀性。现在国际上已经有一些厂家用绑定的旋转银靶来生产LOW-E玻璃，生产效率高。但是绑定的旋转银靶同样存在接缝，影响了膜层的均匀行，并且生产成本非常高昂。冷喷涂工艺是正在兴起的旋转银靶生产工艺，此工艺生产的旋转银靶致密度高，晶粒尺寸小，成本相对较低，最重要的是没有接缝。但是冷喷涂生产过程中，噪音很大，有粉尘产生，同时银粉也会损失，这就需要隔音房来解决这些问题。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于克服上述不足之处，提供一种冷喷涂银靶隔音房，此隔音房能起到隔音、防尘、气氛保护和回收银粉的作用，并且其结构简单，成本低廉。
[0004]按照本实用新型提供的技术方案，一种冷喷涂银靶隔音房，包括隔音房体，隔音房体固定于地面上，地面上做防尘处理。所述隔音房体内设有转台，转台通过夹具装卡银靶；在银靶上方设有喷枪，喷枪下方设有银粉承接器，隔音房体内还设有银粉收集器，银粉承接器和银粉收集器连接。
[0005]所述银粉收集器上端设有出气口，内部设有沉积板和导向板，导向板设置于沉积板下方;银粉收集器下端还设有取粉口和银粉收集器接口。所述银粉承接器下端设有银粉承接器接口 ；所述银粉承接器接口和银粉收集器接口通过软管连接。所述喷枪可移动，银粉承接器与喷枪同步移动。
[0006]所述隔音房体上设有门，隔音房体顶上正中开设有天窗，门和天窗均向内开启，门和天窗上设有密封垫。当天窗关闭时可以保证有良好的密封性，天窗由气动控制。隔音房体与地面结合处用密封胶处理，达到完全的密封性。
[0007]所述隔音房体采用钢板焊接而成，钢板内设有岩棉。所述钢板为4mm，岩棉为20cm。岩棉用2毫米后的不锈钢板固定，不锈钢板上有密集的孔，喷涂时产生的噪声穿过孔被岩棉吸收。
[0008]本实用新型的有益效果:本实用新型产品结构简单、构思巧妙合理，成本低廉，此隔音房既能隔音，又能把昂贵的银粉回收，降低了生产成本，并且有气氛保护作用，把银靶材的氧含量降到很低的水平。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型结构示意图。
[0010]附图标记说明:1、隔音房体;2、转台；3、银粉收集器;4、出气口；5、取粉口；6、银靶；7、沉积板;8、喷枪;9、银粉承接器；1、银粉承接器接口； 11、夹具；12、银粉收集器接口； 13、导向板。
【具体实施方式】
[0011]如图1所示:一种冷喷涂银靶隔音房，包括隔音房体1，隔音房体I固定于地面上，所述隔音房体I内设有转台2，转台2通过夹具11装卡银靶6;在银靶6上方设有喷枪8，喷枪8下方设有银粉承接器9，隔音房体I内还设有银粉收集器3，银粉承接器9和银粉收集器3连接。
[0012]所述银粉收集器3上端设有出气口4，内部设有沉积板7和导向板13，导向板13设置于沉积板7下方;银粉收集器3下端还设有取粉口 5和银粉收集器接口 12。
[0013]所述银粉承接器9下端设有银粉承接器接口10;所述银粉承接器接口 10和银粉收集器接口 12通过软管连接。
[0014]所述喷枪8可移动，银粉承接器9与喷枪8同步移动。
[0015]所述隔音房体I上设有门，隔音房体I顶上正中开设有天窗，门和天窗均向内开启，门和天窗上设有密封垫。所述隔音房体I采用钢板焊接而成，钢板内设有岩棉。所述钢板为4mm，岩棉为20cm。
[0016]本实用新型工作时，向内打开隔音房体I内的天窗，把靶材背管，即银靶6连同夹具11通过天车吊装并安装到转台2上。关闭天窗，人员退出到房外，关闭房门。启动转台2，启动冷嗔涂程序，开始嗔涂。
[0017]银粉以超音速从喷枪射出，喷到(靶材)背管，即银靶6上，同时喷出大量的氮气。隔音房内气压开始升高，形成从银粉承接器9 一直到隔音房体I外的气流，银粉承接器9产生吸力。绝大部分银粉沉积在(靶材)背管，即银靶6上。没有沉积上的银粉随气流被吸入银粉承接器9，通过软管被送到银粉收集器3。此时截面积变大，气流速度变慢，银粉开始逐渐下落到沉积板7上。接着银粉从沉积板7落向导向板13，最后通过取粉口 5流出银粉至容器内。
[0018]银粉收集器3高度经过合理的设计，使得几乎全部的银粉都能沉积下来，排出的气体很洁净。由于出口截面积较小，不会有气体和灰尘从外部进入，使得隔音房体I内保持洁净和氮气保护的氛围，生产的银靶氧含量非常低。当靶材喷涂完成后，打开天窗和房门，等空气完全进入隔音房后，操作人员进入，卸下靶材，从天窗吊出。最后从银粉出口取出银粉，装入密闭的容器中，留作以后使用。
【主权项】
1.一种冷喷涂银靶隔音房，包括隔音房体(I)，隔音房体(I)固定于地面上，其特征是:所述隔音房体(I)内设有转台(2)，转台(2)通过夹具(11)装卡银靶(6);在银靶(6)上方设有喷枪(8)，喷枪(8)下方设有银粉承接器(9)，隔音房体(I)内还设有银粉收集器(3)，银粉承接器(9)和银粉收集器(3)相连。2.如权利要求1所述冷喷涂银靶隔音房，其特征是:所述银粉收集器(3)上端设有出气口(4)，内部设有沉积板(7)和导向板(13)，导向板(13)设置于沉积板(7)下方;银粉收集器(3)下端还设有取粉口(5)和银粉收集器接口(12)。3.如权利要求1或2所述冷喷涂银靶隔音房，其特征是:所述银粉承接器(9)下端设有银粉承接器接口( 10);所述银粉承接器接口( I O)和银粉收集器接口( 12)通过软管连接。4.如权利要求1所述冷喷涂银靶隔音房，其特征是:所述喷枪(8)可移动，银粉承接器(9)与喷枪(8)同步移动。5.如权利要求1-4之一所述冷喷涂银靶隔音房，其特征是:所述隔音房体(I)上设有门，隔音房体(I)顶上正中开设有天窗，门和天窗均向内开启，门和天窗上均设有密封垫。6.如权利要求5所述冷喷涂银靶隔音房，其特征是:所述隔音房体(I)采用钢板焊接而成，钢板内设有岩棉。7.如权利要求6所述冷喷涂银靶隔音房，其特征是:所述钢板为4mm，岩棉为20cm。
【专利摘要】本实用新型涉及一种冷喷涂银靶隔音房，属于冷喷涂银技术领域。其包括隔音房体，隔音房体固定于地面上，地面上做防尘处理。所述隔音房体内设有转台，转台通过夹具装卡银靶；在银靶上方设有喷枪，喷枪下方设有银粉承接器，隔音房体内还设有银粉收集器，银粉承接器和银粉收集器连接。本实用新型产品结构简单、构思巧妙合理，成本低廉，此隔音房既能隔音，又能把昂贵的银粉回收，降低了生产成本，并且有气氛保护作用，把银靶材的氧含量降到很低的水平。
【IPC分类】C23C14/35, C23C24/04
【公开号】CN205223352
【申请号】CN201520996913
【发明人】秦国强, 胡习光, 张志祥, 常金永
【申请人】江阴恩特莱特镀膜科技有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2015年12月3日