一种带隔离板的晶体降温机构的制作方法

文档序号:22600448发布日期:2020-10-23 12:28阅读:235来源:国知局

本实用新型涉及光伏新能源材料制造,特别涉及一种带隔离板的晶体降温机构。



背景技术:

一般的多根单晶生长工艺中,完成一支晶体拉制收尾后,将晶体完全提升到副炉室中,将隔离阀关闭,主炉室保持抽空并充ar气保护石英坩埚中的熔化硅料;同时,对收藏于副炉室中的晶体,充ar所到常压,等待3-4小时待晶体温度从800多度降到200多度后,才能取出,开始准备拉制下一根晶体,耗时较长,从而影响到单晶炉的产量。



技术实现要素:

针对现有技术存在的问题,本实用新型提供一种带隔离板的晶体降温机构。

为了实现上述目的,本实用新型技术方案如下:

一种带隔离板的晶体降温机构,包括一主炉室、设置在主炉室上端的一副炉室、以及与副炉室驱动连接的驱动机构;所述副炉室包括一筒体、设置在筒体底部的隔离板、设置在筒体侧壁的转轴;所述驱动机构的输出端与所述的转轴连接,能驱使副炉室运动。

较佳地,所述主炉室包括呈筒状形炉体、设置在呈筒状形炉体开口端的翻转阀、置于在筒状形炉体开口端两侧的两进水口、以及置于筒状形炉体底部的三通。

较佳地,所述隔离板的周边开燕尾槽,该燕尾槽内放入氟橡胶密封圈,与副炉室法兰相扣时保持密封状态。

所述隔离板通过7字型活动轴与筒体底部的法兰连接。

较佳地,所述副炉室还包括一与隔离板配合的可旋转锁扣,该可旋转锁扣设置在所述的筒体底部端口处。

较佳地,所述副炉室还包括一延长室,该延长室与所述的筒体顶部连接。

较佳地,所述驱动机构包括一电机、以及设置在电机输出端的一减速器;所述减速器的输出杆对应与所述的副炉室的转轴驱动连接。

采用本实用新型的技术方案,具有以下有益效果:本隔离板用不锈钢材料制作,具有一定的机械结强度和抗高温性能,周边开燕尾槽,糟内放入氟橡胶密封圈,与炉室法兰相扣时保持密封状态。该隔离板由7字型活动轴与副炉室下部法兰联结,并留有7字型结构,便于在副炉室与主炉室相连拉晶过程中,将该隔离板竖立于副炉筒外侧,节约空间而不影响炉盖上面的摄像机构(未画出)的工作。同时,在开启隔离板时活动轴结构可确保隔离板与副室的联结,不会脱落影响操作者安全。在阀板联结轴的另一端设计了一个可旋转锁扣,可方便快捷地扣上或解开隔离板。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型副炉室结构示意图;

图3为本实用新型副炉室b处放大示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例,对本实用新型进一步说明。

参照图1至图3,本实用新型提供一种带隔离板的晶体降温机构,包括一主炉室50、设置在主炉室50上端的一副炉室40、以及驱动副炉室40转动的驱动机构;所述副炉室40包括一筒体30、设置在筒体30底部的隔离板33、设置在筒体30侧壁的转轴34;所述驱动机构的输出端与所述的转轴34连接,能驱使副炉室40运动。

所述主炉室50包括呈筒状形炉体22、设置在呈筒状形炉体22开口端的翻转阀23、置于在筒状形炉体22开口端两侧的两进水口80、以及置于筒状形炉体22底部的三通24。

所述隔离板33的周边开燕尾槽,该燕尾槽内放入氟橡胶密封圈,与副炉室法兰相扣时保持密封状态。

所述副炉室40还包括一与隔离板配合的可旋转锁扣36,该可旋转锁扣36设置在所述的筒体30底部端口处。

所述隔离板33通过7字型活动轴90与筒体30底部的法兰连接。

所述副炉室40还包括一延长室31,该延长室31与所述的筒体30顶部连接。

所述驱动机构包括一电机28、以及设置在电机28输出端的一减速器29;所述减速器29的输出杆60对应与所述的副炉室40的转轴34连接。

本实用新型工作原理如下:

主炉室50的晶体拉制收尾完成后,通过驱动电机28与减速器29,将副炉室40旋转到主炉室50正上方进行贯通,将高温晶体提升收藏到副炉室40中,此过程中隔离板33处于打开状态;待副炉室40充入ar气至一个大气压后,再将副炉室40通过电机28与减速器29整体提升并旋转到旁边,在副炉室底部迅速装上本技术的降温隔离板33,以免外部空气进入副室,污染高温晶体表面。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是在本实用新型的实用新型构思下,利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。



技术特征:

1.一种带隔离板的晶体降温机构,其特征在于,包括一主炉室、设置在主炉室上端的一副炉室、以及与副炉室驱动连接的驱动机构;所述副炉室包括一筒体、设置在筒体底部的隔离板、设置在筒体侧壁的转轴;所述驱动机构的输出端与所述的转轴连接,能驱使副炉室运动;所述隔离板的周边开燕尾槽,该燕尾槽内设有氟橡胶密封圈,用于与副炉室法兰相扣时保持密封状态;所述隔离板通过7字型活动轴与筒体底部的法兰连接;所述副炉室还包括一与隔离板配合的可旋转锁扣,该可旋转锁扣设置在所述的筒体底部端口处。

2.根据权利要求1所述的带隔离板的晶体降温机构,其特征在于,所述副炉室还包括一延长室,该延长室与所述的筒体顶部连接。

3.根据权利要求1所述的带隔离板的晶体降温机构,其特征在于,所述主炉室包括呈筒状形炉体、设置在呈筒状形炉体开口端的翻转阀、置于在筒状形炉体开口端两侧的两进水口、以及置于筒状形炉体底部的三通。

4.根据权利要求1所述的带隔离板的晶体降温机构,其特征在于,所述驱动机构包括一电机、以及设置在电机输出端的一减速器;所述减速器的输出杆对应与所述的副炉室的转轴驱动连接。


技术总结
本实用新型公开一种带隔离板的晶体降温机构,包括一主炉室、设置在主炉室上端的一副炉室、以及与副炉室驱动连接的驱动机构;所述副炉室包括一筒体、设置在筒体底部的隔离板、设置在筒体侧壁的转轴;所述驱动机构能驱使副炉室运动,该驱动机构对应的输出端与所述的转轴连接。本实用新型本隔离板用不锈钢材料制作,具有一定的机械结强度和抗高温性能,周边开燕尾槽,糟内放入氟橡胶密封圈,与炉室法兰相扣时保持密封状态。

技术研发人员:卢阳华;马向东
受保护的技术使用者:深圳晶鑫智造科技有限公司
技术研发日:2020.01.08
技术公布日:2020.10.23
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