技术领域
本实用新型涉及一种晶体生产工具,尤其是一种新型晶体生长炉加热器。
背景技术:
人造蓝宝石晶体的晶体硬度很高,为莫氏硬度9级,仅次于金刚石,具有很好的透光性,热传导性和电气绝缘性,力学机械性能好。人造蓝宝石晶体作为一种重要的技术晶体,已广泛地应用于科学技术、国防与民用工业、电子技术的许多领域。
长晶坩埚是目前生产蓝宝石晶体的主要工具,现有蓝宝石晶体生长炉的加热器一般采用电阻加热和感应加热,其中属于电阻加热主要有泡生法的鸟笼状加热器、热交换法的网状加热器以及筒状加热器,感应加热方式主要有坩埚下降法的中频感应加热等。其中鸟笼状和筒状加热器有一个共同的缺点,即整个加热器为一个整体,长时间使用变形后更换成本较高。而网状加热器而容易变形,长晶一轮后基本都会发生不同程度的变形,导致加热温度不均,造成化料时籽晶熔接不对称,引起复杂的晶体缺陷,而且在退火时会引起晶体开裂。最后中频感应加热器不适用于大直径蓝宝石晶体生长。综合几乎所有加热器都有一个共同缺点:维护更换成本较高。
技术实现要素:
发明目的:针对现有技术的不足,申请人经过长期的实践探索,设计了一种新型晶体生长炉加热器。
技术方案:为了实现上述发明目的,本实用新型所采用的技术方案为:一种新型晶体生长炉加热器,包括12个电极和若干条状钨杆,其中6个电极围成环状形成上端面,另外6个电极围成环状形成与上端面形状相同的下端面,在所述上端面与下端面之间纵向设置条状钨杆。
每个条状钨杆与上、下端面的电极之间使用紧固螺栓连接。所述条状钨杆呈均匀分布,这样就能使本装置加热更加均匀。
每相邻的2个围成所述上端面的电极为一组,这样就形成了三组电极。本装置使用三相电源,所述电极通过电源连接部与三相电源连接。
有益效果:本实用新型与现有技术相比,其有益效果是:
1、本实用新型采用多个条状钨杆组成,呈均匀分布,使得加热更加均匀和对称,并且可以保持由下到上、由中心到边缘温度逐渐升高的一个稳定的对称的热场,从而保证长晶的质量;
2、本装置的维护更新成本低,由于加热器是由多个单独条状钨杆分别固定在上下的电极上,任一条状钨杆发生变形,都可以单独更换,不需要更换整个加热器,因此更换成本更低,操作也更加简单;
3、本装置的条状钨杆更容易清理,解决了网状加热器不可清洁网状钨丝的缺点。
附图说明
图1为本实用新型一种新型晶体生长炉加热器的结构示意图。
图2为本实用新型中上端面电极与电源连接部的连接示意图。
图3为本实用新型中电极与条状钨杆的连接示意图。
具体实施方式
下面通过一个最佳实施例,对本技术方案进行详细说明,但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。
如图1所示,一种新型晶体生长炉加热器,包括12个电极1和条状钨杆2,其中6个电极1围成环状形成上端面,6个电极1围成环状形成与上端面形状相同的下端面,在所述上端面与下端面之间设置条状钨杆2。
如图2所示,本实用新型使用三相电源供电,所述电极1通过电源连接部3与三相电源连接。每相邻的2个围成上端面的电极1为一组,这样就形成了三组电极。
如图3所示,所述条状钨杆2与上、下端面的电极1之间使用紧固螺栓4连接,任一条状钨杆2都单独固定,所有的条状钨杆2呈均匀分布,并且任一条状钨杆2发生变形时,都可以单独更换。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出:对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
1.一种新型晶体生长炉加热器,其特征在于:包括12个电极(1)和条状钨杆(2),6个电极(1)围成环状形成上端面,6个电极(1)围成环状形成与上端面形状相同的下端面,所述上端面与下端面之间设置条状钨杆(2)。
2.根据权利要求1所述的一种新型晶体生长炉加热器,其特征在于:所述条状钨杆(2)与上、下端面的电极(1)之间使用紧固螺栓(4)连接。
3.根据权利要求1所述的一种新型晶体生长炉加热器,其特征在于:所述电极(1)通过电源连接部(3)与三相电源连接。