一种防堵塞膜法氨气处理回收装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种防堵塞膜法氨气处理回收装置，包括与氨气收集管道相连的过滤装置，其特征在于：所述的过滤装置前的管道上设有一含碱性溶液的喷雾装置。本实用新型所述的一种防堵塞膜法氨气处理回收装置，用于完善氮化镓led工艺废气的氨气回收，具有的有益效果为：可以有效避免膜组件堵塞，延长氨气回收膜组件的寿命。
【专利说明】一种防堵塞膜法氨气处理回收装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及氨气处理领域，特别涉及一种防堵塞膜法氨气处理回收装置。
【背景技术】
[0002]目前利用膜法对氨气进行回收的厂商主要有格绿科技(专利号:ZL201120536719.9)、国麟科技(专利号:ZL201010573546.8)和威士邦膜科技有限公司申请的一种膜法氨气处理回收装置及工艺(专利申请号:201310289244.1)及一种膜法氨气处理回收装置(专利申请号:201320410141.1)，但是将该膜法氨气回收膜组件应用在氮化镓的LED行业的氨气回收时，使用长时间后造成上述膜组件堵塞。
[0003]分析造成上述膜组件堵塞的原因为:在采用MOCVD生产氮化镓的LED时，由于工艺原因，制程废气除了大量的氮气、氢气、氨气，还有少量或微量痕量其它气体或成分(对氨气回收组件来说，这些成分造成膜组件堵塞，故以下统称杂质):硅烷气，如甲硅烷或乙硅烷；三甲基镓；三甲基铟；三甲基铝；三甲基镁等。这些杂质在有水相存在下或碱性的水相下发生反应列举如下:
【权利要求】
1.一种防堵塞膜法氨气处理回收装置，包括与氨气收集管道依次相连的风机、过滤装置、管道换热器、氨气吸收组件，其特征在于:所述的过滤装置前的管道上设有一含碱性溶液的喷雾装置。
2.根据权利要求1所述的一种防堵塞膜法氨气处理回收装置，其特征在于:所述的喷雾装置为超声雾化器。
3.根据权利要求1所述的一种防堵塞膜法氨气处理回收装置，其特征在于:所述的喷雾装置为利用高速旋转的雾化盘利用离心力将液体甩出去、撕碎为小液滴的喷雾器。
4.根据权利要求1所述的一种防堵塞膜法氨气处理回收装置，其特征在于:所述的喷雾装置为利用把水压入细管造成高速水流，高速水流碰到障碍物后裂成小水滴的原理的喷雾器。
5.根据权利要求1-4任一权利要求所述的一种防堵塞膜法氨气处理回收装置，其特征在于:所述的碱性溶液为氢氧化钠溶液、氢氧化钾溶液、碳酸钠溶液或碳酸氢钠溶液。
6.根据权利要求1-4任一权利要求所述的一种防堵塞膜法氨气处理回收装置，其特征在于:所述的过滤装置为并联的2组过滤装置。
【文档编号】C01C1/12GK203635033SQ201320549401
【公开日】2014年6月11日 申请日期:2013年9月5日 优先权日:2013年9月5日
【发明者】王俊川, 林玉泰, 黄德昌, 邓家添 申请人:厦门绿邦膜技术有限公司